河南正性光刻胶国产厂家

来源：发布时间：2025-06-24

广东吉田半导体材料有限公司以光刻胶为中心，逐步拓展至半导体全材料领域，形成了 “技术驱动、全产业链覆盖” 的发展格局。公司产品不仅包括芯片与 LCD 光刻胶，还延伸至锡膏、焊片、靶材等配套材料，为客户提供一站式采购服务。

市场与荣誉：

产品远销全球 50 多个地区，客户包括电子制造服务商（EMS）及半导体厂商。
获评 “广东省专精特新企业”“广东省创新型中小企业”，并通过技术企业认证。
生产基地配备自动化设备，年产能超千吨，满足大规模订单需求。

未来展望：
公司计划进一步扩大研发中心规模，聚焦第三代半导体材料研发，如 GaN、SiC 相关光刻胶技术。同时，深化全球化布局，在东南亚、欧洲等地设立分支机构，强化本地化服务能力。

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国际标准与客户认证

公司通过ISO9001、ISO14001等认证，并严格执行8S现场管理，生产环境洁净度达Class 10级。其光刻胶产品已通过京东方、TCL华星的供应商认证，在显示面板领域的市占率约5%，成为本土企业中少数能与日本JSR、德国默克竞争的厂商。

全流程可追溯体系

吉田半导体建立了从原材料入库到成品出库的全流程追溯系统，关键批次数据（如树脂分子量分布、光敏剂纯度）实时上传云端，确保产品一致性和可追溯性。这一体系使其在车规级芯片等对可靠性要求极高的领域获得突破，2023年车用光刻胶销售额同比增长120%。

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技术趋势与挑战

半导体先进制程：

? EUV光刻胶需降低缺陷率（目前每平方厘米缺陷数＜10个），开发低粗糙度（≤5nm）材料；

? 极紫外吸收问题：胶膜对13.5nm光吸收率高，需厚度控制在50-100nm，挑战化学增幅体系的灵敏度。

环保与低成本：

? 水性负性胶替代溶剂型胶（如PCB阻焊胶），减少VOC排放；

? 单层胶工艺替代多层胶，简化流程（如MEMS厚胶的一次性涂布）。

新兴领域拓展：

? 柔性电子：开发耐弯曲（曲率半径＜5mm）、低模量感光胶，用于可穿戴设备电路；

? 光子芯片：高折射率胶（n＞1.8）制作光波导，需低传输损耗（＜0.1dB/cm）。

典型产品与厂商

? 半导体正性胶：

? 日本信越（Shin-Etsu）的ArF胶（分辨率22nm，用于12nm制程）；

? 美国陶氏（Dow）的EUV胶（灵敏度10mJ/cm2，缺陷密度＜5个/cm2）。

? PCB负性胶：

? 中国容大感光（LP系列）：耐碱性蚀刻，厚度20-50μm，国产化率超60%；

? 日本东京应化（TOK）的THMR-V：全球PCB胶市占率30%，适用于高可靠性汽车板。

? MEMS厚胶：

? 美国陶氏的SU-8：实验室常用，厚度5-200μm，分辨率1μm（需优化交联均匀性）；

? 德国Microresist的MR胶：耐深硅蚀刻，线宽精度±2%，用于工业级MEMS制造。

定义与特性

负性光刻胶是一种在曝光后，未曝光区域会溶解于显影液的光敏材料，形成与掩膜版（Mask）图案相反的图形。与正性光刻胶相比，其主要特点是耐蚀刻性强、工艺简单、成本低，但分辨率较低（通?！?μm），主要应用于对精度要求相对较低、需要厚胶或高耐腐蚀性的场景。

化学组成与工作原理

主要成分

基体树脂：

? 早期以聚异戊二烯橡胶（天然或合成）为主，目前常用环化橡胶（Cyclized Rubber）或聚乙烯醇肉桂酸酯，提供胶膜的机械强度和耐蚀刻性。

光敏剂：

? 主要为双叠氮化合物（如双叠氮芪）或重氮醌类衍生物，占比约5%-10%，吸收紫外光后引发交联反应。

交联剂：

? 如六亚甲基四胺（乌洛托品），在曝光后与树脂发生交联，形成不溶性网状结构。

溶剂：

? 多为有机溶剂（如二甲苯、环己酮），溶解树脂和光敏剂，涂布后挥发形成均匀胶膜。

工作原理

曝光前：光敏剂和交联剂均匀分散在树脂中，胶膜可溶于显影液（有机溶剂）。

曝光时：

? 光敏剂吸收紫外光（G线436nm为主）后产生活性自由基，引发交联剂与树脂分子间的共价键交联，使曝光区域形成不溶于显影液的三维网状结构。

显影后：

? 未曝光区域的树脂因未交联，被显影液溶解去除，曝光区域保留，形成负性图案（与掩膜版相反）。

负性光刻胶生产原料。

广东吉田半导体材料有限公司多种光刻胶产品，各有特性与优势，适用于不同领域。

LCD 正性光刻胶 YK - 200：具有较大曝光、高分辨率、良好涂布和附着力的特点，重量 100g。适用于液晶显示领域的光刻工艺，能确保 LCD 生产过程中图形的精确转移和良好的涂布效果。

半导体正性光刻胶 YK - 300：具备耐热耐酸、耐溶剂性、绝缘阻抗和紧密性，重量 100g。主要用于半导体制造工艺，满足半导体器件对光刻胶在化学稳定性和电气性能方面的要求。

耐腐蚀负性光刻胶 JT - NF100：重量 1L，具有耐腐蚀的特性，适用于在有腐蚀风险的光刻工艺中，比如一些特殊环境下的半导体加工或电路板制造。产业链配套：原材料与设备协同发展。深圳厚膜光刻胶国产厂商

光刻胶生产需严格控制原材料纯度，如溶剂、树脂和光敏剂的配比精度。河南正性光刻胶国产厂家

正性光刻胶

半导体分立器件制造：对于二极管、三极管等半导体分立器件，正性光刻胶可实现精细的图形化加工，满足不同功能需求。比如在制作高精度的小尺寸分立器件时，正性光刻胶凭借其高分辨率和良好对比度，能精确刻画器件的结构，提高器件性能。
微机电系统（MEMS）制造：MEMS 器件如加速度计、陀螺仪等，结构复杂且尺寸微小。正性光刻胶用于 MEMS 制造过程中的光刻步骤，可在硅片等材料上制作出高精度的微结构，确保 MEMS 器件的功能实现。

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