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广东华芯半导体技术有限公司2025-05-29
立式炉采用垂直升降式腔体设计，工件通过吊篮或托盘垂直进出炉体，利用重力实现上下料定位，适合对空间利用率要求高的场景；卧式炉则为水平推拉式结构。广东华芯半导体技术有限公司的立式炉通过优化腔体气流分布，减少水平温差，温度均匀性较传统卧式炉提升 30% 以上。
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