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也可将物品2相对于暂存区st的交接限定为外绕轨道41a或者内绕轨道41b的任一个。图7～图10是表示使悬挂式起重机30从存储库区域10a向规定区域亦即存储库区域10b移动时的移动路径的一个例子的图。在本实施方式中，在使悬挂式起重机30从存储库区域10a向其它存储库区域(规定区域)10b移动的情况下，不需要从起重机轨道20取下悬挂式起重机30，能够沿着以及第二连结轨道60a、60b以及高架搬运车轨道40移动。在该情况下，也可通过作业者等的手动操作来移动悬挂式起重机30，也可通过控制装置80(参照图1)自动地移动。如图7所示，悬挂式起重机30存在于存储库区域10a内的起重机轨道20。首先，...

高架搬运车50在从其它存储库区域10b的交接口12、处理装置lt的装载端口lp或者暂存区st接受了物品2的情况下，能够沿着高架搬运车轨道40行驶至存储库区域10a的交接口12，在交接口12载置物品2。在高架搬运车50在机架内环绕轨道41行驶的情况下，位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于交接口12的交接。高架搬运车50在物品2相对于交接口12的交接中，在利用侧出机构55使升降驱动部54向外绕轨道41a的侧方突出了的状态下，使物品保持部53升降(参照图5)。另外，位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于处理装置lt的装载端口lp的交接。高架搬运车50在物品2...

在半导体制造工厂等制造工厂中，配置有保管收纳半导体晶圆的foup或者收纳中间掩膜的中间掩膜盒等物品的存储库。存储库具备用于在多个保管架与交接口之间移载物品的起重机。作为该起重机公知有在被配置于顶棚的轨道上行驶的悬挂式起重机，为了提高物品的移载效率，提出了两种悬挂式起重机在共用的轨道上行驶的构成(例如，参照文献1)。文献1：国际公开第2016/178347号对于文献1所记载的存储库，两种悬挂式起重机虽在共用的轨道上行驶，但其行驶范围被限制在配置了存储库的一个存储库区域内。因此，在使该悬挂式起重机向其它的存储库区域移动时，或者为了维护而使悬挂式起重机向维护区域移动时，需要从轨道取下并搬运悬挂式起重...

主体部52具有：悬挂地保持物品2的物品保持部53、使物品保持部53沿铅垂方向升降的升降驱动部54以及使升降驱动部54移动的侧出机构55。物品保持部53把持物品2的凸缘部2a，由此悬挂地保持物品2。物品保持部53例如是具有能够在水平方向移动的爪部53a的卡盘，通过使爪部53a进入物品2的凸缘部的下方使物品保持部53上升而保持物品2。物品保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。这样，没有如悬挂式起重机30的桅杆32那样在高架搬运车50设置引导升降的构成。因此，物品保持部53成为能够相对于主体部52摆动的状态。升降驱动部54例如是升降机，通过放出悬挂部件53b而使物品保持部53下降，...

搬运系统100在配置于、第二装置区域ta1、ta2的、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的、第二保管部20a、20b、、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等，对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示，处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的...

并逆变成移动设备需要的驱动直流电。连续式搬运与离散式的搬运过程中可数搬了多少趟的特点不同，连续式搬运自身的特点决定了没有"趟"的概念，因为连续式搬运没有往返的概念。对于连续式搬运，可能用"带动"或"输送"更合适。在仓储物流自动化系统中，常见的连续式搬运设备或者子系统有：连续搬运设备主要有辊筒输送机，皮带输送机、链条输送机，连续提升机，大型皮带分拣机，交叉带分拣机。1.连续式搬运的效率在计算连续式搬运每小时搬运多少物料单元的时候，与上边提及的自来水管道每小时运送了所少立方米的水很类似。自来水管道的运水效率通常也叫管道流量：流量＝管材横截面积×流速。参考自来水管道的流量计算，我们也可以得到...

