氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性,而在结构组成上,大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的:质谱室是这种真空氦检仪器的心脏,又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分;真空系统...
使用氦检仪需注意的几个问题:(1)检漏方法的选择:目前,电厂采用氦检仪检漏通常采用负压采样法,该方法操作简便,但仪器的清理时间较长。根据被检系统的不同也可以采用真空法检漏,即将氦检仪的测试口直接接至真空系统的抽气管道上,通过节流阀调节气流以衰减氦检仪与真空系统...
氦质谱检漏仪特点:1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;2.检测的介质比较常用,只需压缩空气即可;3.不会受到主观因素判断的影响;4.检测的数据精确;5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。氢质谱检漏仪能为不同的应用提供不同的测试方法,含有涡轮分子泵、内置...
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环...
任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况,某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系,但是汽车管路作为汽车转配中的重要零部件,关系着车辆和乘员的安全。良好的密封才能决定仪器的正常使用,所以检漏十分重要!传统的检漏方法:如加压水检法、压差法、卤素检漏法,在检漏...
氦质谱检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点:①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬...
氦质谱检漏仪特点:1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;2.检测的介质比较常用,只需压缩空气即可;3.不会受到主观因素判断的影响;4.检测的数据精确;5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。氢质谱检漏仪能为不同的应用提供不同的测试方法,含有涡轮分子泵、内置...
在针对氦检仪选择和安装真空计时,必须考虑其特性和真空测量的特性:由于真空室中存在潜在的压力梯度,恰当选择安装位置。表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短,且密封件数量减少到蕞小。电离真空计具有抽气效应,因此...
使用氦检仪需注意的几个问题:(1)检漏方法的选择:目前,电厂采用氦检仪检漏通常采用负压采样法,该方法操作简便,但仪器的清理时间较长。根据被检系统的不同也可以采用真空法检漏,即将氦检仪的测试口直接接至真空系统的抽气管道上,通过节流阀调节气流以衰减氦检仪与真空系统...
氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。灵敏度、反应时间、清零时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦检仪的主要性能指标。检测气体使用氦气的主要原因如下:(1)对人体和自然环境没有毒害;(2)不能燃烧,作业安全;(3)惰性气体,和被检测对象不会发生化学...
氦检仪分子泵出现故障如何快速定位维修?1.TMP(分子泵工作频率)在仪器的显示界面提示为0,即为分子泵不工作。可能是前级压力过高(分子泵启动压力为200Pa)导致分子泵不能正常启动。2.检查真空表是不是出现了问题,分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏,机械泵是...
氦检仪分子泵出现故障如何快速定位维修?1.TMP(分子泵工作频率)在仪器的显示界面提示为0,即为分子泵不工作。可能是前级压力过高(分子泵启动压力为200Pa)导致分子泵不能正常启动。2.检查真空表是不是出现了问题,分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏,机械泵是...
氦检仪的示踪气体也可以是其他元素,但通常选用氦气,因为氦气具有以下特性:①氦气在空气中的含量极少,只占约二十万分之一,这样氦气的本底值就小,有利于发现极微量的氦气;②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔,易于检测也易于清理;③氦离子荷质比小,易于进行质谱分析;...
高质量的检漏仪可以有效提高产品质量、生产安全性,而且还可有效降低产品维护以及故障排除所需的时间和资本。但如何更高效的进行产品检漏?检漏过程中需要注意哪些事宜?上海睿德励柯仪器仪表有限公司小编来带大家学习一下如何对空调相关系统利用氦检仪和检漏仪等设备进行真空检漏...
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环...
选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题:1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。...
氦检仪有漏率灵敏度参数,它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度,但平常实际使用时其灵敏度是低于该参数的,称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中,氦检仪的检漏方法也较多,有喷吹法、氦罩法、检漏盒法、充压法、吸嘴法、累积检漏法、背压法、选择性抽...
影响氦质谱检漏仪检测精度的原因是什么?稳定时间对检测的影响,在充气的时候,压缩空气会因为受压状态而进入一个密闭容器后,引起一系列的热力学-动力学变化。即当一定体积的压缩空气迅速移至一密闭容器后,其压力会发生降低,若此时进行测量,则这种压力的变化会被视作一个由泄...
在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作,由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂,内部有很多管道和传动机构,有的体积很大,达几十立方米,甚至数百立方米,连接管...
氦检仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号,而对其他气体没有反应,属于唯1性氦检仪器。检漏过程中,一旦出现信号,就说明有氦气通过漏孔进入被检件,从而指示出漏...
便携式氦质谱检漏仪的明显优点:1、性价比高:便携式氦质谱检漏仪是一款实用的检漏仪,可覆盖广大的应用领域,竞争性的价格及较低的使用成本,大抽速前级泵的设计,可缩短抽气时间,提高使用效率;2、自我保护功能:在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能,系统的逆扩散设计保...
氦检仪的组成部分有哪些?真空系统,仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件,不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。真空系统一般包括:1)主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa,其抽速应与气载匹配。2)前级真空泵。一般采用旋片式机械...
氦质谱检漏仪在使用时需注意哪些问题?1、氦质谱检漏仪实际的检漏灵敏度比理论计算值低,一是由于所喷出的氦气流是散开的,故掺有一定数量的空气,使氦气的浓度有所降低。二是喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向,此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低...
氦检仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。氦检仪在使用过程中,往往会因为产生的一些故障或是现象,而影响检漏工作的正常进度,若对其置之不理还会危及氦检仪的使用寿命。其中的有些故障或现...
氦检仪常用的几种检漏方法:氦质谱检漏方法较多,根据被检工件的测量目的可分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中,应根据检验目的选择较合理的方法,并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件...
选择氦质谱检漏仪检漏方法的原则:1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据,由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合体现。为找到一个单个漏孔,所选择检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w,而必须选用的氦质谱检漏仪灵...
氦质谱检漏仪原理:氦质谱检漏仪是基于质谱法原理,以氦气作为检漏的仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡,与室内气体碰撞,氦气泄漏进入室内,电离成正离子,正离子在加速电场的作用下进入...
氦检仪应用领域:工业:真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束线、同步辐射光源。科研领域:空间模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统。半导体及电子:工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装。汽车制冷:蒸发器、空调、管路。核工业:核...
氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性,而在结构组成上,大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的:质谱室是这种真空氦检仪器的心脏,又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分;真空系统...
氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。灵敏度、反应时间、清零时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦检仪的主要性能指标。检测气体使用氦气的主要原因如下:(1)对人体和自然环境没有毒害;(2)不能燃烧,作业安全;(3)惰性气体,和被检测对象不会发生化学...