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广东华芯半导体技术有限公司2025-05-29
采用多段单独控温技术（至多可达 16 段），搭配高精度热电偶和智能 PID 算法，温度控制精度达 ±1℃，均匀性≤±2.5℃（空炉测试）。广东华芯半导体技术有限公司的立式炉配备 3D 热风循环系统，通过导流板和风扇转速动态调节，确保不同高度工位的温度一致性。
本回答由 广东华芯半导体技术有限公司 提供
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联系人： 周小姐
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