这两种方案中的路径并不相同，因此方案1和方案2虽然都已经遍历了所有的上游和下游，但是用的时间确实大相径庭的。事实上，如果我们开始出发点不是B1点，而是B2点，此时又会有另外两种方案3和方案4，路径也与上述的不同，自然用的时间也不同。我们可以按照先按方案1从B1点出发搬运完成后回到B2点，然后按照方案3从B2点出发搬运完成后回到B1点，然后再按照方案2从B1点出发搬运完成后回到B2点，后按照方案4从B2点出发搬运完成后回到B1。以上通过4次不同的复合搬运作业，完成了4次不同的遍历方式，涵盖了所有的上下游的搬运方案，如果4中搬运方案出现的概率平均，并且4中方案的搬运周期分别为T1、T2、3...

高架搬运车50在从其它存储库区域10b的交接口12、处理装置lt的装载端口lp或者暂存区st接受了物品2的情况下，能够沿着高架搬运车轨道40行驶至存储库区域10a的交接口12，在交接口12载置物品2。在高架搬运车50在机架内环绕轨道41行驶的情况下，位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于交接口12的交接。高架搬运车50在物品2相对于交接口12的交接中，在利用侧出机构55使升降驱动部54向外绕轨道41a的侧方突出了的状态下，使物品保持部53升降(参照图5)。另外，位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于处理装置lt的装载端口lp的交接。高架搬运车50在物品2...

保管区域sa1配置于两列处理装置tl1之间。第二保管区域sa2与第二处理装置tl2对应设置，第二保管区域sa2配置于两列第二处理装置tl2之间。在各列、第二处理装置tl1、tl2中，装载端口lp配置于与各个、第二保管区域sa1、sa2对置的一侧。如图1所示，搬运系统100具备：顶棚轨道10、、第二保管部20a、20b、、第二交接端口30a、30b、、第二起重机40a、40b以及高架搬运车50。顶棚轨道10具有区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、连接轨道15、以及第二连接轨道16。区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、连接轨道15...

桅杆32从起重机用行驶部31下垂并沿上下方向延伸，引导升降台33。桅杆32形成为中空或者实心的棒状，剖面形成为圆形、椭圆形、长圆形、或者四边形等多边形。桅杆32的下端被设定为从地面空开规定机架的状态。在图4中，上部支承体37经由安装部36而被安装于起重机用行驶部31的下方。桅杆32被安装于上部支承体37的下表面侧，成为从起重机用行驶部31悬吊的状态。桅杆32向上部支承体37的安装例如可以使用螺栓以及螺母等紧固部件，也可以使用焊接等。此外，桅杆32可以是一根，例如分别被设置于起重机用行驶部31的行驶方向的前后。升降台33在上表面搭载有物品移载部34，能够沿着桅杆32升降。升降台33具备夹...

但通过与上述相同的动作能够将物品2也在保管区域sa1与其他保管区域之间、或者在第二保管区域sa2与其他保管区域之间进行搬运。另外，载置于其他保管区域的交接端口的物品2被存在于该保管区域的起重机搬运至保管部或者处理装置的装载端口这点如上所述。如上所述，根据本实施方式所涉及的搬运系统100，、第二起重机40a、40b能够边行驶边使、第二升降台43a、43b升降，因此与必须在停止后使保持部53升降的高架搬运车50相比，物品2的移送所需要的时间更短，能够使区段内(、第二保管区域sa1、sa2内)的物品2的搬运效率提高。并且，通过、第二起重机40a、40b进行区段内的物品2的搬运，从而能够使物品...

并逆变成移动设备需要的驱动直流电。连续式搬运与离散式的搬运过程中可数搬了多少趟的特点不同，连续式搬运自身的特点决定了没有"趟"的概念，因为连续式搬运没有往返的概念。对于连续式搬运，可能用"带动"或"输送"更合适。在仓储物流自动化系统中，常见的连续式搬运设备或者子系统有：连续搬运设备主要有辊筒输送机，皮带输送机、链条输送机，连续提升机，大型皮带分拣机，交叉带分拣机。1.连续式搬运的效率在计算连续式搬运每小时搬运多少物料单元的时候，与上边提及的自来水管道每小时运送了所少立方米的水很类似。自来水管道的运水效率通常也叫管道流量：流量＝管材横截面积×流速。参考自来水管道的流量计算，我们也可以得到...

