采用此技术方案，有助于减少**基准块和第二基准块的变形。作为推荐，所述抓数治具的表面粗糙度设置在。采用此技术方案，表面光滑便于使用，以提升半导体零件的抓数精度。本实用新型的有益效果是：设计新颖，结构简单、合理，能够通过设置的**基准面和第二基准面定位半导体零件的位置，并通过设置的圆弧基准台的切边抓取半导体零件的倒角以及崩口的尺寸，以剔除不良的半导体零件；且同一治具上设置有多个抓数治具，有助于批量检测。上述说明*是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。附图说明此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：图1为本实用新型涉及的抓数治具示意图；图2为本实用新型涉及的抓数治具排列示意图；图3为本实用新型涉及的半导体零件与抓数治具的连接示意图。图中标号说明：抓数治具1，**基准块2，第二基准块3，**基准面4，第二基准面5。生产集成电路芯片需要高度专业化的设备，可在多重苛刻环境下工作。北京环保半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务

    图8是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套与驱动轴连接前的位姿关系示意图；图9是本实用新型提供的工艺盘组件中驱动衬套与驱动轴连接后的局部剖面示意图；图10是本实用新型提供的工艺盘组件中工艺盘转轴与驱动衬套和驱动轴连接后的结构示意图；图11是本实用新型提供的工艺盘组件中工艺盘转轴与驱动衬套和驱动轴连接前的位姿关系示意图；图12是本实用新型提供的工艺盘组件中工艺盘转轴与驱动衬套和驱动轴连接后的局部剖面示意图；图13是本实用新型提供的工艺盘组件中传动筒的结构示意图；图14是本实用新型提供的工艺盘组件中传动筒与驱动轴固定连接前的位姿关系示意图；图15是本实用新型提供的工艺盘组件中传动筒与驱动轴固定连接后的位置关系示意图；图16是本实用新型提供的工艺盘组件中工艺盘转轴、驱动衬套和驱动轴在传动筒中的位置关系示意图。湖南电木半导体与电子工程塑料零件定制加工隔音吗高耐磨，抗冲击，耐腐蚀塑胶零部件加工。

    所述驱动轴包括驱动轴体部和驱动连接部，所述驱动衬套套设在所述驱动连接部外部，所述工艺盘转轴的底端形成有安装孔，所述驱动衬套部分设置在所述安装孔中，所述工艺盘转轴通过所述驱动衬套、所述驱动连接部与所述驱动轴体部连接，其中，所述驱动连接部的横截面为非圆形，所述驱动衬套的套孔与所述驱动连接部相匹配，所述工艺盘转轴的所述安装孔与所述驱动衬套相匹配，所述驱动轴旋转时，带动所述驱动衬套及所述工艺盘转轴旋转。推荐地，所述驱动衬套的外壁上形成有至少一个定位凸起，所述安装孔的侧壁上形成有至少一个定位槽，所述定位凸起一一对应地插入所述定位槽中。推荐地，所述驱动连接部的侧面包括至少一个定位平面，以使得所述驱动连接部的横截面为非圆形。推荐地，所述驱动连接部的侧面包括两个所述定位平面，以及设置在两个所述定位平面之间的两个圆柱面。推荐地，所述驱动衬套包括相互连接的***衬套部和第二衬套部，所述***衬套部和所述第二衬套部沿所述工艺盘转轴的轴线方向排列，所述第二衬套部位于所述***衬套部朝向所述驱动轴体部的一侧，所述套孔包括形成在所述***衬套部中的驱动通孔和形成在所述第二衬套部中的轴通孔，所述驱动通孔与所述驱动连接部匹配。

