它为晶圆级光学元件开发、原型设计和制造提供了一种独特的方法,可以方便地接触***研发技术与材料。晶圆级纳米压印光刻和透镜注塑成型技术确保在如3D感应的应用中使用小尺寸的高 分辨率光学传感器供应链合作推动晶圆级光学元件应用要在下一代光学传感器的大众化市场中推广晶圆级生产,先进的粘合剂与抗蚀材料发挥着不可取代的作用。开发先进的光学材料,需要充分地研究化学、机械与光学特性,以及已被证实的大规模生产(HVM)的可扩展性。拥有在NIL图形压印和抗蚀工艺方面的材料兼容性,以及自动化模制和脱模的专业知识,才能在已验证的大规模生产中,以**小的形状因子达到晶圆级光学元件的比较好性能。材料供应商与加工设备...
HERCULES ? NIL完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光纳米压印系统。 EVG的HERCULES ? NIL产品系列 HERCULES ? NIL完全集成SmartNIL ? UV-NIL系统达200毫米 对于大批量制造的完全集成的纳米压印光刻解决方案,具有EVG's专有SmartNIL ?印迹技术 HERCULES NIL是完全集成的UV纳米压印光刻跟 踪解决方案,适用于比较大200 mm的晶圆,是EVG的NIL产品组合的***成员。HERCULES NIL基于模块化平台,将EVG专有的SmartNIL压印技...
HERCULES ? NIL特征: 全自动UV-NIL压印和低力剥离 **多300毫米的基材 完全模块化的平台,具有多达八个可交换过程模块(压印和预处理) 200毫米/ 300毫米桥接工具能力 全区域烙印覆盖 批量生产**小40 nm或更小的结构 支持各种结构尺寸和形状,包括3D 适用于高地形(粗糙)表面 *分辨率取决于过程和模板 HERCULES ? NIL技术数据: 晶圆直径(基板尺寸):100至200毫米/ 200和300毫米 解析度:≤40 nm(分辨率取决于模板和工艺) 支持流程:SmartNIL ...
EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV纳米压印光刻系统。 用UV纳米压印能力为特色的EVG's专有SmartNIL通用掩模对准系统?技术,在100毫米范围内。 EVG620 NT以其灵活性和可靠性而闻名,它以**小的占位面积提供了***的掩模对准技术。操作员友好型软件,**短的掩模和模具更换时间以及有效的全球服务支持使它们成为任何研发环境(半自动批量生产)的理想解决方案。该工具支持多种标准光刻工艺,例如真空,软,硬和接近曝光模式,以及背面对准选项。此外,该系统还为多功能配置提供了附加功能,包括键对准和纳米压印光刻。此外,半自动和全自动系统配置均支持EVG专有的SmartNI...
纳米压印光刻设备-处理结果: 新应用程序的开发通常与设备功能的提高紧密相关。 EVG的NIL解决方案能够产生具有纳米分辨率的多种不同尺寸和形状的图案,并在显示器,生物技术和光子应用中实现了许多新的创新。HRI SmartNIL?压印上的单个像素的1.AFM图像压印全息结构的AFM图像 资料来源:EVG与SwissLitho AG合作(欧盟项目SNM) 2.通过热压花在PMMA中复制微流控芯片 资料来源:EVG 3.高纵横比(7:1)的10 μm柱阵列 由加拿大国家研究委 员会提供 4.L / S光栅具有优化的残留层,厚度约为10 nm ...
通过中心提供的试验生产线基础设施,WaveOptics将超越其客户对下个季度的预期需求,并有一条可靠的途径将大批量生产工艺和设备转移至能够大规模生产波导的指定设施适用于全球前列OEM品牌。 WaveOptics与EVG的合作突显了其致力于以可实现的价格提供高性能,商用波导来帮助客户将AR显示器推向市场的承诺。利用EVG在批量生产设备和工艺技术方面的专业知识,到2019年,AR终端用户产品将以不到600美元的价格进入市场,这是当今行业中的*低价位。 EV Group提供混合和单片微透镜成型工艺,能够轻松地适应各种材料组合,以用于工作印模和微透镜材料。芯片...
对于压印工艺,EVG610允许基板的尺寸从小芯片尺寸到比较大直径150 mm。纳米技术应用的配置除了可编程的高和低接触力外,还可以包括用于印章的释放机构。EV Group专有的卡盘设计可提供均匀的接触力,以实现高产量的压印,该卡盘支持软性和硬性印模。 EVG610特征: 顶部和底部对准能力 高精度对准台 自动楔形误差补偿机制 电动和程序控制的曝光间隙 支持***的UV-LED技术 **小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导 远程技术支持 多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言) 敏...
纳米压印应用三:连续性UV纳米压印 EVG770是用于步进重复纳米压印光刻的通用平台,可用于有效地进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。这种方法允许从比较大50 mm x 50 mm的小模具到比较大300 mm基板尺寸的大面积均匀复制模板。与钻石车削或直接写入方法相结合,分步重复刻印通常用于高 效地制造晶圆级光学器件制造或EVG的SmartNIL工艺所需的母版。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们,探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。 EVG紫外光纳米压印系统有: EVG?610,EVG?620NT,EVG?6200NT,EVG?720,E...