高架搬运车50根据来自控制装置60等的信息，获取接收到的物品2的搬运目的地亦即第二保管区域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下来，高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在区段内顶棚轨道11上沿顺时针的方向行驶，从区段内顶棚轨道11的直线部11a经由第二连接轨道16的出口部16b(参照图1)向第二区段间顶棚轨道14移动。此外，第二连接轨道16的截面形状与区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14相同或者大致相同(参照图6)，因此高架搬运车50能够从区段内顶棚轨道11无障碍地移动至第二区段间顶棚轨道14。接下来，高架搬运车50在第二区段间顶棚轨道14上朝向+x方向行驶，从第二...

起重机保管部91使能够使用的多个悬挂式起重机30待机。规定区域10d也可保管维护已结束的悬挂式起重机30。初始投入部90被设置于在规定区域10d设置的起重机轨道20d的端部，例如利用升降器等保持并抬起悬挂式起重机30，使起重机用行驶部31进入起重机轨道20d，由此将悬挂式起重机30投入到起重机轨道20d。被投入到起重机轨道20c的悬挂式起重机30从起重机轨道20c经由第二连结轨道60b沿着第二机架间轨道44移动，与上述实施方式相同，从第二机架内环绕轨道42侧向存储库区域10a移动，从而能够在存储库区域10a中使用。这样，在规定区域10d包含悬挂式起重机30的初始投入部90的情况下，使悬...

例如有10个上游对应10个上游的可能搬运方案有3628800个。一方面做这么大量的计算困难度大，另外一方面这么多的搬运方案作为一个整体搬运循环时间，对应到每批现实中实际搬运的作业时间也显得意义不大。因此有必要找一种较为简单能估算出大部分搬运情况下的效率即可。仍旧以m个上游点，n个下游点为例，如果我们从上游只选择一个点当有的一个上游A点，从下游只选择一个点当有的一个下游B点，则所有可能的AB点组合有m*n种，我们将所有组合对应的距离为d1，d2，……dmn；将所有的搬运距离d1~dnm进行排序可以得到如下分布：如果我们选择大的距离d-max对应的上下游作为AB点，则由此生成的效率会偏低，...

、第二交接端口30a、30b并不限定、第二保管部20a、20b的上层。、第二交接端口30a、30b例如也可以与、第二保管部20a、20b设置。例如，如图1所示，也可以在俯视下，在区段间顶棚轨道13与区段内顶棚轨道11之间、第二区段间顶棚轨道14与区段内顶棚轨道11之间、区段间顶棚轨道13与第二区段内顶棚轨道12之间、第二区段间顶棚轨道14与第二区段内顶棚轨道12之间设置交接端口130。、第二起重机40a、40b能够针对该交接端口130进行物品2的交接。另外，高架搬运车50能够从区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12针对交接端口130进行物品2的交接，并且，也能够从区段间顶棚轨道1...

其具备行驶部、用于保持物品的保持部、悬挂保持部且使保持部升降的升降驱动部、以及使升降驱动部向侧方突出的横向伸出机构，上述行驶部沿着区段内顶棚轨道、第二区段内顶棚轨道、以及区段间顶棚轨道行驶，其中，起重机在处理装置的装载端口、保管部、以及交接端口之间搬运物品，第二起重机在第二处理装置的装载端口、第二保管部、以及第二交接端口之间搬运物品，高架搬运车在交接端口与第二交接端口之间搬运物品。根据本发明所涉及的搬运系统以及搬运方法，通过、第二起重机进行区段内的物品的搬运，从而能够增加物品的保管数量，通过高架搬运车进行区段间的物品的搬运，从而能够抑制与顶棚轨道下方的设备的干扰。另外，由于能够防止沿着...

图7～图9是表示通过高架搬运车50搬运物品2时的移动路径的一个例子的图。在图7～图9中示出从第二保管区域sa2开始以保管区域sa1或者装置区域ta1为下一个搬运目的地的物品2被第二起重机40b载置于第二交接端口30b的例子。例如，如图7所示，在物品2被载置于在第二保管区域sa2的+y侧端部和-x侧配置的第二交接端口30b的情况下，控制装置60(参照图1)针对高架搬运车50进行指示以将第二保管区域sa2的第二交接端口30b的物品2搬运至保管区域sa1的交接端口30a。高架搬运车50沿着第二区段内顶棚轨道12移动至第二交接端口30b，使横向伸出机构55向+x方向突出，并驱动升降驱动部54使...

