氦质谱检漏仪对检漏方法的具体要求:1、检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;2、反应时间短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;4、能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;5、稳定性好,即可以在...
氦检仪的组成部分有哪些?真空系统:冷阱。分子泵型真空系统一般不加冷阱。扩散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间,使三者被冷阱隔离,冷阱加入液氮后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室,保持质谱室的清洁,并帮助扩散泵迅速获得较高真空。检漏...
氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:一、离子源中的发射电流、加速...
氦质谱检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点:①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬...
氦检仪应用领域:工业:真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束线、同步辐射光源。科研领域:空间模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统。半导体及电子:工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装。汽车制冷:蒸发器、空调、管路。核工业:核...
在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作,由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂,内部有很多管道和传动机构,有的体积很大,达几十立方米,甚至数百立方米,连接管...
氦检仪灵敏度降低应该如何维护?当发现氦检仪的灵敏度降低,而氦检仪的工作真空度状态良好,放大器的各级工作电压也符合标准要求,就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候,就需要将氦检仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗...
氦检仪在压力容器中的常用方法:喷氦法,喷氦法是常用,比较方便的检漏方法。检漏时,用连接在装有氦气的气瓶上的喷头向怀疑有漏泄的部位喷氦气,如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置,则装置内的氦分压就会上升,氦氦检仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少,...
氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性,而在结构组成上,大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的:质谱室是这种真空氦检仪器的心脏,又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分;真空系统...
选择氦检仪时主要考虑以下问题:(1)仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合正压法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有多工位的氦检仪。(2)仪器的灵敏度能满足检漏的要...
氦检仪怎么选,这取决于客户的需求:应用类型:(例如:生产,维护等)-干式/传统的油泵?性能:(进入检漏模式所需要的时间,灵敏度,响应时间,恢复时间,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦检仪的性能衡量,主要是通过以下参数:初抽的能力:(m3/h),检测允许的较大进气...
氦检仪灵敏度降低应该如何维护?当发现氦检仪的灵敏度降低,而氦检仪的工作真空度状态良好,放大器的各级工作电压也符合标准要求,就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候,就需要将氦检仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗...
氦检仪的工作原理:氦检仪先在质谱室中将采集的被测气体电离,再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子,主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是氦检仪...
在针对氦检仪选择和安装真空计时,必须考虑其特性和真空测量的特性:由于真空室中存在潜在的压力梯度,恰当选择安装位置。表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短,且密封件数量减少到蕞小。电离真空计具有抽气效应,因此...
氦质谱检漏仪常见的几种检漏法:1、负压法检漏,负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同,需要选择不同尺寸的夹具...
氦质谱检漏仪检漏注意事项:1、工件要保持清洁、干燥。2、对工件喷氦应按以下顺序进行:①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。3、喷氦时应经常检查喷口是否有氦气喷出。4、检完工件,必须将“节流阀”关闭,才能取工件。5、对同一工件,如有两处以上漏点,应排除Zda的...
氦检仪在无源器件中的检漏应用:无源器件检漏原因:光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分,也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高,如果存在泄漏会影响其使用性能和精度,光通信行业的漏率标准是小...
氦质谱检漏仪的灵敏度,通常指仪器的可检漏率。氦质谱检漏仪主要技术指标:1.可检漏率:5×10-12Pa·m3/s;2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s;3.启动时间:≤5min;4.响应时间:≤1s;5.检漏口的压力:1500Pa;6....
在针对氦检仪选择和安装真空计时,必须考虑其特性和真空测量的特性:由于真空室中存在潜在的压力梯度,恰当选择安装位置。表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短,且密封件数量减少到蕞小。电离真空计具有抽气效应,因此...
氦检仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,...
氦检仪常用的几种检漏方法:氦质谱检漏方法较多,根据被检工件的测量目的可分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中,应根据检验目的选择较合理的方法,并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件...
氦检仪常用的几种检漏方法:氦质谱检漏方法较多,根据被检工件的测量目的可分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中,应根据检验目的选择较合理的方法,并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件...
氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:一、离子源中的发射电流、加速...
氦检仪应用于调节阀气路管道检漏:调节阀又名控制阀,在现代化工厂的自动控制中,调节阀起着十分重要的作用,如果调节阀有漏,将会严重影响设备运行,进而降低整体的生产效率。氦检仪成功应用于调节阀中的气路管道检漏,经过检漏后的调节阀普遍应用于电厂、生物制药、化工等行业。...
氦检仪测量数据处理:漏率示值误差,①漏率的温度修正,标准漏孔漏率易受温度变化影响,温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃,所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致,需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的氦检仪示值修正至同一环境温度下来计算,并在测试结果...
氦检仪是什么?氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高,用得较普遍的氦检仪器。氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型...
在使用氦检仪时要如何保养?①如果仪器不是每天都使用,建议每周启动并检查一次,以保持仪器的高真空系统处于真空状态,在后期使用过程中可以缩短仪器的启动时间。②仪器部件(如离子源)拆卸后,安装过程中应避免在安装现场发生泄漏,仪器可用于泄漏检测。③及时对泄漏处(如放气...
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环...
氦检仪漏率的校准方法:一、环境条件,校准环境温度为(23±5)℃,校准过程中室温变化不超过±1℃,环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。环境温度较好控制在23℃附近,因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃...
氦检仪噪声是哪儿来的?高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种,一个是离子流接收放大机输出电路的噪声,另一个就是本底噪声。实际上,目前通过对电子线路的改进,仪器中离子流接收放大及输出电路引起的噪声已经降到很低的一个程度,因此已经不是限制设备灵敏度的主要因素,...