高架搬运车50在从其它存储库区域10b的交接口12、处理装置lt的装载端口lp或者暂存区st接受了物品2的情况下,能够沿着高架搬运车轨道40行驶至存储库区域10a的交接口12,在交接口12载置物品2。在高架搬运车50在机架内环绕轨道41行驶的情况下,位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于交接口12的交接。高架搬运车50在物品2相对于交接口12的交接中,在利用侧出机构55使升降驱动部54向外绕轨道41a的侧方突出了的状态下,使物品保持部53升降(参照图5)。另外,位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于处理装置lt的装载端口lp的交接。高架搬运车50在物品2相对于装载端口lp的交接中,不驱动或者基本不驱动侧出机构55而使物品保持部53升降(参照图5)。另外,位于外绕轨道41a或者内绕轨道41b的高架搬运车50能够进行物品2相对于暂存区st的交接。高架搬运车50在物品2相对于暂存区st的交接中,在通过侧出机构55使升降驱动部54向外绕轨道41a或者内绕轨道41b轨道的侧方突出了的状态下使物品保持部53升降。物品2相对于暂存区st的交接在外绕轨道41a或者内绕轨道41b的任一个中都能够进行,高架搬运车50通过改变侧出机构55的突出方向就能够对应(参照图5)。此外。滨湖区专业商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。品质商铺搬运打包
高架搬运车轨道40具备:机架内环绕轨道41、第二机架内环绕轨道42、机架间轨道43以及第二机架间轨道44。机架内环绕轨道41以及第二机架内环绕轨道42以存储库区域10a以及存储库区域10b的距离分离而配置,成为相互平行排列的状态。此外,以分别包围存储库区域10a、10b的外周的方式设置有未图示的壁部。利用该壁部划分存储库区域10a、10b的内外,在悬挂式起重机30的运转时禁止作业者向存储库区域10a、10b内的进入。此外,在悬挂式起重机30从存储库区域10a、10b向规定区域移动时,以将悬挂式起重机30从存储库区域10a、10b向外取出的方式,取下与连接轨道41c、42c对应的壁部的一部分。机架内环绕轨道41具有外绕轨道41a以及内绕轨道41b。外绕轨道41a被形成为环状,在长边方向的两端与后述的机架间轨道43以及第二机架间轨道44连接。外绕轨道41a在俯视图中,通过存储库区域10a、10b的交接口12的侧方。在外绕轨道41a行驶的高架搬运车50能够相对于交接口12进行物品2的交接。外绕轨道41a被配置于处理装置tl的装载端口lp的正上方。内绕轨道41b被形成为环状,被配置于外绕轨道41a的内侧。第二机架内环绕轨道42具有外绕轨道42a以及内绕轨道42b。外绕轨道42a被形成为环状。梁溪区企业商铺搬运服务梁溪区正规商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
第二机架间轨道44与机架内环绕轨道41以及第二机架内环绕轨道42各自的一方的端部连结。机架间轨道43以及第二机架间轨道44分别使直线状的两根轨道并行地延伸,在两根轨道之间设置有多个连接轨道。高架搬运车50沿着高架搬运车轨道40移动,将物品2在处理装置tl的装载端口lp、与存储库区域10a、10b的交接口12之间进行物品2的交接。另外,高架搬运车50除了装载端口lp以及交接口12之外,还在与沿着高架搬运车轨道40(外绕轨道41a、42a等)设置的暂存区st之间进行物品2的移载。处理装置tl例如是曝光装置、涂布机显影载置、制膜装置或者蚀刻装置等,对被收纳于搬运系统100搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。图5是表示高架搬运车50的一个例子的图。如图5所示,高架搬运车50具有搬运车用行驶部51和主体部52。搬运车用行驶部51与起重机用行驶部31相同,具备未图示的行驶驱动部以及多个车轮71a(参照图6),沿着高架搬运车轨道40行驶。行驶驱动部例如也可是被设置于搬运车用行驶部51并驱动车轮71a的电动马达,也可是使用高架搬运车轨道40设置的线性马达。主体部52经由安装部52a被安装于搬运车用行驶部51的下部。
