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  • 宝山区挑选传感器现货
    宝山区挑选传感器现货

    热电偶温度传感器一般由基准源、冷端补偿、放大单元、线性化处理、V/I转换、断偶处理、反接保护、限流保护等电路单元组成。它是将热电偶产生的热电势经冷端补偿放大后,再帽由线性电路消除热电势与温度的非线性误差,***放大转换为4~20mA电流输出信号。为防止热电偶测量中由于电偶断丝而使控温失效造成事故,传感器中还设有断电保护电路。当热电偶断丝或接解不良时,传感器会输出最大值(28mA)以使仪表切断电源。一体化温度传感器具有结构简单、节省引线、输出信号大、抗干扰能力强、线性好、显示仪表简单、固体模块抗震防潮、有反接保护和限流保护、工作可靠等优点。一体化温度传感器的输出为统一的 4~20mA信号;可与微...

  • 普陀区质量传感器现货
    普陀区质量传感器现货

    手机拍照带给我们随时随地的便捷,但是面对复杂的环境、多样的拍照场景,人手拍照有无法避免的抖动,像是走着跑着躺着拍照,或者把手伸长、手握自拍杆自拍,无论哪种抖动,凭借MEMS DRIVE马达独有的五轴防抖,和快速、精细控制的技术优势,都能呈现出更清晰更锐丽的图片 [1]。1、微机械压力传感器微机械压力传感器是**早开始研制的微机械产品,也是微机械技术中**成熟、**早开始产业化的产品。从信号检测方式来看,微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类,分别以体微机械加工技术和**层技术为基础制造。从敏感膜结构来看,有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。压阻式压力传感器的精度可达0.05%~0.01%,年稳...

  • 上海标准传感器性能
    上海标准传感器性能

    在药品包装生产线,检验阿斯匹林药片的泡罩式包装中是否有破损或缺失的药片;在金属冲压公司,以每分钟逾150片的速度检验冲压部件,比人工检验快13倍以上。位移传感器(图13)位移传感器又称为线性传感器,把位移转换为电量的传感器。位移传感器是一种属于金属感应的线性器件,传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量它分为电感式位移传感器,电容式位移传感器,光电式位移传感器,超声波式位移传感器,霍尔式位移传感器。在这种转换过程中有许多物理量(例如压力、流量、加速度等)常常需要先变换为位移,然后再将位移变换成电量。因此位移传感器是一类重要的基本传感器。霍尔传感器分为线性型霍尔传感器和开关型霍尔传感器两种。上海...

  • 宝山区质量传感器特点
    宝山区质量传感器特点

    国家标准GB/T 7665-2005对传感器的定义是:“能感受被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件组成”。 [3]中国物联网校企联盟认为,传感器的存在和发展,让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官,让物体慢慢变得活了起来。”“传感器”在新韦式大词典中定义为:“从一个系统接受功率,通常以另一种形式将功率送到第二个系统中的器件”。传感器一般由敏感元件、转换元件、变换电路和辅助电源四部分组成,如图1 所示。新型氮化铝传感器,可以在高达900℃的高温下工作。宝山区质量传感器特点视觉传感器具有从一整幅图像捕获光线的数以千计的像素。图像的清晰和细腻程度通常用分辨率来衡量...

  • 黄浦区挑选传感器销售
    黄浦区挑选传感器销售

    一体化温度一体化温度传感器一般由测温探头(热电偶或热电阻传感器)和两线制固体电子单元组成。采用固体模块形式将测温探头直接安装在接线盒内,从而形成一体化的传感器。一体化温度传感器一般分为热电阻和热电偶型两种类型。热电阻温度传感器是由基准单元、R/V转换单元、线性电路、反接保护、限流保护、V/I转换单元等组成。测温热电阻信号转换放大后,再由线性电路对温度与电阻的非线性关系进行补偿,经V/I转换电路后输出一个与被测温度成线性关系的4~20mA的恒流信号。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,电桥就会产生相应的不平衡输出。黄浦区挑选传感器销售基于VTI公司的MEMS加速度传感器,提出一种...

