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上海优良掩膜版品质售后无忧

来源: 发布时间:2020-11-07

光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分***,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成电路)、FPD(Flat Panel Display,平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等. 光刻掩膜版(又称光罩,英文为Mask Reticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。上海优良掩膜版品质售后无忧

光掩膜上游主要包括图形设计、光掩膜设备及材料行业,下游主要包括IC制造、IC封装、平面显示和印制线路板等行业,应用于主流消费电子 (手机、平板、可穿戴设备)、笔记本电脑、车载电子、网络通信、家用电器、LED 照明、物联网、医疗电子等终端产品。 目前全球范围内光刻掩膜版主要以专业生产商为主。由于下游应用领域厂商自建光刻掩膜版生产线的投入产出比很低,且光刻掩膜版行业具有一定的技术壁垒,所以光刻掩膜版都是由专业的生产商进行生产。 云南口碑好掩膜版哪家快

光刻掩膜版的工艺过程: 1) 绘制生成设备可以识别的掩膜版版图文件(GDS格式) 2) 使用无掩模光刻机读取版图文件,对带胶的空白掩膜版进行非接触式曝光(曝光波长405nm),照射掩膜版上所需图形区域,使该区域的光刻胶(通常为正胶)发生光化学反应 3) 经过显影、定影后,曝光区域的光刻胶溶解脱落,暴露出下面的铬层 4) 使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀,将暴露出的铬层刻蚀掉形成透光区域,而受光刻胶保护的铬层不会被刻蚀,形成不透光区域。这样便在掩膜版上形成透光率不同的平面图形结构。 5) 在有必要的情况下,使用湿法或干法方式去除掩膜版上的光刻胶层,并对掩膜版进行清洗。 其中掩膜版图形数据由用户自行设计并提交,后续加工工艺由工程师完成。由于图形数据准备是掩膜版加工中的关键步骤,要求用户对所提交的版图文件仔细核对,确保图形正确性。

掩膜版的种类 透明基板 1、透明玻璃 。石英玻璃(Quartz Glass)苏打玻璃(Soda-lime Glass)低膨胀玻璃(Low Expansion Glass) 2、透明树脂 遮光膜 (1)硬质遮光膜:铬膜氧化铁硅化钼硅。 (2)乳胶。 掩膜版的制作方法 溅镀法(Sputtering): (1)上平行板:装载溅镀金属的靶材; 下平行板:作为溅镀对象的玻璃基板。 (2)将氩气(Ar 2 )通入反应舱中形成等离子体; 氩离子(Ar + )在电场中被加速后冲撞靶材; 受冲击的靶材原子会沉积在玻璃基板上从而形成薄膜。

光掩膜概述: 光掩膜一般也称光罩,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,并通过曝光将图形转印到产品基板上。光掩膜主要由两部分组成:基板和不透光材料。 作为半导体、液晶显示器制造过程中转移电路图形“底片”的高精密工具,光掩膜是半导体制程中非常关键的一环。 光掩膜的应用领域: 光掩膜主要应用于集成电路、平板显示(包括 LCD、LED、OLED)、印刷电路板等领域,应用较为***。 湖南知名掩膜版来电咨询

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光掩膜除了应用于芯片制造外,还***的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,其中后者可以应用于芯片制造。(顺便提一下,通常讲的菲林即film,底片或胶片的意思,感光为微小晶体颗粒)。上海优良掩膜版品质售后无忧

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