例如,当某批芯片在测试中发现漏电失效时,我们的微光显微镜能定位到具体的失效位置,为后续通过聚焦离子束(FIB)切割进行截面分析、追溯至栅氧层缺陷及氧化工艺异常等环节提供关键前提。可以说,我们的设备是半导体行业失效分析中定位失效点的工具,其的探测能力和高效的分析效率,为后续问题的解决奠定了不可或缺的基础。
在芯片研发阶段,它能帮助研发人员快速锁定设计或工艺中的隐患,避免资源的无效投入;在量产过程中,它能及时发现批量性失效的源头,为生产线调整争取宝贵时间,降低损失;在产品应用端,它能为可靠性问题的排查提供方向,助力企业提升产品质量和市场口碑。无论是先进制程的芯片研发,还是成熟工艺的量产检测,我们的设备都以其独特的技术优势,成为失效分析流程中无法替代的关键一环,为半导体企业的高效运转和技术升级提供有力支撑。 晶体管和二极管短路或漏电时,微光显微镜依其光子信号判断故障类型与位置,利于排查电路故障。国内微光显微镜用户体验
对半导体研发工程师而言,排查的过程层层受阻。在逐一排除外围电路异常、生产工艺制程损伤等潜在因素后,若仍未找到症结,往往需要芯片原厂介入,通过剖片分析深入探究内核。
然而,受限于专业分析设备的缺乏,再加上芯片内部设计涉及机密,工程师难以深入了解其底层构造,这就导致他们在面对原厂出具的分析报告时,常常陷入 “被动接受” 的局面 —— 既无法完全验证报告的细节,也难以基于自身判断提出更具针对性的疑问或补充分析方向。 红外光谱微光显微镜对比我司微光显微镜探测芯片封装打线及内部线路短路产生的光子,快速定位短路位置,优势独特。
微光显微镜技术特性差异
探测灵敏度方向:EMMI 追求对微弱光子的高灵敏度(可检测单光子级别信号),需配合暗场环境减少干扰;热红外显微镜则强调温度分辨率(部分设备可达 0.01℃),需抑制环境热噪声。
空间分辨率:EMMI 的分辨率受光学系统和光子波长限制,通常在微米级;热红外显微镜的分辨率与红外波长、镜头数值孔径相关,一般略低于 EMMI,但更注重大面积热分布的快速成像。
样品处理要求:EMMI 对部分遮蔽性失效(如金属下方漏电)需采用背面观测模式,可能需要减薄、抛光样品;
处理要求:热红外显微镜可透过封装材料(如陶瓷、塑料)探测,对样品破坏性较小,更适合非侵入式初步筛查。
需要失效分析检测样品,我们一般会在提前做好前期的失效背景调查和电性能验证工作,能够为整个失效分析过程找准方向、提供依据,从而更高效、准确地找出芯片失效的原因。
1.失效背景调查收集芯片型号、应用场景、失效模式(如短路、漏电、功能异常等)、失效比例、使用环境(温度、湿度、电压)等。确认失效是否可复现,区分设计缺陷、制程问题或应用不当(如过压、ESD)。
2.电性能验证使用自动测试设备(ATE)或探针台(ProbeStation)复现失效,记录关键参数(如I-V曲线、漏电流、阈值电压偏移)。对比良品与失效芯片的电特性差异,缩小失效区域(如特定功能模块)。 我司团队改进算法等技术,整合出 EMMI 芯片漏电定位系统,价低且数据整理准、操作便,性价比高,居行业先头。
为了让客户对设备品质有更直观的了解,我们大力支持现场验货。您可以亲临我们的实验室,近距离观察设备的外观细节,亲身操作查验设备的运行性能、精度等关键指标。每一台设备都经过严格的出厂检测,我们敢于将品质摆在您眼前,让您在采购前就能对设备的实际状况了然于胸,消除后顾之忧。一位来自汽车零部件厂商的客户分享道:“之前采购设备总担心实际性能和描述有差距,在致晟光电现场验货时,工作人员耐心陪同我们测试,设备的精度和稳定性都超出预期,这下采购心里踏实多了。”其搭载的图像增强算法,能强化微弱光子信号,减少噪声干扰,使故障点成像更鲜明,便于识别。IC微光显微镜备件
微光显微镜的快速预热功能,可缩短设备启动至正常工作的时间,提高检测效率。国内微光显微镜用户体验
在半导体芯片的精密检测领域,微光显微镜与热红外显微镜如同两把功能各异的 “利剑”,各自凭借独特的技术原理与应用优势,在芯片质量管控与失效分析中发挥着不可替代的作用。二者虽同服务于芯片检测,但在逻辑与适用场景上的差异,使其成为互补而非替代的检测组合。从技术原理来看,两者的 “探测语言” 截然不同。
微光显微镜是 “光子的捕捉者”,其重心在于高灵敏度的光子传感器,能够捕捉芯片内部因电性能异常释放的微弱光信号 —— 这些信号可能来自 PN 结漏电时的电子跃迁,或是栅氧击穿瞬间的能量释放,波长多集中在可见光至近红外范围。
国内微光显微镜用户体验
苏州致晟光电科技有限公司在同行业领域中,一直处在一个不断锐意进取,不断制造创新的市场高度,多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准,在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的商业口碑,成绩让我们喜悦,但不会让我们止步,残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志,和谐温馨的工作环境,富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新,勇于进取的无限潜力,苏州致晟光电科技供应携手大家一起走向共同辉煌的未来,回首过去,我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜,相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围,我们更要明确自己的不足,做好迎接新挑战的准备,要不畏困难,激流勇进,以一个更崭新的精神面貌迎接大家,共同走向辉煌回来!