非制冷热红外显微镜的售价因品牌、性能、功能配置等因素而呈现较大差异 。不过国产的非制冷热红外显微镜在价格上颇具竞争力,适合长时间动态监测。通过锁相热成像等技术优化后,其灵敏度(通常 0.01-0.1℃)和分辨率(普遍 5-20μm)虽稍逊于制冷型,但性价比更具优势。与制冷型相比,非制冷型无需制冷耗材,适用于 PCB、PCBA 等常规电子元件的失效分析;制冷型灵敏度更高(可达 0.1mK)、分辨率更低(低至 2μm),多用于半导体晶圆等对检测要求较高的场景。非制冷热红外显微镜在中低端工业检测领域应用较多。热红外显微镜能够探测到亚微米级别的热异常,检测精度极高 。无损热红外显微镜批量定制
热红外显微镜是半导体失效分析与缺陷定位的三大主流手段之一(EMMI、THERMAL、OBIRCH),通过捕捉故障点产生的异常热辐射,实现精细定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表现为局部功耗异常,导致微区温度升高。显微热分布测试系统结合热点锁定技术,能够高效识别这些区域。热点锁定是一种动态红外热成像方法,通过调节电压提升分辨率与灵敏度,并借助算法优化信噪比。在集成电路(IC)分析中,该技术广泛应用于定位短路、ESD损伤、缺陷晶体管、二极管失效及闩锁问题等关键故障。 工业检测热红外显微镜性价比热红外显微镜结合自研算法,对微弱热信号进行定位分析,锁定潜在缺陷 。
在失效分析的有损分析中,打开封装是常见操作,通常有三种方法。全剥离法会将集成电路完全损坏,留下完整的芯片内部电路。但这种方法会破坏内部电路和引线,导致无法进行电动态分析,适用于需观察内部电路静态结构的场景。局部去除法通过特定手段去除部分封装,优点是开封过程不会损坏内部电路和引线,开封后仍可进行电动态分析,能为失效分析提供更丰富的动态数据。自动法则是利用硫酸喷射实现局部去除,自动化操作可提高效率和精度,不过同样属于破坏性处理,会对样品造成一定程度的损伤。
通过大量海量热图像数据,催生出更智能的数据分析手段。借助深度学习算法,构建热图像识别模型,可快速准确地从复杂热分布中识别出特定热异常模式。如在集成电路失效分析中,模型能自动比对正常与异常芯片的热图像,定位短路、断路等故障点,有效缩短分析时间。在数据处理软件中集成热传导数值模拟功能,结合实验测得的热数据,反演材料内部热导率、比热容等参数,从热传导理论层面深入解析热现象,为材料热性能研究与器件热设计提供量化指导。热红外显微镜帮助工程师分析电子设备过热的根本原因 。
在国内失效分析设备领域,专注于原厂研发与生产的企业数量相对较少,尤其在热红外检测这类高精度细分领域,具备自主技术积累的原厂更为稀缺。这一现状既源于技术门槛 —— 需融合光学、红外探测、信号处理等多学科技术,也受限于市场需求的专业化程度,导致多数企业倾向于代理或集成方案。
致晟光电正是国内少数深耕该领域的原厂之一。不同于单纯的设备组装,其从中枢技术迭代入手,在传统热发射显微镜基础上进化出热红外显微镜,形成从光学系统设计、信号算法研发到整机制造的完整能力。这种原厂基因使其能深度理解国内半导体、材料等行业的失效分析需求,例如针对先进制程芯片的微小热信号检测、国产新材料的热特性研究等场景,提供更贴合实际应用的设备与技术支持,成为本土失效分析领域不可忽视的自主力量。 热红外显微镜通过测量热辐射强度,量化评估电子元件的功耗 。无损热红外显微镜批量定制
热红外显微镜在 3D 封装检测中,通过热传导分析确定内部失效层 。无损热红外显微镜批量定制
ThermalEMMI(热红外显微镜)是一种先进的非破坏性检测技术,主要用于精细定位电子设备中的热点区域,这些区域通常与潜在的故障、缺陷或性能问题密切相关。该技术可在不破坏被测对象的前提下,捕捉电子元件在工作状态下释放的热辐射与光信号,为工程师提供关键的故障诊断线索和性能分析依据。在诸如复杂集成电路、高性能半导体器件以及精密印制电路板(PCB)等电子组件中,ThermalEMMI能够快速识别出异常发热或发光的区域,帮助工程师迅速定位问题根源,从而及时采取有效的维修或优化措施。无损热红外显微镜批量定制