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RU2系列光栅系统如何实现微米级振动测量?

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苏州贝格纳工业设备有限公司2025-05-13

RU2高频响版本配备100kHz采样率,配合MEMS加速度传感器实现振动频谱分析。内置的FFT算法可检测0.1μm振幅、50Hz-20kHz频率范围内的机械振动。诊断接口输出速度、加速度、加加速度三阶运动参数,帮助识别设备异常状态。在精密磨床应用中,成功检测出主轴0.8μm的偏心振动,较传统振动传感器灵敏100倍。数据记录功能可存储8小时连续振动波形,配合分析软件实现预测性维护。振动补偿模式可输出反向控制信号,主动抑制设备共振现象。苏州贝格纳工业设备有限公司的智能诊断方案,推动设备维护进入预测时代。

苏州贝格纳工业设备有限公司
苏州贝格纳工业设备有限公司
简介:苏州贝格纳工业设备有限公司专注高精度测量,提供半导体、3C电子、汽车等行业的精密组件。
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