热红外显微镜(Thermal EMMI)技术,作为半导体失效分析领域的关键手段,通过捕捉器件内部产生的热辐射,实现失效点的精细定位。它凭借对微观热信号的高灵敏度探测,成为解析半导体故障的 “火眼金睛”。然而,随着半导体技术不断升级,器件正朝着超精细图案制程与低供电电压方向快速演进:线宽进入纳米级,供电电压降至 1V 以下。这使得失效点(如微小短路、漏电流区域)产生的热量急剧减少,其辐射的红外线信号强度降至传统检测阈值边缘,叠加芯片复杂结构的背景辐射干扰,信号提取难度呈指数级上升。
半导体芯片内部缺陷定位是工艺优化与失效分析的关键技术基础。低温热热红外显微镜方案设计
非破坏性分析(NDA)以非侵入方式分析样品内部结构和性能,无需切割、拆解或化学处理,能保留样品完整性,为后续研究留有余地,在高精度、高成本的半导体领域作用突出。
无损分析,通过捕捉样品自身红外热辐射成像,全程无接触,无需对晶圆、芯片等进行破坏性处理。在半导体制造中,可识别晶圆晶体缺陷;封装阶段,能检测焊接点完整性或封装层粘结质量;失效分析时,可定位内部短路或断裂区域的隐性热信号,为根源分析提供依据,完美适配半导体行业对高价值样品的保护需求。 实时成像热红外显微镜范围热红外显微镜可模拟器件实际工作温度测试,为产品性能评估提供真实有效数据。
致晟光电在推动产学研一体化进程中,积极开展校企合作。公司依托南京理工大学光电技术学院,专注开发基于微弱光电信号分析的产品及应用。双方联合攻克技术难题,不断优化实时瞬态锁相红外热分析系统(RTTLIT),使该系统温度灵敏度可达0.0001℃,功率检测限低至1uW,部分功能及参数优于进口设备。此外,致晟光电还与其他高校建立合作关系,搭建起学业-就业贯通式人才孵化平台。为学生提供涵盖研发设计、生产实践、项目管理全链条的育人平台,输送了大量实践能力强的专业人才,为企业持续创新注入活力。通过建立科研成果产业孵化绿色通道,高校的前沿科研成果得以快速转化为实际生产力,实现了高校科研资源与企业市场转化能力的优势互补。
致晟光电推出的多功能显微系统,创新实现热红外与微光显微镜的集成设计,搭配灵活可选的制冷/非制冷模式,可根据您的实际需求定制专属配置方案。这套设备的优势在于一体化集成能力:只需一套系统,即可同时搭载可见光显微镜、热红外显微镜及InGaAs微光显微镜三大功能模块。这种设计省去了多设备切换的繁琐,更通过硬件协同优化提升了整体性能,让您在同一平台上轻松完成多波段观测任务。相比单独购置多套设备,该集成系统能大幅降低采购与维护成本,在保证检测精度的同时,为实验室节省空间与预算,真正实现性能与性价比的双重提升。热红外显微镜的 AI 智能分析模块,自动标记异常热斑并匹配历史失效数据库。
热红外显微镜(Thermal EMMI) 图像分析是通过探测物体自身发出的红外辐射,将其转化为可视化图像,进而分析物体表面温度分布等信息的技术。其原理是温度高于零度的物体都会向外发射红外光,热红外显微镜通过吸收这些红外光,利用光电转换将其变为温度图像。物体内电荷扰动会产生远场辐射和近场辐射,近场辐射以倏逝波形式存在,强度随远离物体表面急剧衰退,通过扫描探针技术可散射近场倏逝波,从而获取物体近场信息,实现超分辨红外成像。热红外显微镜可用于研究电子元件在不同环境下的热行为 。高分辨率热红外显微镜性价比
检测 PCB 焊点、芯片键合线的接触电阻异常,避免虚焊导致的瞬态过热。低温热热红外显微镜方案设计
现市场呈现 “国产崛起与进口分野” 的竞争格局。进口品牌凭借早期技术积累,在市场仍占一定优势,国产厂商则依托本土化优势快速突围,通过优化供应链、降低生产成本,在中低端市场形成强竞争力,尤其在工业质检、电路板失效分析等场景中,凭借高性价比和快速响应的服务抢占份额。同时,国内企业持续加大研发投入,在探测器灵敏度、成像分辨率等指标上不断追赶,部分中端产品可以做到超越国际水平,且在定制化解决方案上更贴合本土客户需求,如针对大尺寸主板检测优化的机型。随着国产技术成熟度提升,与进口品牌的竞争边界不断模糊,推动整体市场向多元化、高性价比方向发展。低温热热红外显微镜方案设计