MEMS传感器是MEMS器件的一个重要分支，作为微机电系统的重要组成部分，MEMS传感器是实现微机电系统感知和信号处理的功能器件。这种传感器采用MEMS制造技术，即微电子制造技术和微机械加工制造技术，其材料、工作原理、制作工艺等方面与传统传感器有相当大的区别。 [4]MEMS传感器是基于其敏感材料的特殊效应工作的，它的制作工艺结合当今先进的IC微电子加工工艺和MEMS微机械加工制造工艺来实现，通过对材料的微机械加工，制造出可感受压力、温度、磁场、加速度等各种参数的稳定的结构器件(如梁、膜、叉指等单一或复合的结构)，从而实现对各种相关参数的感知、测试和转换用于测量-200℃～+500℃范围内的温度。杨浦区品牌传感器品牌

4、复合敏感功能——观察周围的自然现象，常见的信号有声、光、电、热、力、化学等。敏感元件测量一般通过两种方式：直接和间接的测量。而智能传感器具有复合功能，能够同时测量多种物理量和化学量，给出能够较***反映物质运动规律的信息。光敏光敏传感器是最常见的传感器之一，它的种类繁多，主要有：光电管、光电倍增管、光敏电阻、光敏三极管、太阳能电池、红外线传感器、紫外线传感器、光纤式光电传感器、色彩传感器、CCD和CMOS图像传感器等。它的敏感波长在可见光波长附近，包括红外线波长和紫外线波长上海质量传感器设计而单靠人们自身的感觉，在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。

在现代工业生产尤其是自动化生产过程中，要用各种传感器来监视和控制生产过程中的各个参数，使设备工作在正常状态或比较好状态，并使产品达到比较好的质量。因此可以说，没有众多的优良的传感器，现代化生产也就失去了基础。在基础学科研究中，传感器更具有突出的地位。现代科学技术的发展，进入了许多新领域：例如在宏观上要观察上千光年的茫茫宇宙，微观上要观察小到fm的粒子世界，纵向上要观察长达数十万年的天体演化，短到 s的瞬间反应。此外，还出现了对深化物质认识、开拓新能源、新材料等具有重要作用的各种极端技术研究，如超高温、**温、超高压、超高真空、***磁场、超弱磁场等等。

生物传感器的分类按照其感受器中所采用的生命物质分类，可分为：微生物传感器、免疫传感器、组织传感器、细胞传感器、酶传感器、DNA传感器等等。按照传感器器件检测的原理分类，可分为：热敏生物传感器、场效应管生物传感器、压电生物传感器、光学生物传感器、声波道生物传感器、酶电极生物传感器、介体生物传感器等。按照生物敏感物质相互作用的类型分类，可分为亲和型和代谢型两种。视觉工作原理：传感器（图12）视觉传感器是指：具有从一整幅图像捕获光线的数以千计像素的能力，图像的清晰和细腻程度常用分辨率来衡量，以像素数量表示。半导体应变片具有灵敏度高（通常是丝式、箔式的几十倍）、横向效应小等优点。

光传感器不只局限于对光的探测，它还可以作为探测元件组成其他传感器，对许多非电量进行检测，只要将这些非电量转换为光信号的变化即可。光传感器是产量**多、应用**广的传感器之一，它在自动控制和非电量电测技术引中占有非常重要的地位。**简单的光敏传感器是光敏电阻，当光子冲击接合处就会产生电流。生物生物传感器的概念传感器（图11）生物传感器是用生物活性材料（酶、蛋白质、DNA、抗体、抗原、生物膜等）与物理化学换能器有机结合的一门交叉学科，是发展生物技术必不可少的一种先进的检测方法与监控方法，也是物质分子水平的快速、微量分析方法。利用激光的高方向性、高单色性和高亮度等特点可实现无接触远距离测量。上海质量传感器设计

显然，要获取大量人类感官无法直接获取的信息，没有相适应的传感器是不可能的。杨浦区品牌传感器品牌

各种生物传感器有以下共同的结构：包括一种或数种相关生物活性材料（生物膜）及能把生物活性表达的信号转换为电信号的物理或化学换能器（传感器），二者组合在一起，用现代微电子和自动化仪表技术进行生物信号的再加工，构成各种可以使用的生物传感器分析装置、仪器和系统。生物传感器的原理待测物质经扩散作用进入生物活性材料，经分子识别，发生生物学反应，产生的信息继而被相应的物理或化学换能器转变成可定量和可处理的电信号，再经二次仪表放大并输出，便可知道待测物浓度。杨浦区品牌传感器品牌

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