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立式炉支持哪些气体工艺？气体流量控制精度如何？

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广东华芯半导体技术有限公司2025-05-29

支持氮气、氧气、氩气、氢气等多种气体的单一或混合通入，气体流量控制精度达 ±1% FS。广东华芯半导体技术有限公司的设备配备质量流量控制器（MFC）和气体混配系统，可根据工艺需求实时调整气体成分，满足氧化、退火、扩散等多种工艺场景。

本回答由 广东华芯半导体技术有限公司 提供

广东华芯半导体技术有限公司
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简介：广东华芯半导体技术有限公司主营真空固晶回流焊、热风氮气焊接设备及无氧银浆烤箱等设备。
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企业信息

广东华芯半导体技术有限公司

联系人： 周小姐

手   机： 19022368597

网   址： http://www.hxvaet.com/

地   址：
广东省东莞市市辖区广东省东莞市松山湖园区中集产城数字科技产业园中区2栋3单元
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