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GBC球阀在半导体特气系统中为什么需要采用隔膜密封结构?

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上海大载机电有限公司2025-07-10

隔膜密封设计优势:1)实现零泄漏(<1×10??mbar·l/s);2)消除阀杆处的颗粒产生;3)避免润滑油污染高纯气体;4)维护时无需排空系统。此类阀门需满足SEMI F72标准,表面粗糙度Ra<0.25μm,且经过三次以上氩气等离子清洗。

上海大载机电有限公司
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简介:2012 年成立的上海大载机电,丹佛斯代理企业。品质保真,专业服务,从销售到销服一体,未来持续创新。
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