致晟光电的热红外显微镜（Thermal EMMI）系列 ——RTTLIT P10 实时瞬态锁相热分析系统，搭载非制冷型热红外成像探测器，采用锁相热成像（Lock-In Thermography）技术，通过调制电信号大幅提升特征分辨率与检测灵敏度，具备高灵敏度、高性价比的突出优势。该系统锁相灵敏度可达 0.001℃，显微分辨率可达 5μm，分析速度快且检测精度高，重点应用于电路板失效分析领域，可多用于适配 PCB、PCBA、大尺寸主板、分立元器件、MLCC 等产品的维修检测场景。 热红外显微镜对集成电路进行热检测，排查内部隐藏故障 。国内热红外显微镜货源充足

当电子设备中的某个元件发生故障或异常时，常常伴随局部温度升高。热红外显微镜通过高灵敏度的红外探测器，能够捕捉到极其微弱的热辐射信号。这些探测器通常采用量子级联激光器等先进技术，或其他高性能红外传感方案，具备宽温区、高分辨率的成像能力。通过对热辐射信号的精细探测与分析，热红外显微镜能够将电子设备表面的温度分布以高对比度的热图像形式呈现，直观展现热点区域的位置、尺寸及温度变化趋势，从而帮助工程师快速锁定潜在的故障点，实现高效可靠的故障排查。显微热红外显微镜原理热红外显微镜利用其高分辨率，观察半导体制造过程中的热工艺缺陷 。

热红外显微镜（Thermal EMMI）技术，作为半导体失效分析领域的关键手段，通过捕捉器件内部产生的热辐射，实现失效点的精细定位。它凭借对微观热信号的高灵敏度探测，成为解析半导体故障的 “火眼金睛”。然而，随着半导体技术不断升级，器件正朝着超精细图案制程与低供电电压方向快速演进：线宽进入纳米级，供电电压降至 1V 以下。这使得失效点（如微小短路、漏电流区域）产生的热量急剧减少，其辐射的红外线信号强度降至传统检测阈值边缘，叠加芯片复杂结构的背景辐射干扰，信号提取难度呈指数级上升。

在电子领域，所有器件都会在不同程度上产生热量。器件散发一定热量属于正常现象，但某些类型的缺陷会增加功耗，进而导致发热量上升。

在失效分析中，这种额外的热量能够为定位缺陷本身提供有用线索。热红外显微镜可以借助内置摄像系统来测量可见光或近红外光的实用技术。该相机对波长在3至10微米范围内的光子十分敏感，而这些波长与热量相对应，因此相机获取的图像可转化为被测器件的热分布图。通常，会先对断电状态下的样品器件进行热成像，以此建立基准线；随后通电再次成像。得到的图像直观呈现了器件的功耗情况，可用于隔离失效问题。许多不同的缺陷在通电时会因消耗额外电流而产生过多热量。例如短路、性能不良的晶体管、损坏的静电放电?；ざ艿?，通过热红外显微镜观察时会显现出来，从而使我们能够精细定位存在缺陷的损坏部位。 热红外显微镜结合自研算法，对微弱热信号进行定位分析，锁定潜在缺陷 。

致晟光电热红外显微镜（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 实时瞬态锁相热分析系统，采用锁相热成像（Lock-inThermography）技术，通过调制电信号提升特征分辨率与灵敏度，并结合软件算法优化信噪比，实现显微成像下超高灵敏度的热信号测量。RTTLIT P20搭载100Hz高频深制冷型超高灵敏度显微热红外成像探测器，测温灵敏度达0.1mK，显微分辨率低至2μm，具备良好的检测灵敏度与测试效能。该系统重点应用于对测温精度和显微分辨率要求严苛的场景，包括半导体器件、晶圆、集成电路、IGBT、功率?？椤⒌谌氲继?、LED及microLED等的失效分析，是电子集成电路与半导体器件失效分析及缺陷定位领域的关键工具。定位芯片内部微短路、漏电、焊点虚接等导致的热异常点。制冷热红外显微镜应用

热红外显微镜通过热成像技术，快速定位 PCB 板上的短路热点 。国内热红外显微镜货源充足

相较于宏观热像仪（空间分辨率约50-100μm），热红外显微镜通过显微光学系统将分辨率提升至1-10μm，且支持动态电激励与锁相分析，能深入揭示微观尺度的热-电耦合失效机理。例如，传统热像仪能检测PCB表面的整体热分布，而热红外显微镜可定位某一焊点内部的微裂纹导致的局部过热。技术发展趋势当前，热红外显微镜正朝着更高灵敏度（如量子点探测器提升光子捕捉能力）、多模态融合（集成EMMI光子探测、OBIRCH电阻分析）及智能化方向发展，部分设备已内置AI算法自动标记异常热点，为半导体良率提升、新能源汽车电驱系统热管理等应用提供更高效的解决方案。国内热红外显微镜货源充足