赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-03-07

立式炉的垂直结构使其在空间利用上更高效，占地面积相对较小，特别适合在寸土寸金的半导体制造车间使用。在工艺方面，立式炉内的气流分布更均匀稳定，能更好地保证半导体材料在加热过程中各处反应条件一致，从而提高产品质量的一致性和稳定性。而且，其装片方式通常为垂直装载，可减少芯片在装载过程中的损伤风险，这对于精密的半导体芯片来说至关重要。?

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