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EVG ? 6200 NT特征： 顶部和底部对准能力 高精度对准台 自动楔形补偿序列 电动和程序控制的曝光间隙 支持***的UV-LED技术 **小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导 远程技术支持 多用户概念（无限数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言） 敏捷处理和转换工具 台式或带防震花岗岩台的单机版 EVG ? 6200 NT附加功能： 键对准 红外对准 智能NIL ? μ接触印刷技术数据 晶圆直径（基板尺寸） 标准光刻：75至200 mm 柔...

IQ Aligner UV-NIL 自动化紫外线纳米压印光刻系统 应用：用于晶圆级透镜成型和堆叠的高精度UV压印系统 IQ Aligner UV-NIL系统允许使用直径从150 mm至300 mm的压模和晶片进行微成型和纳米压印工艺，非常适合高度平行地制造聚合物微透镜。该系统从从晶圆尺寸的主图章复制的软性图章开始，提供了混合和整体式微透镜成型工艺，可以轻松地将其与工作图章和微透镜材料的各种材料组合相适应。此外，EV Group提供合格的微透镜成型工艺，包括所有相关的材料专业知识。EV Group专有的卡盘设计可为高产量大面积印刷提供均匀的接触力。配置包括从压印基材上释放印章的释...

UV-NIL / SmartNIL 纳米压印系统 EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻（UV-NIL）提供完整的产品线，包括不同的单步压印系统，大面积压印机以及用于高 效母版制作的分步重复系统。除了柔软的UV-NIL，EVG还提供其专有的SmartNIL技术以及多种用途的聚合物印模技术。高 效，强大的SmartNIL工艺可提供高图案保真度，高度均匀的图案层和**少的残留层，并具有易于调整的晶圆尺寸和产量。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期承诺，即纳米压印是一种用于大规模生产微米和纳米级结构的高性能，低成本和具有批量生产能力的技术。 这个系列的型号包括：EV...

纳米压印设备哪个好？预墨印章用于将材料以明显的图案转移到基材上。该技术用于表面化学的局部修饰或捕获分子在生物传感器制造中的精确放置。 纳米压印设备可以进行热压花、加压加热、印章、聚合物、基板、附加冲压成型脱模。 将聚合物片或旋涂聚合物加热到其玻璃化转变温度以上，从而将材料转变为粘性状态。然后以足够的力将压模压入聚合物中。岱美作为EVG在中国区的代理商，欢迎各位联系我们，探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。 EVG的纳米压印设备已使纳米图案能够在面板尺寸比较大为第三代（550 mm x 650 mm）的基板上实现。四川晶片纳米压印 EVG ? 72...

该公司的高科技粘合剂以功能与可靠性闻名于世。根据客户的专门需求，公司对这些聚合物作出调整，使其具备其它特征。它们极其适合工业环境，在较短的生产周期时间内粘合各种微小的元件。此外，DELO紫外线LED固化设备与点胶阀的可靠度十分杰出。关于德路德路(DELO)是世界前列的工业粘合剂制造商，总部位于德国慕尼黑附近的Windach。在美国、中国、新加坡及日本均设有子公司。2019财政年，公司的780名员工创造了。该公司产品在全球范围内广泛应用于汽车、消费类电子产品与工业电子产品。几乎每一部智能手机与超过一半的汽车上都使用该公司产品。DELO的客户包括博世、戴姆勒、华为、欧司朗、西门子以及索尼等...

纳米压印光刻（NIL） -SmartNIL ? 用于大批量生产的大面积软UV纳米压印光刻工艺 介绍： EVG是纳米压印光刻（NIL）的市场**设备供应商。EVG开拓了这种非常规光刻技术多年，掌握了NIL并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量生产。EVG的专有SmartNIL技术通过多年的研究，开发和现场经验进行了优化，以解决常规光刻无法满足的纳米图案要求。SmartNIL可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印结果。 如果要获得详细信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司或者访问官网。 EVG620 NT是以其灵活性和可靠性而闻名的，因为它以**小的占位面...