第二保管部20b配置于相对于第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的正下方在x方向错开的位置。在、第二保管区域sa1、sa2中,、第二保管部20a、20b在上下方向设置两层。但是,、第二保管部20a、20b并不限定于两层,可也以设置一层或者三层以上。另外,、第二保管部20a、20b也可以设置于地板面上,来代替从顶棚悬挂。交接端口30a设置于保管部20a的列。第二交接端口30b设置于第二保管部20b的列。、第二交接端口30a、30b具有与、第二保管部20a、20b相同的结构,、第二保管部20a、20b中的一个或者多个作为、第二交接端口30a、30b使用。在本实施方式中,将沿上下方向和y方向排列的多个、第二保管部20a、20b中的上层且y方向的两端的两个作为、第二交接端口30a、30b,并将其他作为、第二保管部20a、20b使用。在图1中对、第二交接端口30a、30b标注影线。这样,作为、第二交接端口30a、30b使用、第二保管部20a、20b的上层,由此能够通过高架搬运车50和、第二起重机40a、40b双方进行物品2的交接。此外,、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的两端的两个,能够将上层的、第二保管部20a、20b的全部作为、第二交接端口30a、30b使用。此外。锡山区质量商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。
高架搬运车50根据来自控制装置60等的信息,获取接收到的物品2的搬运目的地亦即第二保管区域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下来,高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在区段内顶棚轨道11上沿顺时针的方向行驶,从区段内顶棚轨道11的直线部11a经由第二连接轨道16的出口部16b(参照图1)向第二区段间顶棚轨道14移动。此外,第二连接轨道16的截面形状与区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14相同或者大致相同(参照图6),因此高架搬运车50能够从区段内顶棚轨道11无障碍地移动至第二区段间顶棚轨道14。接下来,高架搬运车50在第二区段间顶棚轨道14上朝向+x方向行驶,从第二区段间顶棚轨道14经由第二连接轨道16的入口部16a向第二区段内顶棚轨道12移动。其后,高架搬运车50在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶,并在与作为搬运目的地的第二交接端口30b对应的位置停止。接着,高架搬运车50使横向伸出机构55向+x方向或者-x方向突出,驱动升降驱动部54并通过保持部53将物品2载置于第二交接端口30b。通过以上的动作,能够将物品2从保管区域sa1搬运至第二保管区域sa2。此外,在上述的实施方式中,示出将物品2在保管区域sa1与第二保管区域sa2之间进行搬运的例子。新吴区长途商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。锡山区公司商铺搬运报价
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驱动部45b设置于上部支承体,进行悬挂部件45a的抽出、卷绕。若驱动部45b将悬挂部件抽出,则、第二升降台43a、43b被、第二桅杆42a、42b引导而下降。另外,若驱动部45b卷绕悬挂部件45a,则、第二升降台43a、43b被、第二桅杆42a、42b引导而上升。驱动部45b被控制装置60等控制,使、第二升降台43a、43b以规定的速度下降或者上升。另外,驱动部45b被控制装置60等控制,将、第二升降台43a、43b保持于目标高度。虽然、第二升降驱动部45a、45b设置于上部支承体47(、第二行驶部41a、41b),但并不限定于该结构。、第二升降驱动部45a、45b例如也可以设置于、第二升降台43a、43b。作为在、第二升降台43a、43b设置、第二升降驱动部45a、45b的结构,例如可以利用搭载于、第二升降台43a、43b的升降机等对从上部支承体47悬挂的带状物或者线材等进行卷起或者抽出而使、第二升降台43a、43b升降。另外,也可以在、第二升降台43a、43b搭载用于驱动小齿轮的电动马达等,在、第二桅杆42a、42b形成供该小齿轮啮合的齿条,驱动电动马达等而使小齿轮旋转由此使、第二升降台43a、43b升降。如图4所示。品质商铺搬运打包
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