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"接头"需要建立在移动的离散设备与上下游设备之间的良好通讯条件的基础上。与上位软件的通讯为了更好的管理整个搬运过程，一个自动化系统通常也需要有一个管理搬运任务和设备的上位管理软件，常见的有仓库管理软件WMS、仓库控制软件WCS、自动搬运机器人调度软件等等。上位各种管理软件的功能都是建立在与现场环境中所有的搬运设备信息交互的基础上。上位管理软件下发的指令数据需要通讯通道将命令传递到搬运设备上，同时，现场的搬运设备的当前的状态和任务执行情况要实时的上传给上位机管理软件与第三方的通讯需要通过运动才能执行搬运任务的离散搬运设备，在执行任务时一定会占用一定的公共资源，比如要占用通道，占用电梯又或...

第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二区段内顶棚轨道12能够通过后述的第二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示、第二保管区域sa1、sa2的、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示，、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部，由此相对于架部定位物品2。各、第二保管部20a、20b和、第二...

也可在使悬挂式起重机30从存储库区域10a向规定区域(10b、10c、10d)移动的情况下使用第二机架内环绕轨道42，在使悬挂式起重机30从规定区域向存储库区域10a移动的情况下使用机架内环绕轨道41。另外，也可在使悬挂式起重机30从存储库区域10a向规定区域(10b、10c、10d)移动的情况下，以及在使悬挂式起重机30从规定区域向存储库区域10a移动的情况下，使用相同的机架内环绕轨道。另外，在法律允许的范围内，引用作为日本申请的特愿2017-128569以及本说明书所引用的全部的文献的内容并作为正文记载的一部分。附图标记的说明lp…装载端口、mn…维护装置；st…暂存区；tl…处理...

在半导体制造工厂等制造工厂中，配置有保管收纳半导体晶圆的foup或者收纳中间掩膜的中间掩膜盒等物品的存储库。存储库具备用于在多个保管架与交接口之间移载物品的起重机。作为该起重机公知有在被配置于顶棚的轨道上行驶的悬挂式起重机，为了提高物品的移载效率，提出了两种悬挂式起重机在共用的轨道上行驶的构成(例如，参照文献1)。文献1：国际公开第2016/178347号对于文献1所记载的存储库，两种悬挂式起重机虽在共用的轨道上行驶，但其行驶范围被限制在配置了存储库的一个存储库区域内。因此，在使该悬挂式起重机向其它的存储库区域移动时，或者为了维护而使悬挂式起重机向维护区域移动时，需要从轨道取下并搬运悬挂式起重...

在长边方向的两端与后述的机架间轨道43以及第二机架间轨道44连接。外绕轨道42a在俯视时通过存储库区域10a、10b的交接口12的侧方。但是，该交接口12是与对应于机架内环绕轨道41的外绕轨道41a的交接口12不同的交接口12。在外绕轨道42a行驶的高架搬运车50能够相对于交接口12进行物品2的交接。外绕轨道42a被配置于处理装置tl的装载端口lp的正上方。内绕轨道42b被形成为环状，被配置于外绕轨道42a的内侧。此外，内绕轨道41b、42b在俯视图时被配置于偏离了装载端口lp的正上方的位置。根据该结构，悬挂式起重机30在从后述的存储库区域10a向规定区域移动时，能够使从起重机用行驶部...

其具备行驶部、用于保持物品的保持部、悬挂保持部且使保持部升降的升降驱动部、以及使升降驱动部向侧方突出的横向伸出机构，上述行驶部沿着区段内顶棚轨道、第二区段内顶棚轨道、以及区段间顶棚轨道行驶，其中，起重机在处理装置的装载端口、保管部、以及交接端口之间搬运物品，第二起重机在第二处理装置的装载端口、第二保管部、以及第二交接端口之间搬运物品，高架搬运车在交接端口与第二交接端口之间搬运物品。根据本发明所涉及的搬运系统以及搬运方法，通过、第二起重机进行区段内的物品的搬运，从而能够增加物品的保管数量，通过高架搬运车进行区段间的物品的搬运，从而能够抑制与顶棚轨道下方的设备的干扰。另外，由于能够防止沿着...

图4是表示悬挂式起重机的一个例子的图。图5是表示高架搬运车的一个例子的图。图6是表示起重机用行驶部以及搬运车用行驶部的一个例子的图。图7是表示使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。图8是表示与图7接续、使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。图9是表示与图8接续、使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。图10是表示与图9接续、使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。图11是表示规定区域是维护区域的一个例子的俯视图。图12是表示包含初始投入部的规定区域的一个例子的俯视图。具体...