    冷却后，得到碳化硅陶瓷。实施例2本实施例的碳化硅陶瓷的制备过程具体如下：(1)以氧化钇与碳化硅微粉的质量比为3∶100，得到氯化钇与碳化硅微粉的质量比为∶100，然后将氯化钇溶解在水和酒精的混合溶液中，溶解完全后加入***分散剂聚乙烯醇缩丁醛，然后加入粒径为5μm碳化硅微粉，搅拌均匀，得到***浆料。在冰浴条件下加入与***浆料的质量比为∶1的环氧丙烷，搅拌均匀得第二浆料。将第二浆料在闭式喷雾塔中喷雾，得到表面覆盖有氧化钇的碳化硅颗粒。然后将碳化硅颗粒在真空条件、800℃下进行热处理，得到预处理颗粒。(2)将第二分散剂聚乙烯吡咯烷酮溶解在水中形成溶液，将***碳源炭黑和预处理颗粒在该溶液中均匀分散，再将粘接剂羧甲基纤维素钠加入其中，进行球磨，球磨过程中的转速为200转/分，球磨时间为3h，得到第三浆料，将第三浆料在喷雾造粒塔中喷雾，得到平均尺寸为120微米的造粒粉。(3)将造粒粉均匀填满模具，进行模压成型，成型压强为120mpa，保压时间为50s，脱模，然后置入真空包装袋中，抽真空，再置于等静压机中等静压成型，成型压力为300mpa，保压时间为120s，得到***预制坯。(4)将***预制坯放置于真空排胶炉中，以每分钟℃的速度升温至900℃，保温3h。我们会对生产的部件进行检测。

    所述在真空条件、700℃～900℃下进行加热处理的步骤中，加热处理的时间为1h～4h。在其中一个实施例中，所述将所述造粒粉成型，得到***预制坯的步骤包括：将所述造粒粉先进行模压成型，成型压力为70mpa～170mpa，保压时间为10s～90s，然后进行等静压成型，成型压力为200mpa～400mpa，保压时间为60s～180s，得到所述***预制坯。在其中一个实施例中，所述将所述造粒粉成型，得到***预制坯的步骤之后，所述将所述***预制坯与第二碳源混合加热的步骤之前，还包括：将所述***预制坯以℃/min～℃/min的速率升温至900℃，保温2h～4h，进行排胶；及/或，所述将所述***预制坯与第二碳源混合加热，使所述第二碳源呈液态，然后加压至3mpa～7mpa，得到第二预制坯的步骤之后，所述将所述第二预制坯和硅粉混合的步骤之前，还包括：将所述第二预制坯以℃/min～℃/min的速率升温至900℃，保温2h～4h，进行排胶。在其中一个实施例中，所述***碳源和所述第二碳源相互独立地选自石墨、炭黑、石油焦、糠醛、聚碳硅烷、沥青、酚醛树脂及环氧树脂中的至少一种；及/或。如火箭的结构元件、核工程材料、电热元件、电工材料（如高温热电偶、引燃电极）。安徽环保半导体与电子工程塑料零件定制加工特色

耐温、耐磨、可高效加工的高比强材料用于此领域。北京环保半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务

    所述奥氏体不锈钢具体可以是316l不锈钢，即，驱动轴3、传动筒4和工艺盘转轴1中至少一者的材料为316l不锈钢。本实用新型将现有技术中旋转件常用的304不锈钢材料替换为316l不锈钢，使得旋转件在强度几乎不变的同时，电阻率***降低，从而保证了工艺盘组件运动的流畅性。进一步推荐地，传动筒4的外凸台结构42与轴承座10之间的轴承材料也采用奥氏体不锈钢(推荐为316l不锈钢)。作为本实用新型的第二个方面，还提供一种半导体设备，包括工艺腔和工艺盘组件，其中，工艺盘组件为上文中描述的工艺盘组件，工艺盘组件的工艺盘01设置在工艺腔中。在本实用新型提供的半导体设备中，驱动连接部310为非圆柱体，驱动衬套2的套孔相匹配地也形成为异形孔，驱动轴3通过非圆柱体的驱动连接部310与异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套2，从而能够在工艺盘组件进行变速运动时，避免驱动轴3与驱动衬套2之间发生相对滑动，保证了驱动衬套2与驱动轴3之间的对位精度，进而提高了工艺盘转轴1旋转角度的控制精度，并提高了工件的放置精度。可以理解的是，以上实施方式**是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言。北京环保半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务

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