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固定壳5内壁的底部开设有与滑块配合使用的滑槽。采用上述方案：通过设置滑块和滑槽，提高了活动板702前后移动的平稳性，同时有效的减少了...

三、合成上的多种途径：聚酰亚胺品种繁多、形式多样，在合成上具有多种途径，因此可以根据各种应用目的进行选择，这种合成上的易变通性也是其...

可**简化加工工序。10、在微电子器件中的应用：用作介电层进行层间绝缘，作为缓冲层可以减少应力、提高成品率。作为保护层可以减少环境对...

本实用新型涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种半导体设备中的工艺盘组件，以及一种包括该工艺盘组件的半导体设备。背景技术：半导体设备通...