热红外显微镜能高效检测微尺度半导体电路及MEMS器件的热问题。在电路检测方面,这套热成像显微镜可用于电路板失效分析,且配备了电路板检测用软件包“模型比较”,能识别缺陷元件;同时还可搭载“缺陷寻找”软件模块,专门探测不易发现的短路问题并定位短路点。在MEMS研发领域,空间温度分布与热响应时间是微反应器、微型热交换器、微驱动器、微传感器等MEMS器件的关键参数。目前,非接触式测量MEMS器件温度的方法仍存在局限,而红外成像显微镜可提供20微米空间分辨率的热分布图像,是迄今为止测量MEMS器件热分布的高效工具。
热红外显微镜在 SiC/GaN 功率器件检测中,量化评估衬底界面热阻分布。低温热热红外显微镜用户体验
致晟光电自主研发的热红外显微镜 Thermal EMMI P系列,是电子工业中不可或缺的精密检测工具,在半导体芯片、先进封装技术、功率电子器件以及印刷电路板(PCB)等领域的失效分析中发挥着举足轻重的作用。
该设备搭载——实时瞬态锁相红外热分析(RTTLIT)系统,并集成高灵敏度红外相机、多倍率可选显微镜镜头、精确高低压源表等技术组件,赋予其三大特性:超凡灵敏度与亚微米级检测精度,可捕捉微弱热信号与光子发射;高精度温度测量能力(锁相灵敏度达0.001℃),支持动态功耗分析;无损故障定位特性,无需破坏器件即可锁定短路、开路等缺陷。凭借技术集成优势,ThermaEMMIP系列不仅能快速定位故障点,更能通过失效分析优化产品质量与可靠性,为半导体制造、先进封装及电子器件研发提供关键技术支撑。 红外光谱热红外显微镜方案设计定位芯片内部微短路、漏电、焊点虚接等导致的热异常点。
非破坏性分析(NDA)以非侵入方式分析样品内部结构和性能,无需切割、拆解或化学处理,能保留样品完整性,为后续研究留有余地,在高精度、高成本的半导体领域作用突出。
无损分析,通过捕捉样品自身红外热辐射成像,全程无接触,无需对晶圆、芯片等进行破坏性处理。在半导体制造中,可识别晶圆晶体缺陷;封装阶段,能检测焊接点完整性或封装层粘结质量;失效分析时,可定位内部短路或断裂区域的隐性热信号,为根源分析提供依据,完美适配半导体行业对高价值样品的保护需求。
在选择 EMMI 微光显微镜时,需综合考量应用需求、预算、技术参数及售后服务等因素。首先明确具体应用场景,例如 LED 检测可能需要特定波长范围,而集成电路分析则对分辨率要求更高。预算方面,进口设备系列价格昂贵,但成立年限长、有品牌加持。而选择国产设备——如致晟光电自主全国产研发的RTTLIT 实时瞬态锁相热分析系统在性价比方面更好,且在灵敏度和各种参数功能上已接近进口水平,尤其在垂直芯片等场景中表现稳定,适合预算有限的常规检测。
国产热红外显微镜凭借自主研发软件,具备时域重构等功能,提升检测效率。
致晟光电——热红外显微镜在信号调制技术上的优化升级,以多频率调制为突破点,构建了更精细的微观热信号解析体系。其通过精密算法控制电信号的频率切换与幅度调节,使不同深度、不同材质的样品区域产生差异化热响应 —— 高频信号可捕捉表层微米级热点,低频信号则能穿透材料识别内部隐性感热缺陷,形成多维度热特征图谱。
这种动态调制方式,不仅将特征分辨率提升至纳米级,更通过频率匹配过滤环境噪声与背景干扰,使检测灵敏度较传统单频调制提高 3-5 倍,即使是 0.1mK 的微小温度波动也能被捕捉。 热红外显微镜助力科研人员研究新型材料的热稳定性与热性能 。厂家热红外显微镜内容
热红外显微镜对电子元件进行无损热检测,保障元件完整性 。低温热热红外显微镜用户体验
非制冷热红外显微镜基于微测辐射热计,无需低温制冷装置,具有功耗低、维护成本低等特点,适合长时间动态监测。其通过锁相热成像等技术优化后,虽灵敏度(通常 0.01-0.1℃)和分辨率(普遍 5-20μm)略逊于制冷型,但性价比更高,。与制冷型对比,非制冷型无需制冷耗材,适合 PCB、PCBA 等常规电子元件失效分析;而制冷型(如 RTTLIT P20)灵敏度达 0.1mK、分辨率低至 2μm,价格高,多用于半导体晶圆等检测。非制冷热红外显微镜在中低端工业检测领域应用较多。低温热热红外显微镜用户体验