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湖北如何发展BOE蚀刻液生产

来源: 发布时间:2025-06-09

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    表%九氟丁基甲基醚和50重量%甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出92重量%九氟丁基甲基醚和8重量%甲基四氢呋喃的共沸组合物,其在°C的沸点。实施例2如实施例1所述进行沸点测定方法。表II给出九氟丁基乙基醚和甲基四氢呋喃的各种混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量%甲基四氢呋喃的重量%(°C)%九氟丁基乙基醚和50重量%甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出%九氟丁基乙基醚和%甲基四氢呋喃的共沸组合物,其在°C的沸点。清洗试验的总体过程首先,用FORANE141b对2X5cm的不锈钢片材进行脱脂。这些片材各自在测试之前称重,其构成皮重。然后,在这些片材的单侧上涂布油REDUCTELFSP460。对该涂布有油的片材进行称重,并由与皮重的差值推算出涂布的油的量。接下来,将该涂布有油的片材浸5入到含有100ml待评价组合物的烧杯中5分钟,不进行搅拌且无超声。该片材一移出,就在通风的情况下进行15分钟的滴干(dripdry),并且,在该15分钟结束时,通过称重测定油的残留量。与油的初始量相比,计算移除的油的百分数。实施例3在使用九氟丁基甲基醚的组合物的情况下,得到0%的油移除率。实施例4在使用包含8重量%的2-MeTHF和92重量%的九氟丁基甲基醚的组合物的情况下。

    然后将装有蚀刻液的石英烧瓶放入加热套中加热,待加热到确定温度后,放入氮化硅样片进行蚀刻;蚀刻完后,取出样片采用热超纯水清洗和氮气吹干后,使用椭圆偏振光谱仪对蚀刻前所取位置的6个点的厚度进行测量,计算蚀刻前后6个取点的厚度差值,对比6个点之间的厚度差值的差异。与现有的使用磷酸作为蚀刻液相比,本发明的有益效果是:醇醚类和表面活性剂的添加能明显改善磷酸溶液的浸润性和降低磷酸溶液的表面张力,有效提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿性和蚀刻均匀性。具体实施方式下面结合具体实施例,进一步阐述本发明,对本发明做进一步详细的说明,但不限于这些实施例。本发明的蚀刻液配制时选择的磷酸浓度为85%,蚀刻温度为160℃,蚀刻时间为10min。先对所配制蚀刻液的表面张力进行检测,然后将氮化硅样片使用超纯水清洗和氮气吹干后,进行接触角的测量;蚀刻前使用超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后,在氮化硅样片上取6个不同位置的点对其厚度进行测量;蚀刻完成后使用热超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后,取与蚀刻前相同位置的6个点进行厚度测量。实施例1本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制,先称取浓度为85%的磷酸,然后称取添加剂加入磷酸中。苏州BOE蚀刻液公司哪家好?

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