赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-07-16

POCl3 作为扩散源有不少优势。一方面，它的使用操作相对简便，在扩散过程中能较好地控制反应条件。另一方面，POCl3 分解产生的磷原子扩散均匀性较好，这使得制造出的半导体器件性能更为稳定、一致性更高。而且，POCl3 在半导体和光伏领域的应用历史悠久，工艺成熟，有大量的实践经验可供参考，这也降低了生产过程中的风险和不确定性。

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