但物品2也可是foup以外的物品。另外，搬运系统100也能够应用于半导体制造领域以外的设备，物品2也可以是由设置搬运系统100的设备处理的各种物品。如图1所示，搬运系统100具有：存储库10、高架搬运车轨道40、高架搬运车50、以及第二连结轨道60a、60b以及控制装置80。存储库10被配置于存储库区域10a以及其它存储库区域(规定区域)10b内。图2是表示存储库区域10a的一个例子的图。如图2所示，存储库10具备：保管部11、交接口12、起重机轨道20以及悬挂式起重机30。保管部11在上下方向被设置多层，并且在沿着悬挂式起重机30的移动方向的左右方向排列的状态下保管物品2。保管部11...

搬运是指地表和近地表的岩屑、溶解质等风化物被外营力搬往他处的过程。外营力包括水流、波浪、潮汐流与海流、冰川、地下水、风和生物作用等。在搬运过程中，风化物的分选现象以风力搬运为好，冰川搬运为差。搬运方式主要有推移（滑动和滚动）、跃移、悬移和溶移等。中文名搬运外文名Handling应用学科环境工程适用领域范围环境生态外营力水流、波浪、潮汐流与海流、冰川应用水文地质目录1作用定义2河流的搬运3风的搬运4冰川的搬运5地下水的搬运?机械搬运作用?化学搬运作用6生物搬运搬运作用定义编辑风化作用、剥蚀作用的产物以及其他物质除少部分残留原地外，大部分都要被搬运到适当的地方沉积下来，此过程称搬运。搬运的...

起重机和高架搬运车在区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶，第二起重机和高架搬运车在第二区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶的情况下，能够减少从区段间顶棚轨道驶入区段内顶棚轨道的高架搬运车与沿着该区段内顶棚轨道行驶的、第二起重机干扰的可能性，并且，能够简化高架搬运车和、第二起重机的控制。另外，在、第二交接端口配置于、第二保管部的上层的情况下，能够通过高架搬运车和、第二起重机双方来进行物品的移送，能够容易地在高架搬运车与、第二起重机之间进行物品的交接。附图说明图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统的一个例子的俯视图。图2表示、第二处理装置和装载端口的一个例子的图。图3表示、第二保管部和、第二交接...

在物品2被高架搬运车50载置于交接端口30a的情况下，若起重机40a能够搬运至作为搬运目的地的处理装置tl1的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若起重机40a不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至保管部20a，在变为能够搬运的时刻将物品2从保管部20a搬运至作为搬运目的地的处理装置tl1的装载端口lp。另外，在物品2被高架搬运车50载置于第二交接端口30b的情况下，若第二起重机40b能够搬运至作为搬运目的地的第二处理装置tl2的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若第二起重机40b不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至第二保管部...

在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管...

主体部52具有：悬挂地保持物品2的物品保持部53、使物品保持部53沿铅垂方向升降的升降驱动部54以及使升降驱动部54移动的侧出机构55。物品保持部53把持物品2的凸缘部2a，由此悬挂地保持物品2。物品保持部53例如是具有能够在水平方向移动的爪部53a的卡盘，通过使爪部53a进入物品2的凸缘部的下方使物品保持部53上升而保持物品2。物品保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。这样，没有如悬挂式起重机30的桅杆32那样在高架搬运车50设置引导升降的构成。因此，物品保持部53成为能够相对于主体部52摆动的状态。升降驱动部54例如是升降机，通过放出悬挂部件53b而使物品保持部53下降，...

通常的机械结构比较简单，因此在长时间的运行中稳定性高，故障也较好处理由于搬运时，设备做出的动作较为单一，因此对应的控制系统较易实现同一个时刻，连续搬运设备本身可以存放很多的物料单元，并且可以根据上下游的条件，单个的输入和输出物料单位，所以适合做缓存4.连续搬运的挑战由于连续搬运设备通常为固定非移动的设备，由于这一特性也给连续搬运带来一些挑战：柔性受限连续输送设备一旦建设好并投入运行，基本上就限定了固定的起始点A和固定的终了点B。不论是起始A点位置变化还是B点位置变化，之前的连续输送设备都无法马上匹配到新的位置上。为了使连续设备有一定的机动性和柔性，在一些应用场景下，可以采取的一定的办法...

并逆变成移动设备需要的驱动直流电。连续式搬运与离散式的搬运过程中可数搬了多少趟的特点不同，连续式搬运自身的特点决定了没有"趟"的概念，因为连续式搬运没有往返的概念。对于连续式搬运，可能用"带动"或"输送"更合适。在仓储物流自动化系统中，常见的连续式搬运设备或者子系统有：连续搬运设备主要有辊筒输送机，皮带输送机、链条输送机，连续提升机，大型皮带分拣机，交叉带分拣机。1.连续式搬运的效率在计算连续式搬运每小时搬运多少物料单元的时候，与上边提及的自来水管道每小时运送了所少立方米的水很类似。自来水管道的运水效率通常也叫管道流量：流量＝管材横截面积×流速。参考自来水管道的流量计算，我们也可以得到...