  • 普陀区挑选传感器检测
    普陀区挑选传感器检测

    国家标准GB/T 7665-2005对传感器的定义是:“能感受被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件组成”。 [3]中国物联网校企联盟认为,传感器的存在和发展,让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官,让物体慢慢变得活了起来。”“传感器”在新韦式大词典中定义为:“从一个系统接受功率,通常以另一种形式将功率送到第二个系统中的器件”。传感器一般由敏感元件、转换元件、变换电路和辅助电源四部分组成,如图1 所示。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,电桥就会产生相应的不平衡输出。普陀区挑选传感器检测例如,基于半导体硅材料压阻效应的压力传感器、基于石英材料压...

  • 徐汇区品牌传感器联系方式
    徐汇区品牌传感器联系方式

    压力压力传感器引是工业实践中**为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、**、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。超声波测距离超声波测距离传感器采用超声波回波测距原理,运用精确的时差测量技术,检测传感器与目标物之间的距离,采用小角度,小盲区超声波传感器,具有测量准确,无接触,防水,防腐蚀,低成本等优点,可应于液位,物位检测,特有的液位,料位检测方式,可保证在液面有泡沫或大的晃动,不易检测到回波的情况下有稳定的输出,应用行业:液位,物位,料位检测,工业过程控制等。该类传感器为负温度系数传感器,即传感器阻值随温度的升高而减小...

  • 静安区如何传感器现货
    静安区如何传感器现货

    电阻应变式传感器中的电阻应变片具有金属的应变效应,即在外力作用下产生机械形变,从而使电阻值随之发生相应的变化。电阻应变片主要有金属和半导体两类,金属应变片有金属丝式、箔式、薄膜式之分。半导体应变片具有灵敏度高(通常是丝式、箔式的几十倍)、横向效应小等优点。压阻式压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。其基片可直接作为测量传感元件,扩散电阻在基片内接成电桥形式。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,电桥就会产生相应的不平衡输出。该类传感器为负温度系数传感器,即传感器阻值随温度的升高而减小。静安区如何传感器现货无线温度传感器广泛应用于化工、冶...

  • 浦东新区挑选传感器设计
    浦东新区挑选传感器设计

    用作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片,硅片为敏感材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视,尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用**为普遍。热电阻传感器(图6)热电阻测温是基于金属导体的电阻值随温度的增加而增加这一特性来进行温度测量的。热电阻大都由纯金属材料制成,应用**多的是铂和铜,此外,已开始采用镍、锰和铑等材料制造热电阻。热电阻传感器主要是利用电阻值随温度变化而变化这一特性来测量温度及与温度有关的参数。在温度检测精度要求比较高的场合,这种传感器比较适用。较为***的热电阻材料为铂、铜、镍等,它们具有电阻温度系数大、线性好、性能稳定、使用温度范围宽、加工容易等特...

  • 静安区如何传感器性能
    静安区如何传感器性能

    24GHz雷达RFbeam 24GHz雷达传感器24GHz雷达传感器采用高频微波来测量物体运动速度、距离、运动方向、方位角度信息,采用平面微带天线设计,具有体积小、质量轻、灵敏度高、稳定强等特点,***运用于智能交通、工业控制、安防、体育运动、智能家居等行业。工业和信息化部2012年11月19日正式发布了《工业和信息化部关于发布24GHz频段短距离车载雷达设备使用频率的通知》(工信部无〔2012〕548号),明确提出24GHz频段短距离车载雷达设备作为车载雷达设备的规范。微型化是建立在微电子机械系统(MEMS)技术基础上的,已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。静安区如何传感器性能一体化温度一...

