广东华芯半导体技术有限公司2025-06-02
支持 SEMI E4、E5、E37 等通信协议,可与半导体工厂的智能制造系统(SMES)无缝对接,实现工艺数据实时追溯和设备状态远程监控。广东华芯半导体技术有限公司的立式炉已通过 SEMI S2/S8 安全认证,满足半导体行业严苛要求。
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