任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况，某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系，但是汽车管路作为汽车转配中的重要零部件，关系着车辆和乘员的安全。良好的密封才能决定仪器的正常使用，所以检漏十分重要!传统的检漏方法：如加压水检法、压差法、卤素检漏法，在检漏速度、精度及环保性能上都有一定程度的缺陷，而氦检漏技术，是集真空技术、计算机技术及质谱技术为一体的应用技术，为汽车空调两器及管路提供专业的检漏方案。氦检仪可靠的品质保证普遍的市场应用，氦检仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入氦检仪的质谱室中，使氦检仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。此款氦检仪坚固耐用，抗震性能极强，可反复使用数年仍保证的检漏漏率。氦检仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。氦质谱检漏仪在运行过程中不能移动。无锡多功能氦质谱检漏仪一台多少钱

提高氦质谱检漏仪灵敏度方法：1、尽量开大节流阀。2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后，关闭工件与外接泵之间的阀门)。3、将工件用塑料袋包扎，袋内再充入氦气，(但此法不能测出具体漏点)。4、使用液氮，全开节流阀，采用不分流检漏，必要时可将抽速阀关小。氦质谱检漏仪日常维护：1、定期更换灯丝，清洗冷规。2、定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦质谱检漏仪部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。四川氦质谱检漏仪厂家氦质谱检漏仪安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1优于200Pa时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦检仪在压力容器中的常用方法有哪些？

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。江苏台式氦质谱检漏仪供应厂家

在结构组成上，大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的；无锡多功能氦质谱检漏仪一台多少钱

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解，了解有哪些漏源，才能快，准，狠的完成检漏。无锡多功能氦质谱检漏仪一台多少钱

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