高架搬运车50在从其它存储库区域10b的交接口12、处理装置lt的装载端口lp或者暂存区st接受了物品2的情况下，能够沿着高架搬运车轨道40行驶至存储库区域10a的交接口12，在交接口12载置物品2。在高架搬运车50在机架内环绕轨道41行驶的情况下，位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于交接口12的交接。高架搬运车50在物品2相对于交接口12的交接中，在利用侧出机构55使升降驱动部54向外绕轨道41a的侧方突出了的状态下，使物品保持部53升降(参照图5)。另外，位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于处理装置lt的装载端口lp的交接。高架搬运车50在物品2...

、第二起重机40a、40b在、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、、第二保管部20a、20b、、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。另外，、第二起重机40a、40b将物品2从当前的、第二保管部20a、20b向其他、第二保管部20a、20b搬运。例如，、第二起重机40a、40b在下层的、第二保管部20a、20b与上层的、第二保管部20a、20b之间搬运物品2。高架搬运车50沿着顶棚轨道10(区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14)移动，在、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、、第二保管部20a、20b、以及、第二交接端...

"接头"需要建立在移动的离散设备与上下游设备之间的良好通讯条件的基础上。与上位软件的通讯为了更好的管理整个搬运过程，一个自动化系统通常也需要有一个管理搬运任务和设备的上位管理软件，常见的有仓库管理软件WMS、仓库控制软件WCS、自动搬运机器人调度软件等等。上位各种管理软件的功能都是建立在与现场环境中所有的搬运设备信息交互的基础上。上位管理软件下发的指令数据需要通讯通道将命令传递到搬运设备上，同时，现场的搬运设备的当前的状态和任务执行情况要实时的上传给上位机管理软件与第三方的通讯需要通过运动才能执行搬运任务的离散搬运设备，在执行任务时一定会占用一定的公共资源，比如要占用通道，占用电梯又或...

是在装载端口lp的上方不设置保管部220，在、第二处理装置tl1、tl2与、第二处理装置tl1、tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。例如，也可以是在图1所示的处理装置tl1与处理装置tl1之间、或者第二处理装置tl2与第二处理装置tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。根据该结构，与上述相同地，能够将在、第二处理装置tl1、tl2间(装载端口lp间)产生的空间作为保管区域有效地活用。这样，通过配置保管部220、和具备保管部320的保管架80，在搬运系统100中，能够容易地使物品2的保管数量增大。此外，在搬运系统100中，保...

驱动部45b设置于上部支承体，进行悬挂部件45a的抽出、卷绕。若驱动部45b将悬挂部件抽出，则、第二升降台43a、43b被、第二桅杆42a、42b引导而下降。另外，若驱动部45b卷绕悬挂部件45a，则、第二升降台43a、43b被、第二桅杆42a、42b引导而上升。驱动部45b被控制装置60等控制，使、第二升降台43a、43b以规定的速度下降或者上升。另外，驱动部45b被控制装置60等控制，将、第二升降台43a、43b保持于目标高度。虽然、第二升降驱动部45a、45b设置于上部支承体47(、第二行驶部41a、41b)，但并不限定于该结构。、第二升降驱动部45a、45b例如也可以设置于、第...

图7～图9是表示通过高架搬运车50搬运物品2时的移动路径的一个例子的图。在图7～图9中示出从第二保管区域sa2开始以保管区域sa1或者装置区域ta1为下一个搬运目的地的物品2被第二起重机40b载置于第二交接端口30b的例子。例如，如图7所示，在物品2被载置于在第二保管区域sa2的+y侧端部和-x侧配置的第二交接端口30b的情况下，控制装置60(参照图1)针对高架搬运车50进行指示以将第二保管区域sa2的第二交接端口30b的物品2搬运至保管区域sa1的交接端口30a。高架搬运车50沿着第二区段内顶棚轨道12移动至第二交接端口30b，使横向伸出机构55向+x方向突出，并驱动升降驱动部54使...

