北京光刻胶工厂
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发布时间：2025-06-17
国家大基金三期：注册资本3440亿元，明确将光刻胶列为重点投资领域，计划投入超500亿元支持树脂、光引发剂等原料研发，相当于前两期投入总和的3倍。
地方专项政策：湖北省对通过验证的光刻胶企业给予设备采购补贴+税收减免，武汉太紫微凭借全流程国产化技术获中芯国际百万级订单；福建省提出2030年化工新材料自给率达90%，光刻胶是重点突破方向。
研发专项：科技部“双十计划”设立20亿元经费，要求2025年KrF/ArF光刻胶国产化率突破10%，并启动EUV光刻胶预研。
聚焦封装需求，吉田公司提供从光刻胶到配套材料的一站式服务。北京光刻胶工厂
市场拓展
? 短期目标：2025年前实现LCD光刻胶国内市占率10%，半导体负性胶进入中芯国际、华虹供应链，纳米压印胶完成台积电验证。
? 长期愿景：成为全球的半导体材料方案提供商，2030年芯片光刻胶营收占比超40%，布局EUV光刻胶和第三代半导体材料。
. 政策与产业链协同
? 受益于广东省“强芯工程”和东莞市10亿元半导体材料基金，获设备采购补贴（30%）和税收减免，加速KrF/ArF光刻胶研发。
? 与松山湖材料实验室、华为终端建立联合研发中心，共同攻关光刻胶关键技术，缩短客户验证周期（目前平均12-18个月）。
. 挑战与应对
? 技术壁垒：ArF/EUV光刻胶仍依赖进口，计划2026年建成中试线，突破分辨率和灵敏度瓶颈（目标曝光剂量<10mJ/cm2）。
? 供应链风险：部分原材料（如树脂）进口占比超60%，正推进“国产替代计划”，与鼎龙股份、久日新材建立战略合作为原材料供应。
沈阳阻焊光刻胶供应商吉田半导体全系列产品覆盖，满足多元化需求。
光刻胶的主要应用领域
光刻胶是微电子制造的主要材料，广泛应用于以下领域：
半导体制造
? 功能：在晶圆表面形成微细电路图案，作为蚀刻或离子注入的掩膜。
? 分类：
? 正性光刻胶：曝光区域溶解于显影液，形成与掩膜版一致的图案（主流，分辨率高）。
? 负性光刻胶：未曝光区域溶解，形成反向图案（用于早期工艺，耐蚀刻性强）。
? 技术演进：随制程精度提升，需匹配不同曝光波长（紫外UV、深紫外DUV、极紫外EUV），例如EUV光刻胶用于7nm以下制程。
平板显示（LCD/OLED）
? 彩色滤光片（CF）：在玻璃基板上制作红/绿/蓝像素单元，光刻胶用于图案化黑矩阵（BM）、彩色层（R/G/B）和保护层。
? 电极图案：制作TFT-LCD的电极线路或OLED的阴极/阳极，需高透光率和精细边缘控制。
印刷电路板（PCB）
? 线路蚀刻：在覆铜板上涂胶，曝光显影后保留线路区域，蚀刻去除未保护的铜箔，形成导电线路。
? 阻焊与字符层：阻焊胶覆盖非线路区域，防止短路；字符胶用于印刷电路板标识。
LED与功率器件
? 芯片制造：在蓝宝石/硅基板上制作电极和量子阱结构，需耐高功率环境的耐高温光刻胶。
? Micro-LED：微米级芯片转移和阵列化，依赖超高分辨率光刻胶（分辨率≤5μm）。
企业定位与资质
? 成立背景：深耕半导体材料行业23年，位于松山湖经济技术开发区，注册资本2000万元，是国家高新技术企业、广东省专精特新企业及广东省创新型中小企业。
? 质量体系：通过ISO9001:2008认证，严格执行8S现场管理，原材料源自美国、德国、日本等国，确保产品稳定性。
? 市场布局：产品远销全球，与世界500强企业及多家电子加工企业建立长期合作关系，覆盖集成电路、显示面板、先进封装等领域。
吉田产业链协同与政策红利。
企业优势
? 研发能力：拥有多项专利证书，自主研发芯片光刻胶、纳米压印光刻胶等产品，配备全自动化生产设备，具备从材料合成到成品制造的全流程能力。
? 产能与品控：采用进口原材料和严格制程管控，确保金属杂质含量低于行业标准（如半导体光刻胶金属杂质<5ppb），良率达99%以上。
关键工艺流程
涂布：
? 在晶圆/基板表面旋涂光刻胶，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度调整），需均匀无气泡（旋涂转速500-5000rpm）。
前烘（Soft Bake）：
? 加热（80-120℃）去除溶剂，固化胶膜，增强附着力（避免显影时边缘剥离）。
曝光：
? 光源匹配：
? G/I线胶：汞灯（适用于≥1μm线宽，如PCB、LCD）。
? DUV胶（248nm/193nm）：KrF/ArF准分子激光（用于28nm-14nm制程，如存储芯片）。
? EUV胶（13.5nm）：极紫外光源（用于7nm以下制程，需控制纳米级缺陷）。
? 曝光能量：需精确控制（如ArF胶约50mJ/cm2），避免过曝或欠曝导致图案失真。
显影：
? 采用碱性溶液（如0.262N四甲基氢氧化铵，TMAH），曝光区域胶膜溶解，未曝光区域保留，形成三维立体图案。
后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：
? 化学增幅型胶需此步骤，通过加热（90-130℃）激发光酸催化反应，提高分辨率和耐蚀刻性。
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光刻胶系列：
厚板光刻胶 JT - 3001，具备优异分辨率、感光度和抗深蚀刻性能，符合欧盟 ROHS 标准，保质期 1 年；
水油光刻胶 SR - 3308，容量 5L；SU - 3 负性光刻胶，分辨率优异，对比度良好，曝光灵敏度高，光源适应，重量 100g；
液晶平板显示器负性光刻胶 JT - 1000，有 1L 装和 100g 装两种规格，分辨率高，准确性和稳定性好；
JT - 2000 UV 纳米压印光刻胶，耐强酸强碱，耐高温达 250°C，长期可靠性高，粘接强度高，重量 100g；
LCD 正性光刻胶 YK - 200，具有较大曝光、高分辨率、良好涂布和附着力，重量 100g；
半导体正性光刻胶 YK - 300，具备耐热耐酸、耐溶剂性、绝缘阻抗和紧密性，重量 100g；
耐腐蚀负性光刻胶 JT - NF100，重量 1L。 北京光刻胶工厂
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