广东华芯半导体技术有限公司2025-05-31
采用四导轨导向 + 滚珠丝杠传动结构,配合阻尼缓冲装置,升降过程振动幅度≤0.05g。广东华芯半导体技术有限公司的设备在吊篮底部设置弹性支撑座,进一步吸收机械振动,适合 MEMS 器件等敏感元件的工艺需求。
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