影响氦质谱检漏仪检测精度的原因是什么?稳定时间对检测的影响,在充气的时候,压缩空气会因为受压状态而进入一个密闭容器后,引起一系列的热力学-动力学变化。即当一定体积的压缩空气迅速移至一密闭容器后,其压力会发生降低,若此时进行测量,则这种压力的变化会被视作一个由泄...
氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容...
影响氦检仪灵敏度的因素有哪些?氦检仪检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括8个方面:第1,氦检仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至氦检仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入氦检仪的氦气量可比...
影响氦质谱检漏仪检测精度的原因是什么?稳定时间对检测的影响,在充气的时候,压缩空气会因为受压状态而进入一个密闭容器后,引起一系列的热力学-动力学变化。即当一定体积的压缩空气迅速移至一密闭容器后,其压力会发生降低,若此时进行测量,则这种压力的变化会被视作一个由泄...
氦检仪的组成部分有哪些?真空系统:冷阱。分子泵型真空系统一般不加冷阱。扩散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间,使三者被冷阱隔离,冷阱加入液氮后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室,保持质谱室的清洁,并帮助扩散泵迅速获得较高真空。检漏...
在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作,由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂,内部有很多管道和传动机构,有的体积很大,达几十立方米,甚至数百立方米,连接管...
氦检仪怎么选择适合的检漏方法?氦检仪的实际应用方案很多,常用的三种检漏方法有负压法(抽真空),正压法(吸入法)和背压法(压氦法),可以发现有不同的叫法,这是根据不同的检测方式命名的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的...
氦质谱检漏仪检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括几个方面:一、氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。二、进入被检漏...
氦检仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,...
氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面:(1)便携式:很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动...
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1优于200Pa...
氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护?当发现检漏仪的灵敏度降低,而检漏仪的工作真空度状态良好,放大器的各级工作电压也符合标准要求,就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候,就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清...
氦质谱检漏仪应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控,特别是在一些真空设备的质量检验之中,应用氦质谱检漏仪已经成为了一种常见的事项。氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测准度,所以选择合适的氦质谱检漏仪很重要。氦质谱检漏仪的选择:1、如果...
氦检仪在压力容器中的常用方法:喷氦法,喷氦法是常用,比较方便的检漏方法。检漏时,用连接在装有氦气的气瓶上的喷头向怀疑有漏泄的部位喷氦气,如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置,则装置内的氦分压就会上升,氦氦检仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少,...
氦检仪漏率的校准方法:一、环境条件,校准环境温度为(23±5)℃,校准过程中室温变化不超过±1℃,环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰?;肪澄露冉虾每刂圃?3℃附近,因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃...
氦检仪在使用过程中需特别注意以下几点:①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动氦检...
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环...
氦质谱检漏仪的日常维护:1.定期检查机械泵的油位,如不足足应及时添加;如果机械泵的油是棕色、褐色或闻起来有糊状的味道,这意味着油已经恶化了。此时,应释放泵中的油,必要时,先用新油冲洗,然后注入新油。2.定期清洗或更换机械泵的排气管。如果排气管中有大量油滴,可以...
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环...
在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作,由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂,内部有很多管道和传动机构,有的体积很大,达几十立方米,甚至数百立方米,连接管...
使用氦检仪需注意的几个问题:(1)检漏方法的选择:目前,电厂采用氦检仪检漏通常采用负压采样法,该方法操作简便,但仪器的清理时间较长。根据被检系统的不同也可以采用真空法检漏,即将氦检仪的测试口直接接至真空系统的抽气管道上,通过节流阀调节气流以衰减氦检仪与真空系统...
选择氦检仪时主要考虑以下问题:(1)仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合正压法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有多工位的氦检仪。(2)仪器的灵敏度能满足检漏的要...
氦检仪有漏率灵敏度参数,它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度,但平常实际使用时其灵敏度是低于该参数的,称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中,氦检仪的检漏方法也较多,有喷吹法、氦罩法、检漏盒法、充压法、吸嘴法、累积检漏法、背压法、选择性抽...
选择氦检仪时主要考虑以下问题:(1)仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合正压法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有多工位的氦检仪。(2)仪器的灵敏度能满足检漏的要...
选择氦检仪时主要考虑以下问题:(1)仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合正压法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有多工位的氦检仪。(2)仪器的灵敏度能满足检漏的要...
氦质谱检漏仪的保养注意事项:1.如果仪器不是每天使用,建议每周开机检查一下,使仪器高真空系统保持真空,缩短仪器使用时的开机时间2.拆卸仪器部件(如离子源)后,安装时要避免安装部位出现泄漏,可用仪器进行自身检漏。3.适时对仪器可能出现的泄漏处(如放气阀等)进行自...
氦检仪产生测量误差主要包括哪几个方面?第1,当氦质谱泄漏检测器校准灵敏度时,标准泄漏的位置与检测泄漏的位置不同,即标准泄漏与检测泄漏检测器之间的距离太大,在途中泄漏氦的损失不相等,导致进入检测泄漏检测器的氦量可比性差。第二,进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分...
氦质谱检漏仪应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控,特别是在一些真空设备的质量检验之中,应用氦质谱检漏仪已经成为了一种常见的事项。氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测准度,所以选择合适的氦质谱检漏仪很重要。氦质谱检漏仪的选择:1、如果...