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    所述组合物包含540重量％的甲基四氢呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。的甲基四氢呋喃是2-甲基四氢呋喃。在式C4F90R的九氟丁基烷基醚中，九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。不论R是什么，的九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟异丁基烷基醚组成。共沸或共沸型的组合物是特别有利的。当R为甲基时，该共沸或共沸型的组合物包含515重量％的甲基四氢呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚。包含8重量％的甲基四氢呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚的共沸组合物在大气压下具有°C的沸点。当R为乙基时，该共沸或共沸型的组合物包含1040重量％的甲基四氢呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚。包含％的甲基四氢呋喃和％的九氟丁基乙基醚的共沸组合物在大气压()下具有°C的沸点。共沸组合物是两种或更多种化合物的液体混合物，其具有可高于或低于各化合物的沸点的恒定沸点(即，在沸腾或蒸发期间没有分馏的倾向)。因此，在蒸发期间形成的蒸气的组成与初始的液体组合物相同或者几乎相同。共沸型组合物是两种或更多种化合物的液体混合物，其具有基本上恒定的沸点，也就是说，共沸型组合物起到单一化合物的作用。湖北如何发展BOE蚀刻液选择BOE蚀刻液，实现高精度蚀刻效果。

    该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分别为总质量的％、％。实施例2本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸钠，添加量分别为总质量的％、％。实施例3本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为三甘醇单丁醚、月桂酰氨乙基硫酸钠，添加量分别为总质量的％、％。实施例4本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为二乙二醇单甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分别为总质量的％、％。实施例5本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。

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