光学平台测量方法:使用脉冲锤对平台或面包板的表面施加一个已测量的外力,并将一个传感器贴合在平台或面包板表面对合成振动进行测量。探测器发出的信号通过分析仪进行读取,并用于产生频率响应谱(即柔量曲线)。在光学平台的研发过程中,对平台表面上很多点的柔量曲线进行记录;但是,平台四个角上的柔量往往都是特别大的。因此公司发布的柔量曲线和数据都是通过平传感器在台四个角上测得的,因此说明了在很不理想情况下的数据结果。光学平台又称光学桌面,供水平、稳定的台面,一般平台都需要进行隔振等措施。青海精密气浮光学平台
光学平台平面度,对于隔振性能,没有任何影响,甚至若为了追求高平面度,往往会去除掉光学平台的隔振性能,原因如下:我们知道,光学平台台面,若为达到高平面度,通常需要反复磨削,在加工过程中,多次磨削容易使材料产生形变,为了减少形变,通常要加厚台面,但我们通过振动恢复时间的说明已经知道,台面加厚质量增加,平台的振动恢复时间往往成倍(甚至几倍)增加,在很多精密光学实验中,这是不可接受的;光学平台的磨削是有极限的,这个加工的极限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,换算成平方米大约为:±0.03mm/m2,但这个平面度,同大理石平台的平面度相差甚远。北京精密光学平台仪器光学平台的隔振性能取决于台面本身和支架的隔振性能。
振幅在数值上等于位移的大小。对于光学平台系统,台面受外力作用时,离开平衡位置的距离,同光学平台系统的结构、受力大小、受力的位置、瞬时加速度、速度、持续时间、台面的刚性、隔振系统的阻尼比等诸多因素有着非常复杂的非线性函数关系,如果标称振幅的具体指标,需要注明上述特定的实验条件,否则振幅的指标,变得没有意义。对于阻尼隔振的光学平台,振幅通常在微米量级,而气浮式隔振平台,振幅通常为毫米量级甚至是厘米量级。勤确及国外厂商的光学平台并未标称光学平台振幅的指标。
优良的精密光学平台不仅需要高精度的机器设备来加工,更需要有高精度检测手段与检测仪器来保证,也只有优良的光学平台才能保证高精度的科学实验、研究的正常进行。1、试验目的:检测气垫隔振垂直方向和水平固有频率、振幅、振动速度、振动效果。2、试验方式:采用三点均布试验。3、试验设备和试件:气垫隔振器三只、质量载体一件。4、测试仪器振动分析;位移传感器2只;电脑;采集分析软件。5、试验:采用多点敲击法澜可得固有频率,振幅,振动速度,振动效果。上海勤确科技有限公司始终以适应和促进工业发展为宗旨。
固有频率还分为水平方向和竖直方向,但通常来说竖直方向的固有频率对整体隔振性能的影响,起到决定性作用,水平方向的固有频率指标通常用于参考。振动恢复时间(Damping Settling Time):也叫衰减周期,是指:某一点上开始振动到恢复到初始状态所需要的很短时间。若要缩短光学平台的振动恢复时间,通常有两个办法:增大弹簧的弹性系数k。对于阻尼隔振平台,可以换用材质较硬的阻尼材料;对于充气平台,可以适度增加空气压力;控制光学平台台面的质量。在不影响刚度的前提下,台面质量越轻,振动恢复时间越短,使用效果就越好。勤确的光学平台,采用优良铁磁不锈钢,上台面钢板厚度为4~6mm,在确保系统刚性的前提下,整体重量适中,可充分发挥出平台优良的隔振性能。总体上说,光学平台的隔振,通过三个方面来实现。Newport光学平台支架
平面度合适的光学平台,同低等级的大理石平台相比,平面度还差数倍甚至一个数量级。青海精密气浮光学平台
光学平台中的重复定位精度同精密位移台中概念不同,光学平台的重复定位精度,是指在空载和在一定条件下加上负载并去除负载,光学平台稳定后的高度差。这个指标同负载的大小、加载的位置、加载时的速度、加速度、卸载时的速度、加速度等等指标有很大的关系,对于充气式平台,还有一个重要前提,就是加载前后,气囊中空气的压力、温度和质量不发生变化。勤确汉光的光学平台,在上述各种条件符合特定要求时,测试出阻尼式平台的重复定位精度,为微米量级,而气浮式平台的重复定位精度一般为亚毫米量级。青海精密气浮光学平台