UV纳米压印光刻系统

EVG®610/EVG®620NT /EVG®6200NT：具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统

■高精度对准台

■自动楔形误差补偿机制

■电动和程序控制的曝光间隙

■支持***的UV-LED技术

■**小化系统占地面积和设施要求

EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自动化的全场纳米压印解决方案，适用于第3代基材

■体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度

■专有的SmartNIL®技术和多用途聚合物印章技术

■集成式压印，UV固化，脱模和工作印模制作

■盒带间自动处理以及半自动研发模式

■适用于所有市售压印材料的开放平台

EVG的纳米压印光刻（NIL） - SmartNIL ? 是用于大批量生产的大面积软UV纳米压印光刻工艺。上海高精密仪器纳米压印

HERCULES ® NIL特征：

全自动UV-NIL压印和低力剥离

**多300毫米的基材

完全模块化的平台，具有多达八个可交换过程模块（压印和预处理）

200毫米/ 300毫米桥接工具能力

全区域烙印覆盖

批量生产**小40 nm或更小的结构

支持各种结构尺寸和形状，包括3D

适用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取决于过程和模板

HERCULES ® NIL技术数据：

晶圆直径（基板尺寸）：100至200毫米/ 200和300毫米

解析度：≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：SmartNIL ®

曝光源：大功率LED（i线）> 400 mW /cm2

对准：≤±3微米

自动分离：支持的

前处理：提供所有预处理模块

迷你环境和气候控制：可选的

工作印章制作：支持的

上海高精密仪器纳米压印SmartNIL的主要技术是可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印结果。

对于压印工艺，EVG610允许基板的尺寸从小芯片尺寸到比较大直径150 mm。纳米技术应用的配置除了可编程的高和低接触力外，还可以包括用于印章的释放机构。EV Group专有的卡盘设计可提供均匀的接触力，以实现高产量的压印，该卡盘支持软性和硬性印模。

EVG610特征：

顶部和底部对准能力

高精度对准台

自动楔形误差补偿机制

电动和程序控制的曝光间隙

支持***的UV-LED技术

**小化系统占地面积和设施要求

分步流程指导

远程技术支持

多用户概念（无限数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）

敏捷处理和光刻工艺之间的转换

台式或带防震花岗岩台的单机版

附加功能：

键对准

红外对准

纳米压印光刻 

μ接触印刷

关于WaveOptics       

      WaveOptics是衍射波导的全球**设计商和制造商，衍射波导是可穿戴AR设备中的关键光学组件。

      诸如智能眼镜之类的AR可穿戴设备使用户能够观看覆盖在现实世界之上的数字图像。有两个关键元素可让您看到这些图像-微型投影仪之类的光源，以及将图像从投影仪传递到用户眼睛中的一种方式。

WaveOptics的波导技术可传输来自光源的光波并将其投射到用户的眼睛中。该技术可产生大的眼框，双目观察和高视野。眼图框（查看窗口）是从中可以看到完整图像的AR显示器的尺寸-请参见下图。WaveOptics的波导提供清晰，无失真的文本以及稳定的图像。

      WaveOptics技术旨在用于工业，企业和消费者市场的沉浸式AR体验。该公司的目标是，凭借其独特的技术和专业知识，其波导将成为所有AR可穿戴设备中使用的he心光学组件，以实现****的制造可扩展性和视觉性能，并为众多应用提供多功能性。 **小外形尺寸和大体积创新型光子结构提供了更多的自由度，这对于实现衍射光学元件（DOE）至关重要。

    该公司的高科技粘合剂以功能与可靠性闻名于世。根据客户的专门需求，公司对这些聚合物作出调整，使其具备其它特征。它们极其适合工业环境，在较短的生产周期时间内粘合各种微小的元件。此外，DELO紫外线LED固化设备与点胶阀的可靠度十分杰出。关于德路德路(DELO)是世界前列的工业粘合剂制造商，总部位于德国慕尼黑附近的Windach。在美国、中国、新加坡及日本均设有子公司。2019财政年，公司的780名员工创造了。该公司产品在全球范围内广泛应用于汽车、消费类电子产品与工业电子产品。几乎每一部智能手机与超过一半的汽车上都使用该公司产品。DELO的客户包括博世、戴姆勒、华为、欧司朗、西门子以及索尼等。关于EVGroup(EVG)EV集团(EVG)是为生产半导体、微机电系统(MEMS)、化合物半导体、功率器件以及纳米技术器件制造提供设备与工艺解决方案的**供应商。该公司主要产品包括晶圆键合、薄晶圆处理、光刻/纳米压印光刻技术（NIL）与计量设备，，以及涂胶机、清洗机与检测系统。EV集团创办于1980年，可为遍及全球的众多客户与合作伙伴提供各类服务与支持。NIL已被证明是在大面积上实现纳米级图案的相当有成本效益的方法。上海高精密仪器纳米压印

SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能，因此还可以实现****的吞吐量。上海高精密仪器纳米压印

纳米压印应用二：面板尺寸的大面积纳米压印

EVG专有的且经过大量证明的SmartNIL技术的***进展，已使纳米图案能够在面板尺寸比较大为Gen 3（550 mm x 650 mm）的基板上实现。对于不能减小尺寸的显示器，线栅偏振器，生物技术和光子元件等应用，至关重要的是通过增加图案面积来提高基板利用率。 NIL已被证明是能够在大面积上制造纳米图案的**经济、高 效的方法，因为它不受光学系统的限制，并且可以为**小的结构提供比较好的图案保真度。岱美作为EVG在中国区的代理商，欢迎各位联系我们，探讨纳米压印光刻的相关知识。

上海高精密仪器纳米压印

岱美仪器技术服务（上海）有限公司主营品牌有岱美仪器技术服务，发展规模团队不断壮大，该公司其他型的公司。是一家有限责任公司企业，随着市场的发展和生产的需求，与多家企业合作研究，在原有产品的基础上经过不断改进，追求新型，在强化内部管理，完善结构调整的同时，良好的质量、合理的价格、完善的服务，在业界受到宽泛好评。公司始终坚持客户需求优先的原则，致力于提供高质量的磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发。岱美仪器技术服务顺应时代发展和市场需求，通过**技术，力图保证高规格高质量的磁记录，半导体，光通讯生产，测试仪器的批发。