上海大载机电有限公司2025-05-21
洁净室安装:
1)材料:316L电抛光(Ra≤0.5μm)
2)安装:
洁净工作台操作
防尘服
3)检测:
颗粒物<100颗/m3
表面残留<5μg/cm2
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