在之前很长一段，还没有自来水的时候，每家每户都需要到集中打水点去挑水。人每次挑两桶水倒回自家的水缸后，接着挑着空水桶再次返回挑水点，如此往返循环，直至将自家的水缸盛满。随着现代工业技术的进步，自来水被引入到千家万户，人们无需再像以前一样一桶一桶的来回去挑，取而代之的是自来水管道直接接到了人们的家里。与挑水不同的是，自来水管道里一直都有水，人们也无需蓄水，需要水的时候，只需要拧开水龙头就可以取到水。同样都是取水，我们可以来看看这两者的区别：挑水：人是运水的载体，每一滴水是随着人的往返循环从打水点A到家B点每次人挑的水是有一定量的人往回返的时候是空载水缸里的水是间隔的时间才能收到水可以多个...

高架搬运车轨道40具备：机架内环绕轨道41、第二机架内环绕轨道42、机架间轨道43以及第二机架间轨道44。机架内环绕轨道41以及第二机架内环绕轨道42以存储库区域10a以及存储库区域10b的距离分离而配置，成为相互平行排列的状态。此外，以分别包围存储库区域10a、10b的外周的方式设置有未图示的壁部。利用该壁部划分存储库区域10a、10b的内外，在悬挂式起重机30的运转时禁止作业者向存储库区域10a、10b内的进入。此外，在悬挂式起重机30从存储库区域10a、10b向规定区域移动时，以将悬挂式起重机30从存储库区域10a、10b向外取出的方式，取下与连接轨道41c、42c对应的壁部的一...

在物品2被高架搬运车50载置于交接端口30a的情况下，若起重机40a能够搬运至作为搬运目的地的处理装置tl1的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若起重机40a不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至保管部20a，在变为能够搬运的时刻将物品2从保管部20a搬运至作为搬运目的地的处理装置tl1的装载端口lp。另外，在物品2被高架搬运车50载置于第二交接端口30b的情况下，若第二起重机40b能够搬运至作为搬运目的地的第二处理装置tl2的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若第二起重机40b不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至第二保管部...

第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二区段内顶棚轨道12能够通过后述的第二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示、第二保管区域sa1、sa2的、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示，、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部，由此相对于架部定位物品2。各、第二保管部20a、20b和、第二...

图7～图9是表示通过高架搬运车50搬运物品2时的移动路径的一个例子的图。在图7～图9中示出从第二保管区域sa2开始以保管区域sa1或者装置区域ta1为下一个搬运目的地的物品2被第二起重机40b载置于第二交接端口30b的例子。例如，如图7所示，在物品2被载置于在第二保管区域sa2的+y侧端部和-x侧配置的第二交接端口30b的情况下，控制装置60(参照图1)针对高架搬运车50进行指示以将第二保管区域sa2的第二交接端口30b的物品2搬运至保管区域sa1的交接端口30a。高架搬运车50沿着第二区段内顶棚轨道12移动至第二交接端口30b，使横向伸出机构55向+x方向突出，并驱动升降驱动部54使...

参照图6)。因此，起重机用行驶部31或者搬运车用行驶部51能够无障碍地在以及第二连结轨道60a、60b行驶。这样，将上述轨道设为相同的剖面形状，由此能够实现轨道的标准化，能够以低成本进行轨道的设置。在上述搬运系统100中，悬挂式起重机30在存储库区域10a或者存储库区域10b内，沿着起重机轨道20行驶，在保管部11与交接口12之间搬运物品2。例如，悬挂式起重机30能够通过物品移载部34(参照图4)接受被保管部11保管的物品2，沿着起重机轨道20行驶至交接口12，将物品2载置于交接口12。另外，在利用高架搬运车50将物品2载置于交接口12的情况下，悬挂式起重机30能够沿着起重机轨道20行...

所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着保管部以及交接口设置的起重机轨道、沿着起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被桅杆引导地升降的物品移载部并且在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；高架搬运车轨道，其被设置于存储库区域之外，沿着交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；高架搬运车，其具有沿着高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在交接口与装载端口之间搬运物品；以及连结轨道，其连结起重机轨道与高架搬运车轨道，所述搬运方法包含以下步骤：使起重机用行驶部从起重机轨道通过连结轨道...

所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着保管部以及交接口设置的起重机轨道、沿着起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被桅杆引导地升降的物品移载部并且在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；高架搬运车轨道，其被设置于存储库区域之外，沿着交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；高架搬运车，其具有沿着高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在交接口与装载端口之间搬运物品；以及连结轨道，其连结起重机轨道与高架搬运车轨道，所述搬运方法包含以下步骤：使起重机用行驶部从起重机轨道通过连结轨道...