纳米压印应用二：面板尺寸的大面积纳米压印 EVG专有的且经过大量证明的SmartNIL技术的***进展，已使纳米图案能够在面板尺寸比较大为Gen 3（550 mm x 650 mm）的基板上实现。对于不能减小尺寸的显示器，线栅偏振器，生物技术和光子元件等应用，至关重要的是通过增加图案面积来提高基板利用率。 NIL已被证明是能够在大面积上制造纳米图案的**经济、高 效的方法，因为它不受光学系统的限制，并且可以为**小的结构提供比较好的图案保真度。岱美作为EVG在中国区的代理商，欢迎各位联系我们，探讨纳米压印光刻的相关知识。 EV Group 提供完整的UV 紫外光纳米压印光刻（UV...

客户示范 ■工艺开发 ■材料测试 ■与合作伙伴共同研发 ■资助项目 ■小批量试生产 ■IP管理 ■过程技术许可证 ■流程培训 →世界前列的洁净室基础设施 →**的设备 →技术** →**计量 →工艺知识 →应用知识 →与NIL的工作印模材料和表面化学有关的化学专业知识 新应用程序的开发通常与设备功能的提高紧密相关。 EVG的NIL解决方案能够产生具有纳米分辨率的多种不同尺寸和形状的图案，并在显示器，生物技术和光子应用中实现了许多新的创新。 岱美作为EVG在中国区的代理商，欢...

面板厂为补偿较低的开口率，多运用在背光模块搭载较多LED的技术，但此作法的缺点是用电量较高。若运用NIL制程，可确保适当的开口率，降低用电量。利用一般曝光设备也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光设备一次可形成的图样面积较小。若要制造55吋面板，需要经过数十次的曝光制程。不仅制程时间长，经过多次曝光后，在图样间会形成细微的缝隙，无法完整显示影像。若将NIL技术应用在5代设备，可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜图样。在8代基板可制造6片55吋面板，6次的压印接触可处理完1片8代基板。南韩业者表示，在玻璃基板上形成偏光图样以提升质量的生产制程，是LCD领域中***一个创新任务。若加速NI...

纳米压印光刻（NIL）技术 EVG是纳米压印光刻（NIL）设备和集成工艺的市场**供应商。EVG从19年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。NIL是产生纳米尺度分辨率图案的**有前途且相当有成本效益的工艺，可用于生物MEMS，微流体，电子学以及**近各种衍射光学元件的各种商业应用。 其中EVG紫外光纳米压印系统型号包含： EVG?610 EVG?620NT EVG?6200NT EVG?720 EVG?7200 EVG?7200LA HERCUL...

SmartNIL是行业**的NIL技术，可对小于40 nm *的极小特征进行图案化，并可以对各种结构尺寸和形状进行图案化。SmartNIL与多用途软戳技术相结合，可实现****的吞吐量，并具有显着的拥有成本优势，同时保留了可扩展性和易于维护的操作。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期前景，即纳米压印是一种用于大规模制造微米级和纳米级结构的低成本，大批量替代光刻技术。 *分辨率取决于过程和模板 如果需要详细的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 EVG的热压印是一种经济高 效且灵活的制造技术，具有非常高的复制精度，可用于**小50 nm的特征尺寸。安徽纳米压印...

EVG ? 510 HE特征： 用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压印应用 自动化压花工艺 EVG专有的**对准工艺，用于光学对准的压印和压印 完全由软件控制的流程执行 闭环冷却水供应选项 外部浮雕和冷却站 EVG ? 510 HE技术数据： 加热器尺寸：150毫米 ，200毫米 比较大基板尺寸：150毫米，200毫米 **小基板尺寸：单芯片，100毫米 比较大接触力：10、20、60 kN 比较高温度：标准：350°C；可选：550°C 夹盘系统/对准系统 150毫米加热器：EVG ? 610，EVG ...