  • 徐汇区智能传感器哪里买
    徐汇区智能传感器哪里买

    光传感器不只局限于对光的探测,它还可以作为探测元件组成其他传感器,对许多非电量进行检测,只要将这些非电量转换为光信号的变化即可。光传感器是产量**多、应用**广的传感器之一,它在自动控制和非电量电测技术引中占有非常重要的地位。**简单的光敏传感器是光敏电阻,当光子冲击接合处就会产生电流。生物生物传感器的概念传感器(图11)生物传感器是用生物活性材料(酶、蛋白质、DNA、抗体、抗原、生物膜等)与物理化学换能器有机结合的一门交叉学科,是发展生物技术必不可少的一种先进的检测方法与监控方法,也是物质分子水平的快速、微量分析方法。物理类,基于力、热、光、电、磁和声等物理效应。徐汇区智能传感器哪里买其中,...

  • 宝山区如何传感器哪里买
    宝山区如何传感器哪里买

    3.应用于运动追踪系统在运动员的日常训练中,MEMS传感器可以用来进行3D人体运动测量,对每一个动作进行记录,教练们对结果分析,反复比较,以便提高运动员的成绩。随着MEMS技术的进一步发展,MEMS传感器的价格也会随着降低,这在大众健身房中也可以广泛应用。在滑雪方面,3D运动追踪中的压力传感器、加速度传感器、陀螺仪以及GPS可以让使用者获得极精确的观察能力,除了可提供滑雪板的移动数据外,还可以记录使用者的位置和距离。在冲浪方面也是如此,安装在冲浪板上的3D运动追踪,可以记录海浪高度、速度、冲浪时间、浆板距离、水温以及消耗的热量等信息。该类传感器为正温度系数传感器,即传感器阻值随温度的升高而增大...

  • 闵行区出口传感器检测
    闵行区出口传感器检测

    4.应用在手机拍照领域在MEMS Drive出现之前,手机摄像头主要由音圈马达移动镜头组的方式实现防抖(简称镜头防抖技术),受到很大的局限。而另一个在市场上较**的防抖技术:多轴防抖,则是利用移动图像传感器(Image Sensor)补偿抖动,但由于这个技术体积庞大、耗电量超出手机载荷,一直无法在手机上应用。凭着微机电在体积和功耗上的突破,***技术MEMS Drive类似一张贴在图像传感器背面的平面马达,带动图像传感器在三个旋转轴移动。MEMS Drive 的防抖技术是透过陀螺仪感知拍照过程中的瞬间抖动,依靠精密算法,计算出马达应做的移动幅度并做出快速补偿。这一系列动作都要在百分之一秒内做完...

  • 闵行区智能传感器性能
    闵行区智能传感器性能

    当两个互相绝缘的电极组成电导池时,若在其中间放置待测溶液,并通以恒压交变电流,就形成了电流回路。如果将电压大小和电极尺寸固定,则回路电流与电导率就存在一定的函数关系。这样,测了待测溶液中流过的电流,就能测出待测溶液的电导率。电导传感器的结构和电路与酸、碱、盐浓度传感器相同。变频功率变频功率传感器通过对输入的电压、电流信号进行交流采样,再将采样值通过电缆、光纤等传输系统与数字量输入二次仪表相连,数字量输入二次仪表对电压、电流的采样值进行运算,可以获取电压有效值、电流有效值、基波电压、基波电流、谐波电压、谐波电流、有功功率、基波功率、谐波功率等参数。该类传感器为负温度系数传感器,即传感器阻值随温度...

  • 嘉定区质量传感器检测
    嘉定区质量传感器检测

    酸、碱、盐酸、碱、盐浓度传感器通过测量溶液电导值来确定浓度。它可以在线连续检测工业过程中酸、碱、盐在水溶液中的浓度含量。这种传感器主要应用于锅炉给水处理、化工溶液的配制以及环保等工业生产过程。酸、碱、盐浓度传感器的工作原理是:在一定的范围内,酸碱溶液的浓度与其电导率的大小成比例。因而,只要测出溶液电导率的大小变可得知酸碱浓度的高低。当被测溶液流入**电导池时,如果忽略电极极化和分布电容,则可以等效为一个纯电阻。在有恒压交变电流流过时,其输出电流与电导率成线性关系,而电导率又与溶液中酸、碱浓度成比例关系。因此只要测出溶液电流,便可算出酸、碱、盐的浓度。用于测量-200℃~+500℃范围内的温度。...

