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辽宁低温光刻胶工厂

来源: 发布时间:2025-06-05

广东吉田半导体材料有限公司多种光刻胶产品,主要涵盖厚板、负性、正性、纳米压印及光刻胶等类别,以满足不同领域的需求。

UV 纳米压印光刻胶:JT-2000 型号,耐强酸强碱,耐高温达 250°C,长期可靠性高,粘接强度高,重量 100g。适用于需要在特殊化学和高温环境下进行纳米压印光刻的工艺,如半导体器件制造。

其他光刻胶

  • 水油光刻胶 JT-2001:属于水油两用光刻胶,具有工厂研发、可定制、使用、品质保障、性能稳定的特点,重量 1L。
  • 水油光刻胶 SR-3308:同样为水油两用光刻胶,重量 5L,具备上述通用优势,应用场景。


正性光刻胶生产原料。辽宁低温光刻胶工厂

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关键工艺流程

 涂布:

? 在晶圆/基板表面旋涂光刻胶,厚度控制在0.1-5μm(依制程精度调整),需均匀无气泡(旋涂转速500-5000rpm)。

 前烘(Soft Bake):

? 加热(80-120℃)去除溶剂,固化胶膜,增强附着力(避免显影时边缘剥离)。

 曝光:

? 光源匹配:

? G/I线胶:汞灯(适用于≥1μm线宽,如PCB、LCD)。

? DUV胶(248nm/193nm):KrF/ArF准分子激光(用于28nm-14nm制程,如存储芯片)。

? EUV胶(13.5nm):极紫外光源(用于7nm以下制程,需控制纳米级缺陷)。

? 曝光能量:需精确控制(如ArF胶约50mJ/cm2),避免过曝或欠曝导致图案失真。

 显影:

? 采用碱性溶液(如0.262N四甲基氢氧化铵,TMAH),曝光区域胶膜溶解,未曝光区域保留,形成三维立体图案。

 后烘(Post-Exposure Bake, PEB):

? 化学增幅型胶需此步骤,通过加热(90-130℃)激发光酸催化反应,提高分辨率和耐蚀刻性。
江苏水油光刻胶品牌吉田半导体强化研发,布局下一代光刻技术。

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纳米制造与表面工程

? 纳米结构模板:作为纳米压印光刻(NIL)的母版制备材料,通过电子束光刻胶写出高精度纳米图案(如50nm以下的柱阵列、孔阵列),用于批量复制微流控芯片或柔性显示基板。

? 表面功能化:在基底表面构建纳米级粗糙度(如仿生荷叶超疏水表面)或化学图案(引导细胞定向生长的纳米沟槽),用于生物医学或能源材料(如电池电极的纳米阵列结构)。

量子技术与精密测量

? 超导量子比特:在铌酸锂或硅基底上,通过光刻胶定义纳米级约瑟夫森结阵列,构建量子电路。

? 纳米传感器:制备纳米级悬臂梁(表面镀光刻胶图案化的金属电极),用于探测单个分子的质量或电荷变化(分辨率达亚纳米级)。

 吉田半导体纳米压印光刻胶 JT-2000:国产技术突破耐高温极限

自主研发 JT-2000 纳米压印光刻胶耐受 250℃高温,为国产纳米器件制造提供关键材料。吉田半导体 JT-2000 纳米压印光刻胶采用国产交联树脂,在 250℃高温下仍保持图形保真度 > 95%。产品采用国产原材料与全自动化工艺,其高粘接强度与耐强酸强碱特性,适用于光学元件、传感器等精密器件。产品已通过国内科研机构验证,应用于国产 EUV 光刻机前道工艺,帮助客户实现纳米结构加工自主化。
水性感光胶推荐吉田 JT-1200,精细网点 + 易操作性!

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技术优势:23年研发沉淀与细分领域突破

 全流程自主化能力
吉田在光刻胶研发中实现了从树脂合成、光引发剂制备到配方优化的全流程自主化。例如,其纳米压印光刻胶通过自主开发的树脂体系,实现了3μm的分辨率,适用于MEMS传感器、光学器件等领域。
技术壁垒:公司拥有23年光刻胶研发经验,掌握光刻胶主要原材料(如树脂、光酸)的合成技术,部分原材料纯度达PPT级。

 细分领域技术先进

? 纳米压印光刻胶:在纳米级图案化领域(如量子点显示、生物芯片)实现技术突破,分辨率达3μm,填补国内空缺。

? LCD光刻胶:针对显示面板行业需求,开发出高感光度、高对比度的光刻胶,适配AMOLED、Micro LED等新型显示技术。

 研发投入与合作
公司2018年获高新技术性企业认证,与新材料领域同伴们合作开发半导体光刻胶,计划2025年启动半导体用KrF光刻胶研发。
吉田公司以无卤无铅配方与低 VOC 工艺打造光刻胶。大连高温光刻胶感光胶

光刻胶的显示面板领域。辽宁低温光刻胶工厂

 感光机制

? 重氮型(双液型):需混合光敏剂(如二叠氮二苯乙烯二磺酸钠),曝光后通过交联反应固化,适用于精细图案(如PCB电路线宽≤0.15mm)。

? SBQ型(单液型):预混光敏剂,无需调配,感光度高(曝光时间缩短30%),适合快速制版(如服装印花)。

? 环保型:采用无铬配方(如CN10243143A),通过多元固化体系(热固化+光固化)实现12-15mJ/cm2快速曝光,分辨率达2μm,符合欧盟REACH标准。

 功能细分

? 耐溶剂型:如日本村上AD20,耐酒精、甲苯等溶剂,适用于电子油墨印刷。

? 耐水型:如瑞士科特1711,抗水性强,适合纺织品水性浆料。

? 厚版型:如德国K?ppen厚版胶,单次涂布可达50μm,用于立体印刷。


典型应用场景:

? PCB制造:使用360目尼龙网+重氮感光胶,配合LED曝光(405nm波长),实现0.15mm线宽,耐酸性蚀刻液。

? 纺织印花:圆网制版采用9806A型感光胶,涂布厚度20μm,耐碱性染料色浆,耐印率超10万次。

? 包装印刷:柔版制版选用杜邦赛丽® Lightning LFH版材,UV-LED曝光+无溶剂工艺,碳排放降低40%。
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