赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-04-05

操作氧化退火炉前，要先检查设备各部件是否正常，包括加热元件有无损坏、气体管道是否泄漏、温度传感器是否校准等。然后，根据工艺要求设置好温度控制系统的升温速率、目标温度、保温时间以及降温速率等参数，同时设置好气体供应系统的气体种类、流量和压力。将待处理材料小心放置在炉内载具上，关闭炉门。启动设备，让其按照设定程序升温、保温和降温。在运行过程中，密切关注设备的温度显示、气体流量等参数，如有异常及时停机排查。设备运行结束，待炉内温度降至安全范围后，打开炉门取出材料。整个操作过程需严格遵循操作规程，避免因操作不当引发安全事故或影响材料处理质量。?

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