  • 上海质量传感器特点
    上海质量传感器特点

    2、浮筒式液位传感器浮筒式液位传感器是将磁性浮球改为浮筒,它是根据阿基米德浮力原理设计的。浮筒式液位传感器是利用微小的金属膜应变传感技术来测量液体的液位、界位或密度的。它在工作时可以通过现场按键来进行常规的设定操作。3、静压或液位传感器该传感器利用液体静压力的测量原理工作。它一般选用硅压力测压传感器将测量到的压力转换成电信号,再经放大电路放大和补偿电路补偿,***以4~20mA或0~10mA电流方式输出。真空度真空度传感器,采用先进的硅微机械加工技术生产,以集成硅压阻力敏元件作为传感器的**元件制成的***压力变送器,由于采用硅-硅直接键合或硅-派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔,及一系...

  • 松江区质量传感器性能
    松江区质量传感器性能

    24GHz雷达RFbeam 24GHz雷达传感器24GHz雷达传感器采用高频微波来测量物体运动速度、距离、运动方向、方位角度信息,采用平面微带天线设计,具有体积小、质量轻、灵敏度高、稳定强等特点,***运用于智能交通、工业控制、安防、体育运动、智能家居等行业。工业和信息化部2012年11月19日正式发布了《工业和信息化部关于发布24GHz频段短距离车载雷达设备使用频率的通知》(工信部无〔2012〕548号),明确提出24GHz频段短距离车载雷达设备作为车载雷达设备的规范。显然,要获取大量人类感官无法直接获取的信息,没有相适应的传感器是不可能的。松江区质量传感器性能无线温度传感器广泛应用于化工、...

  • 长宁区出口传感器性能
    长宁区出口传感器性能

    国家标准GB/T 7665-2005对传感器的定义是:“能感受被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件组成”。 [3]中国物联网校企联盟认为,传感器的存在和发展,让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官,让物体慢慢变得活了起来。”“传感器”在新韦式大词典中定义为:“从一个系统接受功率,通常以另一种形式将功率送到第二个系统中的器件”。传感器一般由敏感元件、转换元件、变换电路和辅助电源四部分组成,如图1 所示。新型氮化铝传感器,可以在高达900℃的高温下工作。长宁区出口传感器性能下图所示的方法是用一个转动的叶轮作为控制磁通量的开关,当叶轮叶片处于磁铁和霍尔集成电路之间...

  • 徐汇区智能传感器性能
    徐汇区智能传感器性能

    酸、碱、盐浓度传感器主要由电导池、电子模块、显示表头和壳体组成。电子模块电路则由激励电源、电导池、电导放大器、相敏整流器、解调器、温度补偿、过载保护和电流转换等单元组成。电导它是通过测量溶液的电导值来间接测量离子浓度的流程仪表(一体化传感器),可在线连续检测工业过程中水溶液的电导率。由于电解质溶液与金属导体一样的电的良导体,因此电流流过电解质溶液时必有电阻作用,且符合欧姆定律。但液体的电阻温度特性与金属导体相反,具有负向温度特性。为区别于金属导体,电解质溶液的导电能力用电导(电阻的倒数)或电导率(电阻率的倒数)来表示。半导体应变片具有灵敏度高(通常是丝式、箔式的几十倍)、横向效应小等优点。徐汇...

  • 浦东新区挑选传感器哪里买
    浦东新区挑选传感器哪里买

    2、浮筒式液位传感器浮筒式液位传感器是将磁性浮球改为浮筒,它是根据阿基米德浮力原理设计的。浮筒式液位传感器是利用微小的金属膜应变传感技术来测量液体的液位、界位或密度的。它在工作时可以通过现场按键来进行常规的设定操作。3、静压或液位传感器该传感器利用液体静压力的测量原理工作。它一般选用硅压力测压传感器将测量到的压力转换成电信号,再经放大电路放大和补偿电路补偿,***以4~20mA或0~10mA电流方式输出。真空度真空度传感器,采用先进的硅微机械加工技术生产,以集成硅压阻力敏元件作为传感器的**元件制成的***压力变送器,由于采用硅-硅直接键合或硅-派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔,及一系...

