赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司2025-04-19
在半导体产业里,LPCVD 用途范围广。比如沉积多晶硅,这可是制造晶体管、集成电路(IC)的关键材料;还有氮化硅,常作为介电材料,用于隔离层、保护层和绝缘层;氧化硅可用于栅介质、电容器、隔离层等;金属薄膜(像钨、铜)则用于电路连接。这些薄膜在半导体器件的性能和功能实现上起着不可或缺的作用。
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