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卧式炉在处理半导体材料时，如何避免交叉污染？

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赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-04-19

每次处理不同材料或工艺前，对炉腔、石英舟等进行彻底清洁，使用专门清洁剂和无尘擦拭工具去除残留杂质。采用分区供气和单独排气系统，不同工艺使用的反应气体管道相互单独，防止气体交叉混合。在材料装载区域设置洁净隔离空间，避免外界污染物接触待处理材料，从多个环节杜绝交叉污染。

本回答由 赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司 提供

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司
赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司
简介：赛瑞达成立于2021年，专注于半导体设备的研发、生产与销售。公司位于无锡，致力于提供定制化解决方案。
简介： 赛瑞达成立于2021年，专注于半导体设备的研发、生产与销售。公司位于无锡，致力于提供定制化解决方案。
赛瑞达致力于成为半导体装备的主导品牌。
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企业信息

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司

联系人： 卢华俊

手   机： 13401355060

网   址： http://www.sunred.cn/

地   址：
江苏省无锡市锡山区无锡市锡山区精密机械产业园4号厂房一层南侧厂房及办公场地(一照多址)
赛瑞达致力于半导体设备研发与制造。
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