赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-04-05

气体供应系统是氧化退火炉的关键组成部分。在氧化阶段，它精确输送氧气，氧气的流量和纯度直接决定氧化反应的进程和氧化膜质量。高纯度的氧气能保证生成高质量的氧化膜，流量的精细控制则确保氧化膜厚度符合工艺要求。在退火阶段，若采用保护性气体（如氮气），气体供应系统将氮气输送到炉内，防止材料在高温下被氧化，维持材料原有特性。此外，一些特殊工艺可能需要混合气体，气体供应系统能够按照精确比例混合不同气体，为材料处理提供合适的气氛环境，保障氧化和退火工艺的顺利进行。?

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