广东华芯半导体技术有限公司2025-06-03
支持离线清洁(拆卸吊篮后人工擦拭)和在线清洁(通水蒸气 + 气流吹扫),在线清洁周期可设定为每批次生产后自动启动。广东华芯半导体技术有限公司的立式炉采用镜面不锈钢内壁,污渍附着力降低 50%,清洁效率提升 3 倍。
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