  • 闵行区质量传感器设计
    闵行区质量传感器设计

    光传感器不只局限于对光的探测,它还可以作为探测元件组成其他传感器,对许多非电量进行检测,只要将这些非电量转换为光信号的变化即可。光传感器是产量**多、应用**广的传感器之一,它在自动控制和非电量电测技术引中占有非常重要的地位。**简单的光敏传感器是光敏电阻,当光子冲击接合处就会产生电流。生物生物传感器的概念传感器(图11)生物传感器是用生物活性材料(酶、蛋白质、DNA、抗体、抗原、生物膜等)与物理化学换能器有机结合的一门交叉学科,是发展生物技术必不可少的一种先进的检测方法与监控方法,也是物质分子水平的快速、微量分析方法。部分散射光返回到传感器接收器,被光学系统接收后成像到雪崩光电二极管上。闵行...

  • 奉贤区智能传感器品牌
    奉贤区智能传感器品牌

    一体化温度一体化温度传感器一般由测温探头(热电偶或热电阻传感器)和两线制固体电子单元组成。采用固体模块形式将测温探头直接安装在接线盒内,从而形成一体化的传感器。一体化温度传感器一般分为热电阻和热电偶型两种类型。热电阻温度传感器是由基准单元、R/V转换单元、线性电路、反接保护、限流保护、V/I转换单元等组成。测温热电阻信号转换放大后,再由线性电路对温度与电阻的非线性关系进行补偿,经V/I转换电路后输出一个与被测温度成线性关系的4~20mA的恒流信号。该类传感器为负温度系数传感器,即传感器阻值随温度的升高而减小。奉贤区智能传感器品牌显然,要获取大量人类感官无法直接获取的信息,没有相适应的传感器是不...

  • 松江区标准传感器推荐货源
    松江区标准传感器推荐货源

    (1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成,研制智能化的压力传感器。(2)进一步提高压力传感器的灵敏度,实现低量程的微压传感器。(3)提高工作温度,研制高低温压力传感器。(4)开发谐振式压力传感器。2、微加速度传感器硅微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。其中相当有有吸引力的是力平衡加速度计,其典型产品是Kuehnel等人在1994年报道的AGXL50型。霍尔电压随磁场强度的变化而变化,磁场越强,电压越高,磁场越弱,电压越低。松江区标准传感器推荐货源MEMS传感器是MEMS器件的一个重要分支,作为微机电...

  • 宝山区挑选传感器厂家现货
    宝山区挑选传感器厂家现货

    用作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片,硅片为敏感材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视,尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用**为普遍。热电阻传感器(图6)热电阻测温是基于金属导体的电阻值随温度的增加而增加这一特性来进行温度测量的。热电阻大都由纯金属材料制成,应用**多的是铂和铜,此外,已开始采用镍、锰和铑等材料制造热电阻。热电阻传感器主要是利用电阻值随温度变化而变化这一特性来测量温度及与温度有关的参数。在温度检测精度要求比较高的场合,这种传感器比较适用。较为***的热电阻材料为铂、铜、镍等,它们具有电阻温度系数大、线性好、性能稳定、使用温度范围宽、加工容易等特...

  • 静安区品牌传感器销售
    静安区品牌传感器销售

    压力压力传感器引是工业实践中**为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、**、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。超声波测距离超声波测距离传感器采用超声波回波测距原理,运用精确的时差测量技术,检测传感器与目标物之间的距离,采用小角度,小盲区超声波传感器,具有测量准确,无接触,防水,防腐蚀,低成本等优点,可应于液位,物位检测,特有的液位,料位检测方式,可保证在液面有泡沫或大的晃动,不易检测到回波的情况下有稳定的输出,应用行业:液位,物位,料位检测,工业过程控制等。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,电桥就会...

