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目前可以实现表面微纳结构的加工方法主要有以下几种。 （1）光刻技术，利用电子束或激光光束可以得到加工尺寸在几十纳米的微纳结构，该方法优势在于精度高，得到的微纳结构形状可以得到很好的控制； （2）飞秒激光加工技术，由于飞秒激光具有不受衍射极限限制的特点，可以加工出远小于光斑直径的尺寸，研究人员通过试验发现，采用飞秒激光加工出10nm宽的纳米线，在微纳加工领域具有独特优势。另外飞秒激光双分子聚合技术可以实现纳米尺寸结构的加工； （3）自组装工艺，光刻与自组装和刻蚀工艺结合，通过自组装工艺，可以得到6nm左右的纳米孔。 （4）等离子刻蚀技术，等离子刻蚀技术是应用最***的微纳米加工手段，加工精度高，...

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微纳代工质量好、效率高、价格低 苏州原位芯片提供硅基和非硅基微纳代工单步或多步整合工艺代工。 拥有接触式光刻（SUSS）、stepper光刻机、电子束光刻机、热氧化炉、离子注入机（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低应力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控溅射(特殊的有AlN、ZnO、PZT等)、电子束蒸发、深硅刻蚀、RIE（刻蚀SiO2、SiN）、晶圆键合（阳极键合、金属键合、胶键合等）、金属电镀、 CMP芯片切割（砂轮划片、激光表切、激光隐形切割）、快速退火、SEM、XRD、EDS、SIMS等等广东微纳代工哪家强激光微纳加工制造是微纳制造技术的重要部分。激...

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