气体质量流量控制器常识：什么情况下用质量流量计,什么情况下用气体质量流量控制器?一般而言，但对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用气体质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候,用质量流量计;当定流测压时,需要用气体质量流量控制器。注意,当气体质量流量控制器处于清洗状态时,也可以当质量流量计使用,只不过气压降要比普通质量流量计大一些。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。气体质量流量控制器组成配件有分流器通道。贵州数显气体质量流量控制器

随着电炉行业快速的发展，目前热式气体质量流量控制器、质量流量计在电炉行业中，也宽泛使用。气体质量流量控制器/流量计的测量范围从：5sccm—1500SLM，能满足市面上绝大多数的电炉使用要求。气体的介质也能按照用户的使用要求来标定，如空气、氩气等气体质量流量控制器，都能根据用户的实际使用来进行选型和标定。数据可以远程传输，可选0-5V的电压、4-20mA电流以及RS485modbus协议的通讯信号，本产品抗干扰能力强、精度高、稳定性好，很大程度的节约人工成本提高工作效率。贵州气体质量流量控制器技术支持气体质量流量控制器扮演着微流量测量和控制的重要角色。

选择气体质量流量控制器产品和订货时应当注意什么？注意选择正确的量程：将您需要的流量换算成标准状态下的流量（质量流量）。根据厂家提供的质量流量转换系数表，将您所用气体的质量流量值换算成与氮气（标定气体）等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定，请向厂家说明。有关质量流量转换系数的问题，以下还有进一步解答。确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程，您实际使用的流量较大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的，如果实际流量较小而量程值选取过大，则测量值的相对误差较大。

气体质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?如何选择密封材料?气体质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议较好采用金属密封的MFC。气体质量流量控制器可应用于泄露监测。

目前，国内使用较多的是热式气体质量流量控制器。其原理如下：“在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。”想像一下……放置两台电热器，用一条线将两台电热器连接起来，自己坐在线的中点处交叉的直角线上，很暖和。两台电热器发散同样的热量，你坐在离两台电热器同等距离的正中间位置，接受双方的热量，是温度较高的地方。在这个炎热的季节，说这样的话，真是热得无法忍受啊……这时，在侧面加一个电风扇，离电风扇近的一方发散出来的热，被吹到远一点的电热器，你坐的地方也会觉得稍微凉一些。风扇吹得越快就越凉快。这和热式感应管中的道理一样，风扇的强度（风量）=气体的流量。反过来，要想检测流量的话，可以说“测量一下气体流过的时候两台电热器之间移动的热量即可”。气体质量流量控制器可应用于燃汽轮机氢气质量流量和控制。上海模拟气体质量流量控制器批发厂家

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气体质量流量控制器在测量过程中，以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的较大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定产品的流量值。空气、02、H2、CO、HCL、HF等气体，其转换系数约为1.0，一般可直接用按氮气标定显示的产品，不必换算。计算机可以直接和MFC相连,也可以通过流量显示仪ReadoutBox和MFC相连。温度影响：用于加气机的CMF工作温度远低于室温，温度影响必须考虑；介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。贵州数显气体质量流量控制器

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