纳米工艺加工平台的工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物***相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备领先技术的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。 有时候加工平台一年会有一次开放日，有幸走进洁净室体验参观高精尖微纳加工设备的学生们，通过了解微米纳米尺度的结构与器件加工过程，直观感受芯片的前世今生。 走出洁净室，学生们还有机会亲自动手操作光学显微镜、3D数码显微镜等测试设备，观察领略微米世界的精彩。 河南优质微纳代工

目前可以实现表面微纳结构的加工方法主要有以下几种。 （1）光刻技术，利用电子束或激光光束可以得到加工尺寸在几十纳米的微纳结构，该方法优势在于精度高，得到的微纳结构形状可以得到很好的控制； （2）飞秒激光加工技术，由于飞秒激光具有不受衍射极限限制的特点，可以加工出远小于光斑直径的尺寸，研究人员通过试验发现，采用飞秒激光加工出10nm宽的纳米线，在微纳加工领域具有独特优势。另外飞秒激光双分子聚合技术可以实现纳米尺寸结构的加工； （3）自组装工艺，光刻与自组装和刻蚀工艺结合，通过自组装工艺，可以得到6nm左右的纳米孔。 （4）等离子刻蚀技术，等离子刻蚀技术是应用最***的微纳米加工手段，加工精度高，是集成电路制造中最关键的工艺之一。 （5）沉积法，主要包括物***相沉积和化学气相沉积，该方法主要是利用气相发生的物理化学过程，在工件表面形成功能型或装饰性的金属，可以用来实现微纳米结构涂层的制造。 （6）微纳增材制造技术，微纳增材制造技术主要指微纳尺度电喷增材制造和微激光增材制造技术，由于微纳增材技术可以不受形状限制，可多材料协同制造，具有较大的发展前景。 吉林微纳代工

微纳加工制造与测试技术作为我国从制造大国走向制造强国战略的重要前沿交叉关键技术，对制造工业、产业转型升级以及社会经济发展都具有重要意义，***高度重视先进传感器技术的研究。MEMS传感器研究要站在战略的高度，重点关注其颠覆性技术和关键核心技术的突破；微纳制造技术是开展MEMS传感器研究的基础与保证，一定要加强微纳制造技术的基础研究并长期坚持；探索产学研用新机制；专业学术论坛的举行将为我国微纳制造与测试技术领域提供协同创新的平台。

纳米光刻技术是一种精确的图案化技术，用于生物传感器和先进材料的功能纳米结构的制造，并在太阳能电池、印刷电子、LED和MEMS等领域有广泛应用。由于大多数光刻图案具有3D结构，因此表征技术必须提供3D测量的能力。Tosca?400 AFM利用尖锐探针扫描样品表面以记录表面形态，不仅获得高横向分辨率，而且能得到纳米和亚纳米级的垂直分辨率。它提供了一种精确表征三维纳米光刻结构的可靠方法。现阶段很多科研工作者用微纳加工技术研发生产了如仿生扑翼飞行昆虫、一体化折叠集成微机器人、微流控滑动芯片等样品，微纳加工的前沿科技感跃然纸上。

"在微纳加工世界，灰尘就是‘导弹’，头发丝就是‘火箭’，平时我们不在意的小细节都会对芯片的精度产生重大影响！”微纳加工平台算得上是世上最干净的实验室了，做微纳加工工艺的工程师们，在进入洁净室前，首先要在更衣室里更换净化服，还需佩戴头套、口罩和手套。再经过风淋间吹扫全身，并踩踏除尘毯，方得进入洁净室。然后进行各个工艺的操作，每个工程师各司其职，互不干涉。在工艺过程中遇到了一些技术难题，工程师们会集中起来一起讨论。江苏微纳代工技术

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由于在重大工程、工业装备和质量保证、基础科研中，仪器仪表都是必不可少的基础技术和装备重点，除传统领域的需求外，新兴的智能制造、离散自动化、生命科学、新能源、海洋工程、轨道交通等领域也会产生巨大需求。随着互联网的逐步发展，为微纳代工，微流控器件，MEMS芯片设计加工，MEMS流片等产品的传播提供了一个飞速的平台。让仪器仪表行业从传统的销售模式到以互联网电子商务为主的营销方式的转变，促进了仪器仪表行业与互联网的结合，推动产业创新发展。微纳米芯片及相关产品的研发、销售并提供相关技术服务；销售：电子材料、实验室耗材、无尘耗材、洁净设备、实验室设备和仪表；提供上述产品的技术转让和服务，从事上述产品及技术的进出口服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）产品普遍运用于工业、农业、交通、科技、环保、国防、文教卫生、大家生活等各个领域，在旺盛市场需求的带动下和我国宏观调控政策的引导下，我国仪器仪表行业的发展有了长足的进步空间。从加工广义角度来说，仪器仪表也可具有自动操控、报警、信号传递和数据处理等功能，例如用于工业生产过程自动操控中的气动调节仪表，和电动调节仪表，以及集散型仪表操控系统也皆属于仪器仪表。河南优质微纳代工

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