纳米压印光刻（NIL）技术 EVG是纳米压印光刻（NIL）设备和集成工艺的市场**供应商。EVG从19年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。NIL是产生纳米尺度分辨率图案的**有前途且相当有成本效益的工艺，可用于生物MEMS，微流体，电子学以及**近各种衍射光学元件的各种商业应用。 其中EVG紫外光纳米压印系统型号包含： EVG?610 EVG?620NT EVG?6200NT EVG?720 EVG?7200 EVG?7200LA HERCUL...

EVG ? 6200 NT特征： 顶部和底部对准能力 高精度对准台 自动楔形补偿序列 电动和程序控制的曝光间隙 支持***的UV-LED技术 **小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导 远程技术支持 多用户概念（无限数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言） 敏捷处理和转换工具 台式或带防震花岗岩台的单机版 EVG ? 6200 NT附加功能： 键对准 红外对准 智能NIL ? μ接触印刷技术数据 晶圆直径（基板尺寸） 标准光刻：75至200 mm 柔...

为了优化工艺链，HERCULES NIL中包括多次使用的软印章的制造，这是大批量生产的基石，不需要额外的压印印章制造设备。作为一项特殊功能，该工具可以升级为具有ISO 3 *功能的微型环境，以确保比较低的缺 陷率和比较高质量的原版复制。 通过为大批量生产提供完整的NIL解决方案，HERCULES NIL增强了EVG在***积NIL设备解决方案中的领导地位。 *根据ISO 14644 HERCULES ? NIL特征： 批量生产**小40 nm *或更小的结构 联合预处理（清洁/涂层/烘烤/寒意）和SmartNIL ? 体积验证的压印技术，具有出色的...

EVG ? 620 NT特征： 顶部和底部对准能力 高精度对准台 自动楔形补偿序列 电动和程序控制的曝光间隙 支持***的UV-LED技术 **小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导 远程技术支持 多用户概念（无限数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言） 敏捷处理和转换工具 台式或带防震花岗岩台的单机版 EVG ? 620 NT附加功能： 键对准 红外对准 SmartNIL μ接触印刷技术数据 晶圆直径（基板尺寸） 标准光刻：比较大150毫米的碎片 ...

HERCULES?NIL：完全集成的纳米压印光刻解决方案，可实现300 mm的大批量生产 ■批量生产低至40 nm的结构或更小尺寸（分辨率取决于过程和模板） ■结合了预处理（清洁/涂布/烘烤/冷却）和SmartNIL?技术 ■全自动压印和受控的低力分离，可很大程度地重复使用工作印章 ■具备工作印章制造能力 EVG?770：连续重复的纳米压印光刻技术，可进行有效的母版制作 ■用于晶圆级光学器件的微透镜的高 效母模制造，直至SmartNIL?的纳米结构 ■不同类型的母版的简单实现 ■可变的光刻胶分配模式 ■分配，压印和脱模过程中...

EVG ? 7200 LA特征： 专有SmartNIL ?技术，提供了****的印迹形大面积 经过验证的技术，具有出色的复制保真度和均匀性 多次使用的聚合物工作印模技术可延长母版使用寿命并节省大量成本 强大且精确可控的处理 与所有市售的压印材料兼容 EVG ? 7200 LA技术数据： 晶圆直径（基板尺寸）：直径200毫米（比较大Gen3）（550 x 650毫米） 解析度：40 nm-10 μm（分辨率取决于模板和工艺） 支持流程：SmartNIL ? 曝光源：大功率窄带（> 400 mW /cm2） 对准：可选的...