可以区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道是环绕轨道，起重机和高架搬运车在区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶，第二起重机和高架搬运车在第二区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶。另外，可以交接端口和第二交接端口配置于保管部和第二保管部各自的上层。另外，本发明所涉及的搬运方法是如下搬运系统的搬运方法，上述搬运系统具备：区段内顶棚轨道，其从处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道，其从第二处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第二处理装置的装载端口设置；区段间顶棚轨道，其将区段内顶棚轨道与第二区段内顶棚轨道连结；保管部和第二保管部，它们在区段内顶棚轨道和第二...

、第二桅杆42a、42b形成为中空或者实心的棒状，截面形成为圆形状、椭圆形状、长圆形状、或者四边形状等多边形状。、第二桅杆42a、42b的下端被设定为从地板面隔开规定间隔的状态。在图4中，在、第二行驶部41a、41b的下方经由安装部46安装有上部支承体47。、第二桅杆42a、42b安装于上部支承体47的下表面侧，并成为从、第二行驶部41a、41b悬挂的状态。例如可以使用螺钉和螺母等紧固部件，也可以使用焊接等在上部支承体47安装、第二桅杆42a、42b。此外，、第二桅杆42a、42b可以是一根，例如，可以分别设置于、第二行驶部41a、41b的行驶方向的前后。另外，、第二起重机40a、40...

经由第二连结轨道60b向存储库区域10b内的起重机轨道20移动(参照图9的箭头)。第二机架间轨道44、第二连结轨道60b以及起重机轨道20各自剖面形状相同，所以悬挂式起重机30的起重机用行驶部31能够无障碍地从第二机架间轨道44经由第二连结轨道60b进入起重机轨道20。悬挂式起重机30构成被设置于存储库区域10b的存储库10的一部分，能够在存储库区域10b内的保管部11与交接口12之间进行物品2的交接。此外，在悬挂式起重机30的移动中，在从当前的轨道向下一个轨道换乘时、或者以曲线状移动时也可降低移动速度，防止下垂的桅杆32因振动或者离心力等向外侧摆动。另外，悬挂式起重机30走从存储库区...

高架搬运车50根据来自控制装置60等的信息，获取接收到的物品2的搬运目的地亦即第二保管区域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下来，高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在区段内顶棚轨道11上沿顺时针的方向行驶，从区段内顶棚轨道11的直线部11a经由第二连接轨道16的出口部16b(参照图1)向第二区段间顶棚轨道14移动。此外，第二连接轨道16的截面形状与区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14相同或者大致相同(参照图6)，因此高架搬运车50能够从区段内顶棚轨道11无障碍地移动至第二区段间顶棚轨道14。接下来，高架搬运车50在第二区段间顶棚轨道14上朝向+x方向行驶，从第二...

用来在搬运站进行货物的装卸、搬运、堆码等操作。无人搬运车(automatedguidedvehicle，简称AGV)，为一工业应用中不需驾驶员的搬运车，以可充电之蓄电池为其动力来源。一般可通过电脑来控制其行进路线以及行为，或利用电磁轨道(electromagneticpath-followingsystem)来设立其行进路线，电磁轨道黏贴於地板上，无人搬运车则依循电磁轨道所带来的讯息进行移动与动作。另外，还有如：液压支架搬运车（分为一体车及分体车，分体车亦称拖挂式液压支架搬运车）液压支架搬运车：矿用设备，专门针对矿用液压支架、采掘等大型的搬运困难的机械而设计制作的特殊搬运工具，使用其不...

从区段间顶棚轨道13经由连接轨道15的入口部15a向区段内顶棚轨道11移动(参照图9的箭头)。其后，高架搬运车50从连接轨道15的入口部15a移动至区段内顶棚轨道11的直线部11a，并在与作为搬运目的地的交接端口30a对应的位置停止。接着，高架搬运车50使横向伸出机构55向-x方向突出，驱动升降驱动部54使保持部53下降，由此将物品2载置于交接端口30a。通过以上的动作，能够将物品2从第二保管区域sa2搬运至保管区域sa1。另外，如上述那样，在、第二保管区域sa1、sa2的+y侧或者-y侧端部配置、第二交接端口30a、30b，由此能够避免高架搬运车50为了物品2的交接而停止在、第二保管...

起重机和高架搬运车在区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶，第二起重机和高架搬运车在第二区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶的情况下，能够减少从区段间顶棚轨道驶入区段内顶棚轨道的高架搬运车与沿着该区段内顶棚轨道行驶的、第二起重机干扰的可能性，并且，能够简化高架搬运车和、第二起重机的控制。另外，在、第二交接端口配置于、第二保管部的上层的情况下，能够通过高架搬运车和、第二起重机双方来进行物品的移送，能够容易地在高架搬运车与、第二起重机之间进行物品的交接。附图说明图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统的一个例子的俯视图。图2表示、第二处理装置和装载端口的一个例子的图。图3表示、第二保管部和、第二交接...