  • 静安区如何传感器厂家现货
    静安区如何传感器厂家现货

    (1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成,研制智能化的压力传感器。(2)进一步提高压力传感器的灵敏度,实现低量程的微压传感器。(3)提高工作温度,研制高低温压力传感器。(4)开发谐振式压力传感器。2、微加速度传感器硅微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。其中相当有有吸引力的是力平衡加速度计,其典型产品是Kuehnel等人在1994年报道的AGXL50型。霍尔电压随磁场强度的变化而变化,磁场越强,电压越高,磁场越弱,电压越低。静安区如何传感器厂家现货视觉传感器具有从一整幅图像捕获光线的数以千计的像素。图...

  • 黄浦区标准传感器厂家现货
    黄浦区标准传感器厂家现货

    酸、碱、盐浓度传感器主要由电导池、电子模块、显示表头和壳体组成。电子模块电路则由激励电源、电导池、电导放大器、相敏整流器、解调器、温度补偿、过载保护和电流转换等单元组成。电导它是通过测量溶液的电导值来间接测量离子浓度的流程仪表(一体化传感器),可在线连续检测工业过程中水溶液的电导率。由于电解质溶液与金属导体一样的电的良导体,因此电流流过电解质溶液时必有电阻作用,且符合欧姆定律。但液体的电阻温度特性与金属导体相反,具有负向温度特性。为区别于金属导体,电解质溶液的导电能力用电导(电阻的倒数)或电导率(电阻率的倒数)来表示。传感器中的电阻应变片具有金属的应变效应,即在外力作用下产生机械形变,从而使电...

  • 长宁区智能传感器厂家现货
    长宁区智能传感器厂家现货

    视觉传感器具有从一整幅图像捕获光线的数以千计的像素。图像的清晰和细腻程度通常用分辨率来衡量,以像素数量表示。在捕获图像之后,视觉传感器将其与内存中存储的基准图像进行比较,以做出分析。例如,若视觉传感器被设定为辨别正确地插有八颗螺栓的机器部件,则传感器知道应该拒收只有七颗螺栓的部件,或者螺栓未对准的部件。此外,无论该机器部件位于视场中的哪个位置,无论该部件是否在360度范围内旋转,视觉传感器都能做出判断。激光传感器工作时,先由激光发射二极管对准目标发射激光脉冲。长宁区智能传感器厂家现货2.应用在汽车电子应用在汽车中的MEMS传感器MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力...

  • 黄浦区出口传感器检测
    黄浦区出口传感器检测

    玻璃封装连接器优点:广泛应用于露点仪、电力设备、物联网设备、航空航天连接器,煤炭开采和石油勘探设备,实现数据的采集和传输。技术性能:1.常温常压下,泄漏率≤1*10 -9 Pa.m 3 /s(He);2.绝缘电阻大于1000MΩ/500VDC(500伏,1000兆欧);3.玻璃绝缘子与底座间耐压强度大于300MPa4.良好的焊接性能。电阻式电阻式传感器是将被测量,如位移、形变、力、加速度、湿度、温度等这些物理量转换式成电阻值这样的一种器件。主要有电阻应变式、压阻式、热电阻、热敏、气敏、湿敏等电阻式传感器件。生物类,基于酶、抗体、等分子识别功能。黄浦区出口传感器检测24GHz雷达RFbeam 2...

  • 长宁区常见传感器检测
    长宁区常见传感器检测

    谐振式气敏传感器不需要对器件进行加热,且输出信号为频率量,是硅微气敏传感器发展的重要方向之一。北京大学微电子所提出的1种微结构气体传感器,由硅梁、激振元件、测振元件和气体敏感膜组成。硅梁被置于被测气体中后,表面的敏感膜吸附气体分子而使梁的质量增加,使梁的谐振频率减小。这样通过测量硅梁的谐振频率可得到气体的浓度值。对NO2气体浓度的检测实验表明,在0×10~1×10的范围内有较好的线性,浓度检测极限达到1×10,当工作频率是19kHz时,灵敏度是1.3Hz/10。德国的M.Maute等人在SiNx悬臂梁表面涂敷聚合物PDMS来检测己烷气体,得到-0.099Hz/10的灵敏度。新技术的到来,世界开...

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