EVG ? 7200 LA大面积SmartNIL ? UV纳米压印光刻系统 用于大面积****的共形纳米压印光刻。 EVG7200大面积UV纳米压印系统使用EVG专有且经过量证明的SmartNIL技术，将纳米压印光刻（NIL）缩放为第三代（550 mm x 650 mm）面板尺寸的基板。对于不能减小尺寸的显示器，线栅偏振器，生物技术和光子元件等应用，至关重要的是通过增加图案面积来提高基板利用率。NIL已被证明是能够在大面积上制造纳米图案的**经济有效的方法，因为它不受光学系统的限制，并且可以为**小的结构提供比较好的图案保真度。 SmartNIL利用非常强大且可控的加工...

该公司的高科技粘合剂以功能与可靠性闻名于世。根据客户的专门需求，公司对这些聚合物作出调整，使其具备其它特征。它们极其适合工业环境，在较短的生产周期时间内粘合各种微小的元件。此外，DELO紫外线LED固化设备与点胶阀的可靠度十分杰出。关于德路德路(DELO)是世界前列的工业粘合剂制造商，总部位于德国慕尼黑附近的Windach。在美国、中国、新加坡及日本均设有子公司。2019财政年，公司的780名员工创造了。该公司产品在全球范围内广泛应用于汽车、消费类电子产品与工业电子产品。几乎每一部智能手机与超过一半的汽车上都使用该公司产品。DELO的客户包括博世、戴姆勒、华为、欧司朗、西门子以及索尼等...

其中包括家用电器、医药、电子、光学、生命科学、汽车和航空业。肖特在全球34个国家和地区设有生产基地和销售办事处。公司目前拥有员工超过15500名，2017/2018财年的销售额为。总部位于德国美因茨的母公司SCHOTTAG由卡尔蔡司基金会（CarlZeissFoundation）全资拥有。卡尔蔡司基金会是德国历史**悠久的私立基金会之一，同时也是德国规模比较大的科学促进基金会之一。作为一家基金公司，肖特对其员工，社会和环境负有特殊责任。关于EV集团（EVG）EV集团（EVG）是为半导体、微机电系统（MEMS）、化合物半导体、功率器件和纳米技术器件制造提供设备与工艺解决方案的**供应商。其...

EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV纳米压印光刻系统。 用UV纳米压印能力设有EVG's专有SmartNIL通用掩模对准系统?技术范围达150m。这些系统以其自动化的灵活性和可靠性而著称，以**小的占地面积提供了** 新的掩模对准技术。操作员友好型软件，**短的掩模和工具更换时间以及高 效的全球服务和支持使它们成为任何研发环境（半自动批量生产）的理想解决方案。该工具支持多种标准光刻工艺，例如真空，软，硬和接近曝光模式，并且可以选择背面对准。此外，该系统还为多功能配置提供了附加功能，包括键对准和纳米压印光刻。此外，半自动和全自动系统配置均支持EVG专有的Sm...

EVG ? 620 NT特征： 顶部和底部对准能力 高精度对准台 自动楔形补偿序列 电动和程序控制的曝光间隙 支持***的UV-LED技术 **小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导 远程技术支持 多用户概念（无限数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言） 敏捷处理和转换工具 台式或带防震花岗岩台的单机版 EVG ? 620 NT附加功能： 键对准 红外对准 SmartNIL μ接触印刷技术数据 晶圆直径（基板尺寸） 标准光刻：比较大150毫米的碎片 ...

IQ Aligner UV-NIL 自动化紫外线纳米压印光刻系统 应用：用于晶圆级透镜成型和堆叠的高精度UV压印系统 IQ Aligner UV-NIL系统允许使用直径从150 mm至300 mm的压模和晶片进行微成型和纳米压印工艺，非常适合高度平行地制造聚合物微透镜。该系统从从晶圆尺寸的主图章复制的软性图章开始，提供了混合和整体式微透镜成型工艺，可以轻松地将其与工作图章和微透镜材料的各种材料组合相适应。此外，EV Group提供合格的微透镜成型工艺，包括所有相关的材料专业知识。EV Group专有的卡盘设计可为高产量大面积印刷提供均匀的接触力。配置包括从压印基材上释放印章的释...

