在半导体芯片漏电检测中,微光显微镜为工程师快速锁定问题位置提供了关键支撑。当芯片施加工作偏压时,设备即刻启动检测模式 —— 此时漏电区域因焦耳热效应会释放微弱的红外辐射,即便辐射功率为 1 微瓦,高灵敏度探测器也能捕捉到这一极微弱信号。这种检测方式的在于,通过热成像技术将漏电点的红外辐射转化为可视化热图,再与电路版图进行叠加分析,可实现漏电点的微米级精确定位。相较于传统检测手段,微光设备无需拆解芯片即可完成非接触式检测,既避免了对芯片的二次损伤,又能在不干扰正常电路工作的前提下,捕捉到漏电区域的细微热信号。为提升微光显微镜探测力,我司多种光学物镜可选,用户可依样品工艺与结构选装,满足不同微光探测需求。直销微光显微镜备件
微光显微镜无法检测不产生光子的失效(如欧姆接触、金属短路),且易受强光环境干扰;热红外显微镜则难以识别无明显温度变化的失效(如轻微漏电但功耗极低的缺陷),且温度信号可能受环境热传导影响。
实际分析中,二者常结合使用,通过 “光 - 热” 信号交叉验证,提升失效定位的准确性。致晟光电在技术创新的征程中,实现了一项突破性成果 —— 将热红外显微镜与微光显微镜集可以集成于一台设备,只需一次采购,便可以节省了重复的硬件投入。 直销微光显微镜设备厂家其搭载的图像增强算法,能强化微弱光子信号,减少噪声干扰,使故障点成像更鲜明,便于识别。
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半导体材料分为直接带隙半导体和间接带隙半导体,而Si是典型的直接带隙半导体,其禁带宽度为1.12eV。所以当电子与空穴复合时,电子会弹射出一个光子,该光子的能量为1.12eV,根据波粒二象性原理,该光子的波长为1100nm,属于红外光区。通俗的讲就是当载流子进行复合的时候就会产生1100nm的红外光。这也就是产生亮点的原因之一:载流子复合。所以正偏二极管的PN结处能看到亮点。如果MOS管产生latch-up现象,(体寄生三极管导通)也会观察到在衬底处产生荧光亮点。针对氮化镓等宽禁带半导体,它能适应其宽波长探测需求,助力宽禁带器件的研发与应用。
在半导体 MEMS 器件检测领域,微光显微镜凭借其超灵敏的感知能力,展现出不可替代的技术价值。MEMS 器件的结构往往以微米级尺度存在,这些微小部件在运行过程中会产生极其微弱的红外辐射变化 —— 这种信号强度常低于常规检测设备的感知阈值,却能被微光显微镜及时捕捉。通过先进的光电转换与信号放大技术,微光设备将捕捉到的红外辐射信号转化为直观的动态图像。通过图像分析工具,可量化提取结构的位移幅度、振动频率等关键参数。这种检测方式突破了传统接触式测量对微结构的干扰问题。处理 ESD 闭锁效应时,微光显微镜检测光子可判断其位置和程度,为研究机制、制定防护措施提供支持。直销微光显微镜设备厂家
微光显微镜在 LED 故障分析中作用关键,可检测漏电倒装、短路倒装及漏电垂直 LED 芯片的异常点。直销微光显微镜备件
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