直线部11a在装载端口lp的正上方沿着多个装载端口lp在y方向上配置。直线部11a在俯视下分别配置于保管区域sa1与隔着保管区域sa1对置配置的多个装载端口lp之间。循环部11b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部11a彼此连接。第二区段内顶棚轨道12与区段内顶棚轨道11相同地，具有直线部12a和循环部12b。直线部12a在装载端口lp的正上方沿着装载端口lp与y方向平行地配置。直线部12a在俯视下分别配置于第二保管区域sa2与隔着第二保管区域sa2对置配置的多个装载端口lp之间。循环部12b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部12a彼此连接。此外，在本实施方式中，示出...

供人员或者其他设备通过2.可以局部移动，以临时腾开公共空间供第三方使用3.可以提升到一定高度，将公共资源空间让出来供第三方使用不好扩展离散式的搬运系统，如果效率箱想进一步提升，或者接驳方式要改变，可以通过增加单体离散搬运设备数量和改造装载方式即可实现。而对于连续性搬运设备而言，却很难实现。借鉴离散型搬运系统中由单个搬运设备组成的特点，可以将连续搬运设备采用模块化的设计。总结：一个完整的自动化仓储物流系统，不会只由一种搬运形式所组成，往往是由多个离散式搬运子系统和连续式搬运子系统利用各自的优势和特点实现整个系统的功能。目前某些前沿的面向未来的厂内物流自动化技术在研究如何将离散和连续各自的...

在物品2被高架搬运车50载置于交接端口30a的情况下，若起重机40a能够搬运至作为搬运目的地的处理装置tl1的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若起重机40a不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至保管部20a，在变为能够搬运的时刻将物品2从保管部20a搬运至作为搬运目的地的处理装置tl1的装载端口lp。另外，在物品2被高架搬运车50载置于第二交接端口30b的情况下，若第二起重机40b能够搬运至作为搬运目的地的第二处理装置tl2的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若第二起重机40b不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至第二保管部...

入口部15a形成供高架搬运车50从区段间顶棚轨道13向区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部15b形成供高架搬运车50从区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向区段间顶棚轨道13行驶的路径。第二连接轨道16与连接轨道15相同地，具有入口部16a和出口部16b作为两个轨道。入口部16a形成供高架搬运车50从第二区段间顶棚轨道14向区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部16b形成供高架搬运车50从区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向第二区段间顶棚轨道14行驶的路径。此外，在本实施方式中，示出连接轨道15与第二连接轨道16是同一...

使悬挂式起重机30从机架间轨道43向机架内环绕轨道41的外绕轨道41a移动，并经由连接轨道41c向内绕轨道41b移动(参照图8的箭头)。外绕轨道41a被配置于处理装置tl的装载端口lp的正上方，所以若悬挂式起重机30保持原样地在外绕轨道41a行驶，则存在桅杆32与装载端口lp接触的可能性。因此，悬挂式起重机30从外绕轨道41a向内绕轨道41b移动。然后，使悬挂式起重机30沿着内绕轨道41b朝向存储库区域10b移动。在起重机用行驶部31在内绕轨道41b(高架搬运车轨道40)行驶的情况下，悬挂式起重机30的桅杆32在作业者通路10g上通过。此时，也可以以禁止作业者等向作业者通路10g的进入...

驱动部45b设置于上部支承体，进行悬挂部件45a的抽出、卷绕。若驱动部45b将悬挂部件抽出，则、第二升降台43a、43b被、第二桅杆42a、42b引导而下降。另外，若驱动部45b卷绕悬挂部件45a，则、第二升降台43a、43b被、第二桅杆42a、42b引导而上升。驱动部45b被控制装置60等控制，使、第二升降台43a、43b以规定的速度下降或者上升。另外，驱动部45b被控制装置60等控制，将、第二升降台43a、43b保持于目标高度。虽然、第二升降驱动部45a、45b设置于上部支承体47(、第二行驶部41a、41b)，但并不限定于该结构。、第二升降驱动部45a、45b例如也可以设置于、第...