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来源: 发布时间:2025-06-05

    除去75重量%的油。在45°C下的简单加热、或者在环境温度(20°C)下的简单搅拌或超声应用可以除去所有的沉积油。此外,没有观察到油的溶解,而是观察到上升到液体表面的油的脱离(卷起机理(rollingupmechanism)).与快速导致溶剂饱和的溶解机理相比,该卷起机理更为有利。油溶解试验的总体过程将硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待评价组合物中,并测定在环境温度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相对于该混合物的百分数表示)。实施例5在使用%的九氟丁基乙基醚和%的甲基四氢呋喃的共沸组合物的情况下,溶解超过17重量%的油。实施例6在使用九氟丁基乙基醚的情况下,多溶解2重量%的油并且观察到反混合(demixing)。权利要求组合物,其包含甲基四氢呋喃和至少一种式C4F9OR的九氟丁基烷基醚,在式C4F9OR中,R具有1~4个碳原子的线型或支化的饱和烷基链。2.权利要求1的组合物,特征在于,所述组合物包含540重量%的甲基四氢呋喃和6095重量%的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。3.权利要求1或2的组合物,特征在于,所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。4.权利要求13中任一项的组合物,特征在于。BOE蚀刻液的主要成分。上海BOE蚀刻液销售价格

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    表%九氟丁基甲基醚和50重量%甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出92重量%九氟丁基甲基醚和8重量%甲基四氢呋喃的共沸组合物,其在°C的沸点。实施例2如实施例1所述进行沸点测定方法。表II给出九氟丁基乙基醚和甲基四氢呋喃的各种混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量%甲基四氢呋喃的重量%(°C)%九氟丁基乙基醚和50重量%甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出%九氟丁基乙基醚和%甲基四氢呋喃的共沸组合物,其在°C的沸点。清洗试验的总体过程首先,用FORANE141b对2X5cm的不锈钢片材进行脱脂。这些片材各自在测试之前称重,其构成皮重。然后,在这些片材的单侧上涂布油REDUCTELFSP460。对该涂布有油的片材进行称重,并由与皮重的差值推算出涂布的油的量。接下来,将该涂布有油的片材浸5入到含有100ml待评价组合物的烧杯中5分钟,不进行搅拌且无超声。该片材一移出,就在通风的情况下进行15分钟的滴干(dripdry),并且,在该15分钟结束时,通过称重测定油的残留量。与油的初始量相比,计算移除的油的百分数。实施例3在使用九氟丁基甲基醚的组合物的情况下,得到0%的油移除率。实施例4在使用包含8重量%的2-MeTHF和92重量%的九氟丁基甲基醚的组合物的情况下。

    所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟异丁基烷基醚组成。5.权利要求14中任一项的组合物,特征在于,所述组合物是共沸的或共沸型的。6.权利要求5的组合物,特征在于,所述组合物包含515重量%的甲基四氢呋喃和8595重量%的九氟丁基甲基醚。7.共沸组合物,其包含8重量%的甲基四氢呋喃和92重量%的九氟丁基甲基醚,并且在大气压()下具有°C的沸点。8.权利要求5的组合物,特征在于,所述组合物包含1040重量%的甲基四氢呋喃和6090重量%的九氟丁基乙基醚。9.共沸组合物,其包含%的甲基四氢呋喃和%的九氟丁基乙基醚,并且在大气压()下具有°C的沸点。10.制冷剂,特征在于,其包含前述权利要求中任一项的组合物。11.溶剂,特征在于,其包含权利要求19中任一项的组合物。全文摘要本发明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或组合物。更具体地说,本发明涉及含有至少一种九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的组合物,该组合物可用作溶剂或制冷剂。BOE蚀刻液的主要成分是什么?

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    所述的磷酸浓度为82-87%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,醇醚类的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,表面活性剂的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,所述的醇醚类为选自二乙二醇单甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇单甲醚、三甘醇单丁醚等中的至少一种;表面活性剂为选自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸钠、月桂酰氨乙基硫酸钠、醇醚羧酸盐等中的至少一种。进一步地,在使用本发明的蚀刻液进行氮化硅层蚀刻时,蚀刻温度为152-165℃,蚀刻时间为5-60min。通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂,改善了磷酸的浸润性和表面张力,明显提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿和蚀刻均匀性。为了便于验证氮化硅薄膜层的蚀刻均匀性,本发明使用淀积了氮化硅薄膜的晶圆样片(初始厚度约为)。蚀刻液配制完成后,先使用表面张力仪检测该蚀刻液的表面张力;然后将氮化硅晶圆片切割成1cm*3cm的小样片,采用超纯水清洗和氮气吹干后,使用接触角测量仪检测蚀刻液对氮化硅层的接触角大小。在蚀刻前,使用椭圆偏振光谱仪对氮化硅样片取不同位置共6个点进行厚度的测量。上海BOE蚀刻液销售价格

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