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半导体制造中，氧化退火炉的温度控制精度为何如此重要？

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赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-06-17

温度偏差会导致掺杂离子激的活率不一致，影响晶体管阈值电压（Vth）一致性，甚至造成 PN 结漏电。例如，离子注入后退火温度每偏差 5℃，器件漏电流可能波动 10% 以上。

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赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司
赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司
简介：赛瑞达成立于2021年，专注于半导体设备的研发、生产与销售。公司位于无锡，致力于提供定制化解决方案。
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赛瑞达致力于成为半导体装备的主导品牌。
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企业信息

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司

联系人： 卢华俊

手   机： 13401355060

网   址： http://www.sunred.cn/

地   址：
江苏省无锡市锡山区无锡市锡山区精密机械产业园4号厂房一层南侧厂房及办公场地(一照多址)
赛瑞达致力于半导体设备研发与制造。
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