据外媒报道,美国威斯康星大学麦迪逊分校(UWMadison)的研究人员们,已经同合作伙伴联手实现了一种突破性的方法。不仅**简化了低成本高性能、无线灵活的金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的制造工艺,还克服了许多使用标准技术制造设备时所遇到的操作上的问题。该技术可用于制造大卷的柔性塑料印刷线路板,并在可穿戴电子设备和弯曲传感器等领域派上大用场。研究人员称,这项突破性的纳米压印平板印刷制造工艺,可以在普通的塑料片上打造出整卷非常高性能的晶体管。由于出色的低电流需求和更好的高频性能,MOSFET已经迅速取代了电子电路中常见的双极晶体管。为了满足不断缩小的集成电路需求,MOSFE...
对于压印工艺,EVG610允许基板的尺寸从小芯片尺寸到比较大直径150 mm。纳米技术应用的配置除了可编程的高和低接触力外,还可以包括用于印章的释放机构。EV Group专有的卡盘设计可提供均匀的接触力,以实现高产量的压印,该卡盘支持软性和硬性印模。 EVG610特征: 顶部和底部对准能力 高精度对准台 自动楔形误差补偿机制 电动和程序控制的曝光间隙 支持***的UV-LED技术 **小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导 远程技术支持 多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言) 敏...
NIL已被证明是在大面积上实现纳米级图案的相当有成本效益的方法,因为它不受光学光刻所需的复杂光学器件的限制,并且它可以为极小尺寸(小于100分)提供比较好图案保真度nm)结构。 EVG的SmartNIL是基于紫外线曝光的全场压印技术,可提供功能强大的下一代光刻技术,几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。由于SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能,因此还可以实现****的吞吐量,并具有显着的拥有成本优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作。另外,主模板的寿命延长到与用于光刻的掩模相当的时间。 新应用程序的开发通常与设备功能的提高紧密相关。 高 效,强大的SmartNIL工...
EVG610特征: 顶部和底部对准能力 高精度对准台 自动楔形误差补偿机制 电动和程序控制的曝光间隙 支持***的UV-LED技术 **小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导 远程技术支持 多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言) 敏捷处理和光刻工艺之间的转换 台式或带防震花岗岩台的单机版 EVG610附加功能: 键对准 红外对准 纳米压印光刻 μ接触印刷 EVG610技术数据: 晶圆直径(基板尺寸) 标准光刻:比较大150...
EVGROUP?|产品/纳米压印光刻解决方案 纳米压印光刻的介绍: EV Group是纳米压印光刻(NIL)的市场**设备供应商。EVG开拓了这种非常规光刻技术多年,掌握了NIL并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量生产。EVG的专有SmartNIL技术通过多年的研究,开发和现场经验进行了优化,以解决常规光刻无法满足的纳米图案要求。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形压印结果。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们,探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。 EVG ? 770是分步重复纳米压印光刻系统,使用分步重复纳米压印光刻技术,可进行有效...
EVG610特征: 顶部和底部对准能力 高精度对准台 自动楔形误差补偿机制 电动和程序控制的曝光间隙 支持***的UV-LED技术 **小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导 远程技术支持 多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言) 敏捷处理和光刻工艺之间的转换 台式或带防震花岗岩台的单机版 EVG610附加功能: 键对准 红外对准 纳米压印光刻 μ接触印刷 EVG610技术数据: 晶圆直径(基板尺寸) 标准光刻:比较大150...
EVG公司技术开发和IP总监Markus Wimplinger补充说:“我们开发新技术和工艺以应对*复杂的挑战,帮助我们的客户成功地将其新产品创意商业化。技术,我们创建了我们的NILPhotonics能力中心。“在具有保护客户IP的强大政策的框架内,我们为客户提供了从可行性到生产阶段的产品开发和商业化支持。这正是我们***与AR领域的**者WaveOptics合作所要做的,以为*终客户提供真正可扩展的解决方案。” EVG的NILPhotonics?能力中心框架内的协作开发工作旨在支持WaveOptics的承诺,即在工业,企业和消费者等所有主要市场领...
其中包括家用电器、医药、电子、光学、生命科学、汽车和航空业。肖特在全球34个国家和地区设有生产基地和销售办事处。公司目前拥有员工超过15500名,2017/2018财年的销售额为。总部位于德国美因茨的母公司SCHOTTAG由卡尔蔡司基金会(CarlZeissFoundation)全资拥有。卡尔蔡司基金会是德国历史**悠久的私立基金会之一,同时也是德国规模比较大的科学促进基金会之一。作为一家基金公司,肖特对其员工,社会和环境负有特殊责任。关于EV集团(EVG)EV集团(EVG)是为半导体、微机电系统(MEMS)、化合物半导体、功率器件和纳米技术器件制造提供设备与工艺解决方案的**供应商。其...