所述存储库具备:在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着保管部以及交接口设置的起重机轨道、沿着起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被桅杆引导地升降的物品移载部并且在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机;高架搬运车轨道,其被设置于存储库区域之外,沿着交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域;高架搬运车,其具有沿着高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部,并且在交接口与装载端口之间搬运物品;以及连结轨道,其连结起重机轨道与高架搬运车轨道,所述搬运方法包含以下步骤:使起重机用行驶部从起重机轨道通过连结轨道进入高架搬运车轨道,在高架搬运车轨道行驶至规定区域,或者使起重机用行驶部从规定区域进入高架搬运车轨道行驶至连结轨道,通过连结轨道进入起重机轨道而在起重机轨道行驶。根据本发明的搬运系统以及搬运方法,通常沿着存储库区域内的起重机轨道行驶并且在存储库区域内在保管部与交接口之间移载物品的悬挂式起重机能够根据需要,通过连结轨道以及高架搬运车轨道移动到存储库区域外的规定区域。根据该结构。新吴区长短途商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。长途商铺搬运公司
以规定的速度使升降台33下降或者上升。另外,驱动部35b被控制装置80等控制,将升降台33保持在目标的高度。升降驱动部35虽被设置于上部支承体37(起重机用行驶部31),但并不限于该结构。升降驱动部35例如也可被设置于升降台33。作为升降驱动部35被设置于升降台33的构成例如,也可以将从上部支承体37吊挂下来的带状物或者线材等通过搭载于升降台33的升降机等进行卷绕或抽出而使升降台33升降。另外,也可将驱动小齿轮的电动马达等搭载于升降台33,将该小齿轮啮合的齿条形成于桅杆32,驱动电动马达等使小齿轮旋转,由此使升降台33升降。如图1~图3所示,高架搬运车轨道40被配置于存储库区域10a外。高架搬运车轨道40沿着处理装置tl的装载端口lp设置,延伸到存储库区域(规定区域)10b。高架搬运车轨道40除了悬挂式起重机30的载入时都被设置于在高架搬运车50的运转中允许作业者的通行的作业者通路10g的上方。另外,悬挂式起重机30的起重机用行驶部31能够在高架搬运车轨道40行驶。根据该结构,能够使在作业者的进入被禁止的作业者进入禁止区域10f内运转的悬挂式起重机30、经由被设置于作业者的通行被允许的作业者通路10g上的高架搬运车轨道40而适当地移动。长途商铺搬运公司滨湖区专业商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
直线部11a在装载端口lp的正上方沿着多个装载端口lp在y方向上配置。直线部11a在俯视下分别配置于保管区域sa1与隔着保管区域sa1对置配置的多个装载端口lp之间。循环部11b包含曲线部且配置于y方向的两端,将两个直线部11a彼此连接。第二区段内顶棚轨道12与区段内顶棚轨道11相同地,具有直线部12a和循环部12b。直线部12a在装载端口lp的正上方沿着装载端口lp与y方向平行地配置。直线部12a在俯视下分别配置于第二保管区域sa2与隔着第二保管区域sa2对置配置的多个装载端口lp之间。循环部12b包含曲线部且配置于y方向的两端,将两个直线部12a彼此连接。此外,在本实施方式中,示出区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12是同一形状或者大致同一形状的例子,但区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12也可以是不同形状。区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14被设置为分别沿着x方向呈直线状延伸。区段间顶棚轨道13经由连接轨道15与区段内顶棚轨道11和第二区段内顶棚轨道12各自的一个端部(+y侧的端部)连结。第二区段间顶棚轨道14经由第二连接轨道16与区段内顶棚轨道11和第二区段内顶棚轨道12各自的另一个端部(-y侧的端部)连结。连接轨道15具有入口部15a和出口部15b作为两个轨道。
这两种方案中的路径并不相同,因此方案1和方案2虽然都已经遍历了所有的上游和下游,但是用的时间确实大相径庭的。事实上,如果我们开始出发点不是B1点,而是B2点,此时又会有另外两种方案3和方案4,路径也与上述的不同,自然用的时间也不同。我们可以按照先按方案1从B1点出发搬运完成后回到B2点,然后按照方案3从B2点出发搬运完成后回到B1点,然后再按照方案2从B1点出发搬运完成后回到B2点,后按照方案4从B2点出发搬运完成后回到B1。以上通过4次不同的复合搬运作业,完成了4次不同的遍历方式,涵盖了所有的上下游的搬运方案,如果4中搬运方案出现的概率平均,并且4中方案的搬运周期分别为T1、T2、3、T4,则可以得到从上游到下游的总周期时间为:T1+T2+T3+T4??梢缘玫阶艿钠骄饰篍=2*I*4*3600/(T1+T2+T3+T4);注:以上将2对2的所有的搬运方案当做一个循环时间来作为搬运周期,其中的搬运路径总共计算了16次(其中有若干重复),而实际中很多情况下,上游下游的数量要比2多的多,如果按照上边的计算流程来估算效率,计算的工作量非常大。如果有m个上游点,有n个下游点,从某个下游点将每个上游点以此搬运到所有的n点,总共的搬运方案有n*m!。滨湖区正规商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
第二机架间轨道44与机架内环绕轨道41以及第二机架内环绕轨道42各自的一方的端部连结。机架间轨道43以及第二机架间轨道44分别使直线状的两根轨道并行地延伸,在两根轨道之间设置有多个连接轨道。高架搬运车50沿着高架搬运车轨道40移动,将物品2在处理装置tl的装载端口lp、与存储库区域10a、10b的交接口12之间进行物品2的交接。另外,高架搬运车50除了装载端口lp以及交接口12之外,还在与沿着高架搬运车轨道40(外绕轨道41a、42a等)设置的暂存区st之间进行物品2的移载。处理装置tl例如是曝光装置、涂布机显影载置、制膜装置或者蚀刻装置等,对被收纳于搬运系统100搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。图5是表示高架搬运车50的一个例子的图。如图5所示,高架搬运车50具有搬运车用行驶部51和主体部52。搬运车用行驶部51与起重机用行驶部31相同,具备未图示的行驶驱动部以及多个车轮71a(参照图6),沿着高架搬运车轨道40行驶。行驶驱动部例如也可是被设置于搬运车用行驶部51并驱动车轮71a的电动马达,也可是使用高架搬运车轨道40设置的线性马达。主体部52经由安装部52a被安装于搬运车用行驶部51的下部。梁溪区企业商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。锡山区货车商铺搬运注意事项
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搬运系统100在配置于、第二装置区域ta1、ta2的、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的、第二保管部20a、20b、、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等,对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示,处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外,多个、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子,也可以是其他配置。另外,并不限定于、第二处理装置tl1、tl2具备两处装载端口lp,也可以具备一处或者三处以上。另外,在制造工厂等中配置用于暂时保管物品2的、第二保管区域sa1、sa2。保管区域sa1与处理装置tl1对应设置。长途商铺搬运公司