HERCULES ? NIL特征： 全自动UV-NIL压印和低力剥离 **多300毫米的基材 完全模块化的平台，具有多达八个可交换过程模块（压印和预处理） 200毫米/ 300毫米桥接工具能力 全区域烙印覆盖 批量生产**小40 nm或更小的结构 支持各种结构尺寸和形状，包括3D 适用于高地形（粗糙）表面 *分辨率取决于过程和模板 HERCULES ? NIL技术数据： 晶圆直径（基板尺寸）：100至200毫米/ 200和300毫米 解析度：≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺） 支持流程：SmartNIL ...

SmartNIL是行业**的NIL技术，可对小于40 nm *的极小特征进行图案化，并可以对各种结构尺寸和形状进行图案化。SmartNIL与多用途软戳技术相结合，可实现****的吞吐量，并具有显着的拥有成本优势，同时保留了可扩展性和易于维护的操作。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期前景，即纳米压印是一种用于大规模制造微米级和纳米级结构的低成本，大批量替代光刻技术。 *分辨率取决于过程和模板 如果需要详细的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 EVG开拓了这种非常规光刻技术，拥有多年技术，掌握了NIL，并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量生产。浙江三星纳米...

IQ Aligner UV-NIL特征： 用于光学元件的微成型应用 用于全场纳米压印应用 三个**控制的Z轴，可在印模和基材之间实现出色的楔形补偿 三个**控制的Z轴，用于压印抗蚀剂的总厚度变化（TTV）控制 利用柔软的印章进行柔软的UV-NIL工艺 EVG专有的全自动浮雕功能 抵抗分配站集成 粘合对准和紫外线粘合功能 IQ Aligner UV-NIL技术数据： 晶圆直径（基板尺寸）：150至300毫米 解析度：≤50 nm（分辨率取决于模板和工艺） 支持流程：柔软的UV-NIL，镜片成型 曝光...

为了优化工艺链，HERCULES NIL中包括多次使用的软印章的制造，这是大批量生产的基石，不需要额外的压印印章制造设备。作为一项特殊功能，该工具可以升级为具有ISO 3 *功能的微型环境，以确保比较低的缺 陷率和比较高质量的原版复制。 通过为大批量生产提供完整的NIL解决方案，HERCULES NIL增强了EVG在***积NIL设备解决方案中的领导地位。 *根据ISO 14644 HERCULES ? NIL特征： 批量生产**小40 nm *或更小的结构 联合预处理（清洁/涂层/烘烤/寒意）和SmartNIL ? 体积验证的压印技术，具有出色的...

SmartNIL是一项关键的启用技术，可用于显示器，生物技术和光子应用中的许多新创新。例如，SmartNIL提供了****的全区域共形压印，以便满足面板基板上线栅偏振器的**重要标准。SmartNIL还非常适合对具有复杂纳米结构的微流控芯片进行高精度图案化，以支持下一代药 物研究和医学诊断设备的生产。此外，SmartNIL的***发展为制造具有比较高功能，**小外形尺寸和大体积创新型光子结构提供了更多的自由度，这对于实现衍射光学元件（DOE）至关重要。 特征： 体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度 专有SmartNIL ?技术，多使用聚合物印模技术 经过生产...

SmartNIL是一项关键的启用技术，可用于显示器，生物技术和光子应用中的许多新创新。例如，SmartNIL提供了****的全区域共形压印，以便满足面板基板上线栅偏振器的**重要标准。SmartNIL还非常适合对具有复杂纳米结构的微流控芯片进行高精度图案化，以支持下一代药 物研究和医学诊断设备的生产。此外，SmartNIL的***发展为制造具有比较高功能，**小外形尺寸和大体积创新型光子结构提供了更多的自由度，这对于实现衍射光学元件（DOE）至关重要。 特征： 体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度 专有SmartNIL ?技术，多使用聚合物印模技术 经过生产...