50WXQ-100BT050WVAE101BTL504885-W705LBA050WV4-601BF050FWME501BTL504885-W708LBF050WVQ-100BT050FWQ-N80BTL507212-W677LBTL507212-W742LBF050QHE-400BS050HDG-N40-6C00BF050WVM-500BF050FHME101BF050WVE-400BV050HDS-T40BV050HDE-N40BTL505496-W692LBTL507212-W747LBS050HDE-N41-6Q00BV050HDE-N44BF050HDQ-100BF050HDE-400BF047WVG-100BV047HDE-N40BF045WVQ-100BF045QHME501BTL455496-W613LBF045QHME402BF045WVE-400BT045FWQ-N80BTL434880-W570LBP043WV2-100BF043QHME501BTL434880-W518LBTL434880-W539LBF043WVG-100BF043WVME101BT043NHME101BF040WVME501BA039HV2-100BF040WVME101BT040HVME602BP039WV2-100BP039WV2-101BP039WV4-500BF040WVME502HVA40WV2-D00BD039WVL-100BF040WVMG003BD039WVQ-110BD039WVQ-810BD039WVL-600BD039WVS-810BT040WVG-N60BTL404880-W557LPBF040WVMG003-G101BF039WVE-800BF039WVE-500BF039WVQ-100BT035HVME101BT035HVME601BA035HV3-100BA035HV3-800BT033HVMG001BT032HVME101BT032QVME601BT032QVMQ103BF030WQME601BA030QV2-100BTL282440-310LBF028QVME501BT028QVME101BT028WQME101BT028WQME601BT024QVME106BT024QVME104BT024QVMQ102BTL242432-201L。专业BOE蚀刻液厂家，苏州博洋化学股份有限公司欢迎您。了解BOE蚀刻液哪里买

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    本发明涉及一种提高氮化硅蚀刻均匀性的酸性蚀刻液，通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂，来改善磷酸的浸润性和表面张力，使之均匀蚀刻氮化硅。背景技术：氮化硅是一种具有很高的化学稳定性的绝缘材料，氢氟酸和热磷酸能对氮化硅进行缓慢地腐蚀。在半导体制造工艺中，一般是采用热磷酸对氮化硅进行蚀刻，一直到了90nm的制程也是采用热磷酸来蚀刻氮化硅。但随着半导体制程的飞速发展，器件的特征尺寸越来越小，集成度越来越高，对制造工艺中的各工艺节点要求也越来越高，如蚀刻工艺中对蚀刻后晶圆表面的均匀性、蚀刻残留、下层薄膜的选择性等都有要求。在使用热磷酸对氮化硅进行蚀刻时，晶圆表面会出现不均匀的现象，体现于在蚀刻前后进行相同位置取点的厚度测量时，检测点之间蚀刻前后的厚度差值存在明显差异。为了解决氮化硅蚀刻不均匀的问题，通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂可以实现氮化硅层的均匀蚀刻。技术实现要素：本发明所要解决的技术问题是提供一种能均匀蚀刻氮化硅层的蚀刻液。本发明涉及一种提高氮化硅蚀刻均匀性的酸性蚀刻液，所述蚀刻液的组成包括：占蚀刻液总重量≥88％的磷酸、％的醇醚类、％的表面活性剂。进一步地，本发明涉及上述蚀刻液。

    除去75重量％的油。在45°C下的简单加热、或者在环境温度(20°C)下的简单搅拌或超声应用可以除去所有的沉积油。此外，没有观察到油的溶解，而是观察到上升到液体表面的油的脱离(卷起机理(rollingupmechanism)).与快速导致溶剂饱和的溶解机理相比，该卷起机理更为有利。油溶解试验的总体过程将硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待评价组合物中，并测定在环境温度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相对于该混合物的百分数表示)。实施例5在使用％的九氟丁基乙基醚和％的甲基四氢呋喃的共沸组合物的情况下，溶解超过17重量％的油。实施例6在使用九氟丁基乙基醚的情况下，多溶解2重量％的油并且观察到反混合(demixing)。权利要求组合物，其包含甲基四氢呋喃和至少一种式C4F9OR的九氟丁基烷基醚，在式C4F9OR中，R具有1～4个碳原子的线型或支化的饱和烷基链。2.权利要求1的组合物，特征在于，所述组合物包含540重量％的甲基四氢呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。3.权利要求1或2的组合物，特征在于，所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。4.权利要求13中任一项的组合物，特征在于。苏州博洋专业生产BOE蚀刻液欢迎询价。

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    该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分别为总质量的％、％。实施例2本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸钠，添加量分别为总质量的％、％。实施例3本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为三甘醇单丁醚、月桂酰氨乙基硫酸钠，添加量分别为总质量的％、％。实施例4本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为二乙二醇单甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分别为总质量的％、％。实施例5本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。了解BOE蚀刻液哪里买