在国内失效分析设备领域，专注于原厂研发与生产的企业数量相对较少，尤其在热红外检测这类高精度细分领域，具备自主技术积累的原厂更为稀缺。这一现状既源于技术门槛 —— 需融合光学、红外探测、信号处理等多学科技术，也受限于市场需求的专业化程度，导致多数企业倾向于代理或集成方案。

致晟光电正是国内少数深耕该领域的原厂之一。不同于单纯的设备组装，其从中枢技术迭代入手，在传统热发射显微镜基础上进化出热红外显微镜，形成从光学系统设计、信号算法研发到整机制造的完整能力。这种原厂基因使其能深度理解国内半导体、材料等行业的失效分析需求，例如针对先进制程芯片的微小热信号检测、国产新材料的热特性研究等场景，提供更贴合实际应用的设备与技术支持，成为本土失效分析领域不可忽视的自主力量。 热红外显微镜利用锁相技术，有效提升热成像的清晰度与准确性 。红外光谱热红外显微镜与光学显微镜对比

非制冷热红外显微镜的售价因品牌、性能、功能配置等因素而呈现较大差异 。不过国产的非制冷热红外显微镜在价格上颇具竞争力，适合长时间动态监测。通过锁相热成像等技术优化后，其灵敏度（通常 0.01-0.1℃）和分辨率（普遍 5-20μm）虽稍逊于制冷型，但性价比更具优势。与制冷型相比，非制冷型无需制冷耗材，适用于 PCB、PCBA 等常规电子元件的失效分析；制冷型灵敏度更高（可达 0.1mK）、分辨率更低（低至 2μm），多用于半导体晶圆等对检测要求较高的场景。非制冷热红外显微镜在中低端工业检测领域应用较多。国产热红外显微镜应用热红外显微镜对电子元件进行无损热检测，保障元件完整性 。

EMMI 技术基于半导体器件在工作时因电子 - 空穴复合产生的光子辐射现象，通过高灵敏度光学探测器捕捉微弱光子信号，能够以皮安级电流精度定位漏电、短路等微观缺陷。这种技术尤其适用于检测芯片内部的栅极氧化层缺陷、金属导线短路等肉眼难以察觉的故障，为工程师提供精确的失效位置与成因分析。

热红外显微镜（Thermal EMMI）则聚焦于器件发热与功能异常的关联，利用红外热成像技术实时呈现半导体器件的热分布。在高集成度芯片中，局部过热可能引发性能下降甚至损坏，热红外显微镜通过捕捉0.1℃级别的温度差异，可快速锁定因功率损耗、散热不良或设计缺陷导致的热失效隐患。两者结合，实现了从电学故障到热学异常的全维度失效诊断，极大提升了分析效率与准确性。

热点区域对应高温部位，可能是发热源或故障点；等温线连接温度相同点，能直观呈现温度梯度与热量传导规律。目前市面上多数设备受红外波长及探测器性能限制，普遍存在热点分散、噪点多的问题，导致发热区域定位不准，图像对比度和清晰度下降，影响温度分布判断的准确性。

而我方设备优势是设备抗干扰能力强，可有效减少外界环境及内部器件噪声影响，保障图像稳定可靠；等温线明显，能清晰展现温度相同区域，便于快速掌握温度梯度与热传导情况，提升热特性分析精度；成像效果大幅提升，具备更高的空间分辨率、温度分辨率及对比度，可清晰呈现细微细节，为分析提供高质量的图像支持。 热红外显微镜利用其高分辨率，观察半导体制造过程中的热工艺缺陷 。

热红外显微镜(Thermal EMMI)的突出优势一：

热红外显微镜（Thermal emmi ）能够检测到极其微弱的热辐射和光发射信号，其灵敏度通常可以达到微瓦甚至纳瓦级别。同时，它还具有高分辨率的特点，能够分辨出微小的热点区域，分辨率可以达到微米甚至纳米级别。具备极高的探测灵敏度，能够捕捉微瓦级甚至纳瓦级的热辐射与光发射信号，适用于识别早期故障及微小异常。同时，该技术具有优异的空间分辨能力，能够准确定位尺寸微小的热点区域，其分辨率可达微米级，部分系统也已经可实现纳米级识别。通过结合热图像与光发射信号分析，热红外显微镜为工程师提供了精细、直观的诊断工具，大幅提升了故障排查与性能评估的效率和准确性。 热红外显微镜在 SiC/GaN 功率器件检测中，量化评估衬底界面热阻分布。显微热红外显微镜24小时服务

热红外显微镜可捕捉物体热辐射，助力电子元件热分布与散热性分析。红外光谱热红外显微镜与光学显微镜对比

致晟光电自主研发的热红外显微镜 Thermal EMMI P系列，是电子工业中不可或缺的精密检测工具，在半导体芯片、先进封装技术、功率电子器件以及印刷电路板（PCB）等领域的失效分析中发挥着举足轻重的作用。

该设备搭载——实时瞬态锁相红外热分析（RTTLIT）系统，并集成高灵敏度红外相机、多倍率可选显微镜镜头、精确高低压源表等技术组件，赋予其三大特性：超凡灵敏度与亚微米级检测精度，可捕捉微弱热信号与光子发射；高精度温度测量能力（锁相灵敏度达0.001℃），支持动态功耗分析；无损故障定位特性，无需破坏器件即可锁定短路、开路等缺陷。凭借技术集成优势，ThermaEMMIP系列不仅能快速定位故障点，更能通过失效分析优化产品质量与可靠性，为半导体制造、先进封装及电子器件研发提供关键技术支撑。 红外光谱热红外显微镜与光学显微镜对比

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